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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7535990 | 成膜装置、膜厚測定方法及び電子デバイスの製造方法 | 2024年 8月19日 | |
特許 7535030 | 成膜装置、膜厚測定方法及び電子デバイスの製造方法 | 2024年 8月15日 | |
特許 7534343 | 成膜装置およびその検査方法 | 2024年 8月14日 | |
特許 7529824 | アライメント装置 | 2024年 8月 6日 | |
特許 7522250 | 制御装置、成膜装置、スケジュール設定方法、及び電子デバイスの製造方法 | 2024年 7月24日 | |
特許 7509809 | 蒸発源ユニット、成膜装置及び成膜方法 | 2024年 7月 2日 | |
特許 7509810 | 成膜装置 | 2024年 7月 2日 | |
特許 7507182 | 搬送装置及び成膜装置 | 2024年 6月27日 | |
特許 7507183 | 蒸発源、成膜装置及び成膜方法 | 2024年 6月27日 | |
特許 7499571 | 成膜装置、電子デバイスの製造装置、成膜方法および電子デバイスの製造方法 | 2024年 6月14日 | |
特許 7498216 | 成膜装置及び成膜方法 | 2024年 6月11日 | |
特許 7495387 | スパッタ装置 | 2024年 6月 4日 | |
特許 7491870 | 計測装置、およびインライン型蒸着装置 | 2024年 5月28日 | |
特許 7489368 | アライメント装置 | 2024年 5月23日 | |
特許 7473520 | スパッタ装置 | 2024年 4月23日 |
40 件中 1-15 件を表示
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7535990 7535030 7534343 7529824 7522250 7509809 7509810 7507182 7507183 7499571 7498216 7495387 7491870 7489368 7473520
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最新の制度改正を反映 海外の特許制度と実務上の留意点(米国・欧州(EPC)・中国)~米国ならびに EPC (欧州特許条約)・中国の各制度の下でのグローバル特許取得の基本的な知識と留意点を解説します~
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