特許5884871照明光学装置、照明方法、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法

発明の名称　照明光学装置、照明方法、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法

出願人　株式会社ニコン　（識別番号 4112）

　　　　特許公開件数ランキング 154 位（211件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 130 位（211件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5884871

公報発行日　2016年3月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5884871

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