特許 5898983 研削装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5898983

(24)【登録日】2016年3月11日

(45)【発行日】2016年4月6日

(54)【発明の名称】研削装置

(51)【国際特許分類】

   B24B 47/22 20060101AFI20160324BHJP

   B24B 49/10 20060101ALI20160324BHJP

【ＦＩ】

   B24B47/22

   B24B49/10

【請求項の数】2

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2012-21946(P2012-21946)

(22)【出願日】2012年2月3日

(65)【公開番号】特開2013-158872(P2013-158872A)

(43)【公開日】2013年8月19日

【審査請求日】2015年1月26日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】110001014

【氏名又は名称】特許業務法人東京アルパ特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100087099

【弁理士】

【氏名又は名称】川村 恭子

(74)【代理人】

【識別番号】100063174

【弁理士】

【氏名又は名称】佐々木 功

(74)【代理人】

【識別番号】100124338

【弁理士】

【氏名又は名称】久保 健

(72)【発明者】

【氏名】長縄 篤史

(72)【発明者】

【氏名】輿水 準

(72)【発明者】

【氏名】山中 聡

(72)【発明者】

【氏名】長井 修

【審査官】 亀田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００７−２７６０９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０８７１０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−３０９６６６（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｂ ４７／２２

Ｂ２４Ｂ ４９／１０

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

自転可能なターンテーブルと、
該ターンテーブルの回転中心を中心として均等角度離間して該ターンテーブルに複数配設され被加工物を保持する保持手段と、
下部に研削面を有する研削砥石が環状に配列され該保持手段に保持された被加工物を研削加工する研削ホイールを着脱可能に支持する研削手段と、
該保持手段の上面に垂直な方向である研削送り方向に該研削手段を動作させる研削送り手段と、
該研削送り手段を下方から支持する固定基台と、
を備えた研削装置において、
該固定基台に配設され該保持手段の上面に測定部を当接させて該保持手段の高さを測定する高さゲージと、
該ターンテーブルに配設され、上下に動作可能で該高さゲージによって高さの測定が可能な基準テーブルと、
該基準テーブルが一定距離下降したことを検知する検知部と、
上限位置に位置する該基準テーブルの上面と該研削砥石の研削面とが接した時の該研削手段の高さ位置である第１の研削送り位置と、該上限位置から一定距離下降したことが該検知部によって検知され該基準テーブルの上面と該研削砥石の研削面とが接している時の該研削手段の高さ位置である第２の研削送り位置と、の高低差を記憶する第１の記憶部と、
該第２の研削送り位置を記憶する第２の記憶部と、
上限位置に位置する該基準テーブルの上面の高さ位置を高さゲージを用いて測定して求めた基準テーブル高さ値から、該ターンテーブルを所定角度回転させ該ターンテーブルに配設されたすべての保持手段の上面の高さを該高さゲージを用いて測定して求めたそれぞれの該保持手段の高さ値を引いた値を記憶する第３の記憶部と、
（第１の記憶部の値）―（第３の記憶部の値）＋（第２の記憶部の値）によって該ターンテーブルに配設される全ての該保持手段の上面と該研削手段の該研削面とが接する時のそれぞれの研削手段の高さ位置である研削送り位置を算出する算出部と、
を備えた研削装置。

【請求項2】

前記ターンテーブルを所定角度回転させるとともに前記研削手段を前記研削送り手段によって研削送り方向に動作させて、前記固定基台に複数配設される研削手段のうちの指定する１つの指定研削手段の研削面を該基準テーブル上面に接触させ、該基準テーブルを押し下げ該検知部が検知する時の研削送り位置を記憶する第２の記憶部と、
該指定研削手段以外の該研削手段の該研削面を該基準テーブル上面に接触させ、該基準テーブルを押し下げ該検知部が検知した時のそれぞれの研削送り位置を記憶する第４の記憶部と、を備え、
（第２の記憶部の値）―（第４の記憶部の値）によって、それぞれの研削手段の研削面が該ターンテーブルに配設される全ての該保持手段の上面に接触する該研削送り位置を算出可能とする請求項１記載の研削装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被加工物を保持する保持手段を複数備えた研削装置に関する。

