特許5895979露光装置、ステージ制御方法、及びデバイス製造方法

発明の名称　露光装置、ステージ制御方法、及びデバイス製造方法

出願人　株式会社ニコン　（識別番号 4112）

　　　　特許公開件数ランキング 155 位（208件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 130 位（205件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5895979

公報発行日　2016年3月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5895979

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-5895979「露光装置、ステージ制御方法、及びデバイス製造方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録