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特許第5889791号(P5889791)
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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
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特許
5889791
ソース・ドレイン金属エッチングのためのウェットプロセスを用いた金属酸化物又は金属酸窒化物ＴＦＴの製造方法
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