【背景技術】

【0002】

テーブル状に形成された保持手段の上面（保持面）に被加工物が保持され、当該被加工物の露出面に対して回転する研削砥石を接触させて当該露出面の研削を行う構成の研削においては、被加工物を所定の厚さに形成するために、研削砥石、研削砥石が装着されたスピンドル、スピンドルを回転させるモータ等を有する研削手段の高さ位置を高精度に制御する必要がある。そこで、被加工物の研削前に、研削手段の上下方向（Ｚ軸方向）の原点を設定する作業が行われている。

【0003】

具体的には、研削手段をゆっくりと下降させていき、研削砥石の下面（研削面）が保持手段の保持面に接触した瞬間における研削手段の高さ位置を、研削手段の上下方向の原点としている。かかる作業は、セットアップと呼ばれている（例えば特許文献１参照）。

【0004】

また、セットアップによって研削手段の原点を定めた後、保持手段が保持する被加工物の厚みが分かる厚みゲージで測定しながら研削すると、研削手段の原点の高さ位置と、被加工物を目的の厚みに研削した研削手段の高さ位置と、研削終了時の厚みゲージで測定した被加工物の厚み値とによって、研削砥石の消耗量を認識することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００１−１２６１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、保持手段を複数備え、保持手段と研削手段とが相対移動する構成の研削装置においては、複数の保持手段の配設位置に高低差が生じる場合がある。したがって、本来は、保持手段と研削手段とのすべての組み合わせについてセットアップを行うことが必要であるが、セットアップ自体に時間を要するとともに、研削時における研削手段の位置制御も複雑化するという問題がある。

【0007】

上記特許文献１に記載された発明では、最も高い位置にある保持手段を基準としてセットアップを行うことにより、被加工物の削りすぎ及び保持手段の損傷を防止することとしているが、かかるセットアップでは、すべての研削手段について研削砥石の消耗量を適切に認識することは不可能であり、また、それぞれの保持手段に保持された被加工物の仕上がり厚さにばらつきが生じる。

【0008】

本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、複数の保持手段を有する研削装置において、すべての保持手段に対する研削手段の研削送り位置を容易に認識できるようにすることを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、自転可能なターンテーブルと、該ターンテーブルの回転中心を中心として均等角度離間して該ターンテーブルに複数配設され被加工物を保持する保持手段と、下部に研削面を有する研削砥石が環状に配列され該保持手段に保持された被加工物を研削加工する研削ホイールを着脱可能に支持する研削手段と、該保持手段の上面に垂直な方向である研削送り方向に該研削手段を動作させる研削送り手段と、該研削送り手段を下方から支持する固定基台とを備えた研削装置において、該固定基台に配設され該保持手段の上面に測定部を当接させて該保持手段の高さを測定する高さゲージと、該ターンテーブルに配設され、上下に動作可能で該高さゲージによって高さの測定が可能な基準テーブルと、該基準テーブルが一定距離下降したことを検知する検知部と、上限位置に位置する該基準テーブルの上面と該研削砥石の研削面とが接した時の該研削手段の高さ位置である第１の研削送り位置と、該上限位置から一定距離下降したことが該検知部によって検知され該基準テーブルの上面と該研削砥石の研削面とが接している時の該研削手段の高さ位置である第２の研削送り位置と、の高低差を記憶する第１の記憶部と、該第２の研削送り位置を記憶する第２の記憶部と、上限位置に位置する該基準テーブルの上面の高さ位置を高さゲージを用いて測定して求めた基準テーブル高さ値から、該ターンテーブルを所定角度回転させ該ターンテーブルに配設されたすべての保持手段の上面の高さを該高さゲージを用いて測定して求めたそれぞれの該保持手段の高さ値を引いた値を記憶する第３の記憶部と、（第１の記憶部の値）―（第３の記憶部の値）＋（第２の記憶部の値）によって該ターンテーブルに配設される全ての該保持手段の上面と該研削手段の該研削面とが接する時のそれぞれの研削手段の高さ位置である研削送り位置を算出する算出部とを備える。

