特許5883230蒸着装置並びに蒸着方法

発明の名称　蒸着装置並びに蒸着方法

出願人　キヤノントッキ株式会社　（識別番号 591065413）

　　　　特許公開件数ランキング 1029 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 586 位（12件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5883230

公報発行日　2016年3月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5883230

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