期限日
知財求人情報
特・実 審査基準
法文集
特許第5894622号(P5894622)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
ホーム
>
特許ランキング
>
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
ツイート
知財求人
- 知財ポータルサイト「IP Force」
青山学院大学
(神奈川県相模原市中央区淵野辺)
▶ アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドの特許一覧
特許
5894622
シリコン含有ハードマスクをエッチングする方法
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
図面の説明
目に優しい
通常表示
文字サイズ
小
中
大
PDF
Top
<
>
<
>
1A
1B
1C
2A
2B
2C
3A
3B
3C
4A
4B
5A
5B
6A
6B
7A
7B
7C
7D
8
9
21
