特許5885904半導体装置の製造方法

発明の名称　半導体装置の製造方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（579件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 22 位（763件）（共同出願を含む）

出願人　国立大学法人東北大学　（識別番号 504157024）

　　　　特許公開件数ランキング 395 位（183件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 238 位（179件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5885904

公報発行日　2016年3月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5885904

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