【0010】

上記研削装置において、ターンテーブルを所定角度回転させるとともに研削手段を研削送り手段によって研削送り方向に動作させて、前記固定基台に複数配設される研削手段のうちの指定する１つの指定研削手段の研削面を該基準テーブル上面に接触させ、該基準テーブルを押し下げ該検知部が検知する時の研削送り位置を記憶する第２の記憶部と、該指定研削手段以外の該研削手段の該研削面を該基準テーブル上面に接触させ、該基準テーブルを押し下げ該検知部が検知した時のそれぞれの研削送り位置を記憶する第４の記憶部と、を備え、（第２の記憶部の値）―（第４の記憶部の値）によって、それぞれの研削手段の研削面が該ターンテーブルに配設される全ての該保持手段の上面に接触する該研削送り位置を算出可能とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明は、複数の保持手段と１つの研削手段とを有する研削装置において、複数の保持手段の保持面と研削砥石とが接触する時の研削手段の高さ位置を、一定の高さの基準テーブルと研削砥石とが接触する時の研削手段の高さ位置を基準とする相対的な関係から求めることができるため、複数の保持手段間の高低差に応じて研削送りを行うことができ、被加工物を所望の厚さに形成することができる。また、研削ホイールの交換や保持手段の交換を行うことにより保持面や研削面の位置が変化しても、その変化に対応して研削送りをすることができる。

【0012】

また、複数の保持手段と複数の研削手段とを有する研削装置においては、１つの指定研削手段の研削砥石と基準テーブルとが接触する時の研削手段の高さ位置を基準とし、指定研削手段以外の研削手段については、指定研削手段の当該高さ位置との相対的な関係から、研削砥石がすべての保持手段の保持面に接触する時の研削送り位置を算出することができるため、複数の研削手段間に高低差があったとしても、その高低差に応じた研削送りを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】第１の実施形態の研削装置を示す平面図である。

【図2】同研削装置の要部を示す側面図である。

【図3】基準テーブルに研削砥石を接触させる状態を示す模式図である。

【図4】基準テーブル及び保持手段の高さを高さゲージで測定する状態を示す模式図である。

【図5】各保持手段に対する研削手段の研削送り位置を示す模式図である。

【図6】被加工物を研削する状態を示す模式図である。

【図7】第２の実施形態の研削装置を示す平面図である。

【図8】同研削装置の要部を示す側面図である。

【図9】基準テーブルに研削砥石を接触させる状態を示す模式図である。

【図10】基準テーブル及び保持手段の高さを高さゲージで測定する状態を示す模式図である。

【図11】複数の研削手段の研削砥石をそれぞれ基準テーブルに接触させた時の研削送り位置を示す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

（１）第１の実施形態
図１に示す研削装置１は、被加工物を保持する２つの保持手段２ａ、２ｂを備えるとともに、保持手段２ａ、２ｂに保持された被加工物を研削する１つの研削手段３を備えている。

【0015】

保持手段２ａ、２ｂは、リング状に形成されたターンテーブル４によって自転可能に支持されている。ターンテーブル４は、固定基台６によって回転可能に支持されており、モータ４０によって駆動されて回転し、これにともない保持手段２ａ、２ｂがターンテーブル４の回転中心を中心として公転することにより、搬出入領域４ａ、研削領域４ｂのいずれかに保持手段２ａ、２ｂが位置する構成となっている。２つの保持手段２ａ、２ｂは、ターンテーブル４の回転中心を中心として均等角度（図１の例では１８０度）離間して配設されている。

【0016】

図２に示すように、保持手段２ａ、２ｂは、板状ワークＷを保持する保持部２０と、下部に連結された回転軸２１とを備えている。保持部２０の表面は、板状ワークＷが載置され保持される保持面２２となっている。回転軸２１の中央部には図示しない吸引孔が形成され、吸引孔は、回転軸２１の下部に連結された吸引源２３に連通している。そして、吸引源２３から発生する吸引力が、吸引孔を通じて保持部２０に伝達され、保持面２２において板状ワークＷを吸引保持することができる。また、回転軸２１は、ベルト２４を介してモータ２５に接続されており、モータ２５の駆動により、保持手段２ａ、２ｂを回転させることができる。

