特許第5892447号(P5892447)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5892447金属窒化物成長テンプレート層上にバルクＩＩＩ族窒化物材料を形成する方法、及びその方法によって形成される構造体
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