【0017】

研削手段３は、鉛直方向の軸心を有し回転可能なスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するスピンドルハウジング３１と、スピンドル３０の上端に接続されスピンドル３０を回転させるモータ３２と、スピンドル３０の下端にマウント３３を介して着脱可能に支持された研削ホイール３４とから構成され、研削ホイール３４の下部には環状に配列され固着された研削砥石３５を備えている。研削砥石３５の下部は、保持手段２ａ、２ｂに保持された被加工物に接触して研削加工を行う研削面３５ａとなっている。研削手段３においては、モータ３２がスピンドル３０を回転させることにより研削ホイール３３を同方向に回転させることができる。

【0018】

研削手段３は、研削送り手段５によって鉛直方向に移動可能に支持されている。研削送り手段５は、固定基台６によって下方から支持されており、鉛直方向の軸心を有し回動可能なボールネジ５０と、ボールネジ５０の上端に接続されたサーボモータ５１と、ボールネジ５０の下端に配設されボールネジ５０を回動可能に支持する軸受け部５２と、ボールネジ５０と平行に配設されたガイドレール５３と、ボールネジ５０に螺合するナット構造を有する位置基準部５５を有しスピンドルハウジング３１に連結された移動基台５４とから構成され、サーボモータ５１の駆動によりボールネジ５０が回動すると、移動基台５４がＺ軸方向に移動して研削手段３をＺ軸方向に昇降動作させることができる。研削送り方向であるＺ軸方向は、保持手段２ａ、２ｂの上面である保持面２２に対して垂直な方向となっている。

【0019】

図１に示すように、ターンテーブル４の内周側の円形基台６には、保持手段２ａ、２ｂの高さを測定する高さゲージ７が配設されている。高さゲージ７は、円形基台４１に固定されたベース部７０と、ベース部７０に対して水平方向に回動可能な回動部７１とから構成され、回動部７１の先端には保持手段２ａ、２ｂの保持面２２に当接させることにより保持手段２ａ、２ｂの高さ測定を可能とする測定部７２を備えている。

【0020】

図１に示すように、ターンテーブル４上であって、保持手段２ａ、２ｂのいずれかの近傍には、高さゲージ７によって高さの測定が可能な基準テーブル８が配設されている。基準テーブル８は、ターンテーブル４の回転中心ｏと高さゲージ７の測定部７２との距離を半径としターンテーブル４の回転中心ｏを中心とする円周上に設けられており、ターンテーブル４の回転によって高さゲージ７がその高さを測定可能な回転軌道上に配設されている。いる。

【0021】

図２に示すように、基準テーブル８は、昇降駆動部８０によって駆動されて上下動作可能となっている。基準テーブル８の下部からは軸部８１が垂下し、軸部８１の下端には板部材８２が連結されている。板部材８２が一定距離下降したことを検知する検知部８３が配設されている。基準テーブル８の上下動の範囲は、上限位置から下限位置（検知部８３によって検知された位置）に限定されている。検知部８３としては、例えば光センサを用いることができる。また、昇降部材８０としては、例えばエアシリンダを使用することができる。

【0022】

図２に示すように、研削送り手段５を構成するサーボモータ５１及び高さゲージ７には、ＣＰＵ、メモリ等を備え、記憶、演算、装置の各部位の制御等の機能を有する制御手段９が連結されている。制御手段９は、サーボモータ５１を制御することにより、研削手段３の高さ位置を制御することができる

【0023】

制御手段９は、研削送り手段５による研削手段３の研削送りの基礎とするために、研削送り手段５からみた研削手段３の高さ位置情報を記憶する第１の記憶部９１と第２の記憶部９２とを備えている。

【0024】

また、制御手段９には、制御手段８には、高さゲージ７によって把握される各保持手段２ａ、２ｂの保持面２２の高さ等を記憶する第３の記憶部９３を備えている。

【0025】

制御手段９には、算出部９５を備えている。算出部９５は、第1の記憶部９１、第２の記憶部９２及び第３の記憶部９３の記憶内容を読み出して演算を行い、研削送り手段５における研削送り位置を算出する機能を有する。

【0026】

図１及び図２に示した研削装置１は、２つの保持手段２ａ、２ｂを備えているが、これらの個々の保持面２２が互いに同じ高さ位置に位置していないことがある。一方、いずれの保持手段に保持された被加工物も、研削手段３によって研削され、研削砥石３５の高さ位置は研削送り手段５によって制御されるため、研削送り手段５は、２つの保持面２２の高低差を考慮して研削手段３を研削送りする必要がある。そこで、研削送り手段５は、保持手段２ａ、２ｂの保持面２２の高さ位置を、基準テーブル８の高さ位置との相対的な関係によって認識する。そのための準備として、被加工物の研削を行う前に、制御手段９の第１の記憶部９１、第２の記憶部９２及び第３の記憶部９３にそれぞれ値を記憶させる。

【0027】

まず、図３に示すように、研削送り手段５によって研削手段３を下降させていき、上限位置に位置する基準テーブル８の上面８ａに研削砥石３５を接触させる。そして、基準テーブル８の上面８ａと研削砥石３５の研削面３５ａとが接した時の研削手段３の高さ位置である第１の研削送り位置Ｚ０１を第１の記憶部９１に記憶する。また、その状態からさらに研削手段３を下降させていき、上限位置から一定距離下降したことが検知部８３によって検知され基準テーブル８の上面８ａと研削砥石３５の研削面３５ａとが接している時の研削手段３の高さ位置である第２の研削送り位置Ｚ０２を第２の記憶部９２に記憶する。そして、算出部９５において、第１の記憶部９１に記憶した第１の研削送り位置Ｚ０１の値から第２の記憶部９２に記憶した第２の研削送り位置Ｚ０２の値との差を算出し、求めた差の値を、第１の研削送り位置Ｚ０１と第２の研削送り位置Ｚ０２との間の高低差ΔＺ０として第１の記憶部９１に記憶する。

【0028】

なお、第１の研削送り位置Ｚ０１及び第２の研削送り位置Ｚ０２は、研削送り手段５から見た基準テーブル８の高さ位置であり、例えば、研削送り手段５に備えた位置基準部５５の高さ位置を用いることができる。位置基準部５５の高さ位置は、Ｚ０軸上の位置として認識することができる。

【0029】

次に、図４に示すように、上限位置に位置する基準テーブル８の上面８ａに高さゲージ７の測定部７２を接触させて基準テーブル８の上面８ａの高さである基準テーブル高さ値Ｚ１１を測定し、第３の記憶部９３に記憶する。また、ターンテーブル４を所定角度回転させ、ターンテーブル４に配設されたすべての保持手段２ａ、２ｂの上面である保持面２２に高さゲージ７の測定部７２を接触させて保持面２２の高さ値Ｚ１ａ、Ｚ１ｂをそれぞれ測定する。そして、基準テーブル高さ値Ｚ１１から保持面２２の高さ値Ｚ１ａを差し引いた値ΔＺ１ａと、基準テーブル高さ値Ｚ１１から保持面２２の高さ値Ｚ１ｂを差し引いた値ΔＺ１ｂとを、それぞれ第３の記憶部に記憶する。なお、保持手段２ａ、２ｂにおいて、測定部７２を接触させる位置は、保持部２０の周囲の枠体でもよい。

【0030】

こうして第１の記憶部９１、第２の記憶部９２、第３の記憶部９３にそれぞれ値が記憶されると、算出部９５は、以下の計算式(１)の計算を行う。
（第１の記憶部の値）−（第３の記憶部の値）＋（第２の記憶部の値）・・計算式(１)

【0031】

図５を参照し、上記計算式(１)に、各保持手段２ａ、２ｂについての値をそれぞれ代入すると、以下の２つの計算式となる。
Ｚ０Ａ＝ΔＺ０−ΔＺ１ａ＋Ｚ０２
Ｚ０Ｂ＝ΔＺ０−ΔＺ１ｂ＋Ｚ０２

【0032】

求めたＺ０Ａの値は、Ｚ０軸上における保持手段２ａの保持面２２の高さであり、Ｚ０Ｂの値は、Ｚ０軸上における保持手段２ｂの保持面２２の高さである。すなわち、上記計算式(１)によれば、ターンテーブル４に配設されるすべての保持手段の保持面２２と研削手段３の研削面３５ａとが接する時の研削手段３の高さ位置である研削送り位置を求めることができる。したがって、被加工物の研削時には、求めたＺ０Ａ、Ｚ０Ｂの値を基準として、研削送り手段５による研削送りを行うことにより、被加工物を所望の厚みに形成することができる。

【0033】

以上のようにして、基準テーブル８の上面８ａとの関係において研削送り位置を認識することにより、研削ホイール３４の交換や保持手段２ａ、２ｂの交換をした場合においても、正しい研削送り位置の認識を容易に行うことができる。
例えば、研削ホイール３４のみ交換した時は、研削送り手段５によって基準テーブル８の上面８ａに研削砥石３５の研削面３５ａを接触させ、その状態でさらに研削手段３を下降させて検知部８３が検知した第２の研削送り位置Ｚ０２ｘを第２の記憶部９２に記憶第２の記憶部９２を更新するだけで
Ｚ０Ａｘ＝ΔＺ０−ΔＺ１ａ＋Ｚ０２ｘ
Ｚ０Ｂｘ＝ΔＺ０−ΔＺ１ｂ＋Ｚ０２ｘ
となり、ターンテーブル４に配設される全ての保持手段の保持面２２と研削手段３の研削面３５ａとが接する時の研削手段３の高さ位置である研削送り位置を求めることができる。

【0034】

次に、ターンテーブル４に複数配設される保持手段のうちの１つの保持手段２ａのみ交換した時は、高さゲージ７の測定部７２を保持面２２に接触させＺ１ａｘを測定すると共に、高さゲージ７で測定した基準テーブル８が上限位置での上面８ａの基準テーブル高さ値Ｚ１１との差をΔＺ１ａｘとして第３の記憶部に記憶することによって第３の記憶部９３を更新するだけで
Ｚ０Ａｘ＝ΔＺ０−ΔＺ１ａｘ＋Ｚ０２
Ｚ０Ｂ ＝ΔＺ０−ΔＺ１ｂ＋Ｚ０２
となり、ターンテーブル４に配設される全ての保持手段の保持面２２と研削手段３の研削面３５ａとが接する時の研削手段３の高さ位置である研削送り位置を求めることができる。

【0035】

また、１つの保持手段を交換した時と同様に、ターンテーブル４に複数配設される保持手段のうち複数の保持手段を交換した時も、高さゲージ７の測定部７２を保持面２２に接触させ測定した値によって第３の記憶部９３を更新して、ターンテーブル４に配設される全ての保持手段の保持面２２と研削手段３の研削面３５ａとが接する時の研削手段３の高さ位置である研削送り位置を求めることができる。

【0036】

以下では、被加工物を研削する手順について説明する。図１に示す搬出入領域２ａに位置する保持手段２ａには、被加工物が搬入されて保持される。そして、ターンテーブル４が１８０度回転することにより、保持手段２ａに保持された被加工物が研削手段３の下方に移動する。

【0037】

図６に示すように、保持手段２ａに保持された被加工物Ｗの研削前の厚さＴａが例えば２００μｍであり、研削後の仕上がり厚さを１００μｍとする場合においては、Ｚ０軸上における保持面２２の研削送り位置がＺ０Ａであるから、研削ホイール３４を回転させるとともに、研削送り手段５で研削手段３が上方向の移動をプラスで下方向の移動をマイナスと装置が認識するとしたなら、研削送り手段５によって、研削手段３をＺ０Ａ＋１００μｍまで研削送りすればよい。このようにして研削送りを行うと、厚さが１００μｍの被加工物Ｗが形成される。研削では被加工物の厚みを減じると共に研削砥石が消耗するので厚さが１００ｕｍの被加工物を形成するにはＺ０Ａ＋１００ｕｍ−砥石の消耗量になる。

【0038】

（２）第２の実施形態
本実施形態においては、第１の実施形態と共通する部位については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略することとする。

【0039】

図７に示す研削装置１０は、被加工物を保持する５つの保持手段２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅと、各保持手段に保持された被加工物を研削する研削手段３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄとを備えている。

【0040】

保持手段２ａ〜２ｅは、リング状に形成されたターンテーブル４によって自転可能に支持されており、ターンテーブル４の回転中心を中心として均等角度離間して配設されている。ターンテーブル４は、モータ４０によって駆動されて自転可能であり、ターンテーブル４の自転によって保持手段２ａ〜２ｅが公転交点可能となっている。研削手段３ａ〜３ｄは、保持手段２ａ〜２ｅの公転経路の上方に配設されている。例えば、研削手段３ａ、３ｂが粗研削手段、研削手段３ｃ、３ｄが仕上げ研削手段となっている。

【0041】

ターンテーブル４の内周側に位置する固定基台６には、研削手段が４つあることに対応し、各保持手段２ａ〜２ｅの高さを測定する高さゲージ７が４つ配設されている。

【0042】

図７に示すように、ターンテーブル４上であって、保持手段２ａ〜２ｅのいずれかの近傍には、高さゲージ７によって高さの測定が可能な基準テーブル８が配設されている。図７の例における基準テーブル８は、保持手段２ｅの近傍に配設されている。基準テーブル８は、ターンテーブル４の回転中心ｏと高さゲージ７の測定部７２との距離を半径とし、ターンテーブル４の回転中心ｏを中心とする円周上に設けられている。

【0043】

図８に示すように、研削装置１０には、研削手段３ａ〜３ｄを備えていることに対応し、それぞれの研削手段３ａ〜３ｄを研削送りする研削送り手段５ａ〜５ｄをそれぞれ備えている。また、研削送り手段５ａ〜５ｄを制御する制御手段９には、第１の実施形態で示した第1の記憶部９１、第２の記憶部９２及び第３の記憶部９３に加えて、第４の記憶部９４を備えている。

【0044】

本実施形態の研削装置１０では、研削手段を複数備えているため、そのうちの１つを指定研削手段とし、指定研削手段とその他の研削手段との研削送り位置の差を求め、その差の値を利用して研削送りを行う。

【0045】

保持手段２ａ〜２ｅの個々の保持面２２が互いに同じ高さ位置に位置していないことがあることを考慮し、保持手段２ａ〜２ｅの保持面２２の高さ位置を、基準テーブル８の高さ位置との相対的な関係における変位によって認識する。そのための準備として、被加工物の研削を行う前に、制御手段９の第１の記憶部９１、第２の記憶部９２、第３の記憶部９３及び第４の記憶部９４にそれぞれ必要な値を記憶する。

【0046】

例えば、指定研削手段を研削手段３ａとすると、最初に、ターンテーブル４を所定角度回転させ、指定研削手段３ａについて、図９に示すように、研削送り手段５ａによって指定研削手段３ａを研削送り方向に下降させて、上限位置に位置する基準テーブル８の上面８ａに研削砥石３５を接触させ、その時の指定研削手段３ａの高さ位置である第１の研削送り位置Ｚ０１ａを認識する。その後、指定研削手段３ａを下降させていき、上限位置から一定距離下降したことが検知部８３によって検知され基準テーブル８の上面８ａと研削砥石３５の研削面３５ａとが接している時の指定研削手段３ａの高さ位置である第２の研削送り位置Ｚ０２ｂを認識し、その値を第２の記憶部９２に記憶する。そして、算出部９５において、第１の研削送り位置Ｚ０１ａの値から第２の記憶部９２に記憶した第２の研削送り位置Ｚ０２ａの値との差を算出し、求めた差の値を、第１の研削送り位置Ｚ０１ａと第２の研削送り位置Ｚ０２ａとの間の高低差ΔＺ０ａとして第１の記憶部９１に記憶する。第１の研削送り位置Ｚ０１ａ及び第２の研削送り位置Ｚ０２ａとしては、例えば、研削送り手段５に備えた位置基準部５５の高さ位置を用いることができる。位置基準部５５の高さ位置は、Ｚ０ａ軸上の位置として認識することができる。

【0047】

次に、図１０に示すように、上限位置に位置する基準テーブル８の上面８ａに高さゲージ７の測定部７２を接触させて基準テーブル８の上面８ａの高さである基準テーブル高さ値Ｚ１１を測定し、第３の記憶部９３に記憶する。また、ターンテーブル４を所定角度回転させながら、ターンテーブル４に配設されたすべての保持手段２ａ〜２ｅの上面である保持面２２に高さゲージ７の測定部７２を接触させて、Ｚ１軸上の保持面２２の高さ値をそれぞれ求める。図１０においては、保持手段２ａ、２ｂの保持面２２の高さであるＺ１ａ、Ｚ１ｂのみを図示しているが、保持手段２ｃ、２ｄ、２ｅの高さであるＺ１ｃ、Ｚ１ｄ、Ｚ１ｅについても同様に測定する。

【0048】

そして、それぞれの保持手段の高さ値Ｚ１ａ、Ｚ１ｂ、・・・と基準テーブル高さ値Ｚ１１との差を、ΔＺ１ａ、ΔＺ１ｂ、・・・としてそれぞれ第３の記憶部９３に記憶する。

【0049】

次に、ターンテーブル４を所定角度回転させながら、図１１に示すように、指定研削手段３ａ以外の研削手段３ｂ、３ｃ、３ｄのそれぞれの研削砥石３５の研削面３５ａを基準テーブル８の上面８ａに接触させ、その研削手段を下降させることにより基準テーブル８を押し下げ、基準テーブル８が上限位置から一定距離下降したことを検知部８３が検知した時、それぞれの研削手段のＺ０軸であるＺ０ｂ軸、Ｚ０ｃ軸、Ｚ０ｄ軸上におけるそれぞれの研削送り位置Ｚ０２ｂ、Ｚ０２ｃ、Ｚ０２ｄの値をそれぞれ第４の記憶部９４に記憶する。基準テーブル８は１つであるので、その上面８ａの高さは変動しないが、それぞれの研削手段が個々に別々の研削送り手段によって支持されているため、それぞれの研削送り手段によって認識される研削手段の研削送り位置が一致するとは限らない。

【0050】

こうして第１の記憶部９１、第２の記憶部９２、第３の記憶部９３及び第４の記憶部９４にそれぞれ値が記憶されると、算出部９５は、以下の計算式(２)の計算を行う。
(第２の記憶部の値)−（第４の記憶部の値）・・・計算式(２)

【0051】

上記計算式(２)によって求められた値は、指定研削手段３ａとその他のそれぞれの研削手段との座標軸の上下方向のずれを表している。

【0052】

次に、上記計算式(２)の計算結果を第２の記憶部９２に代入し、下記計算式(１)を計算する。
（第１の記憶部の値）−（第３の記憶部の値）＋（第２の記憶部の値）・・計算式(１)
よって、それぞれの研削手段の研削面３５ａがターンテーブル４に配設されるすべての保持手段の上面２２に接触する時の研削送り位置が算出可能となっている。

【0053】

そうすると、研削手段間の高さ位置の差及び保持手段間の高さ位置の差を考慮した研削送り位置が求められる。そして、その研削送り位置を基準として研削送りをすることにより、被加工物を所望の厚みに形成することができる。

【0054】

このように、複数の保持手段と複数の研削手段とを有する研削装置においては、１つの指定研削手段の研削砥石と基準テーブルとが接触する時の研削手段の高さ位置を基準とし、指定研削手段以外の研削手段については、指定研削手段の当該高さ位置との相対的な関係から、研削砥石がすべての保持手段の保持面に接触する時の研削送り位置を算出することができるため、複数の研削手段間に高低差があったとしても、その高低差に応じた研削送りを行うことができる。

【符号の説明】

【0055】

１、１０：研削装置
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ、２ｅ：保持手段
２０：保持部 ２１：回転軸 ２２：保持面 ２３：吸引源 ２４：ベルト
２５：モータ
３、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ：研削手段
３０：スピンドル ３１：スピンドルハウジング ３２：モータ ３３：マウント
３４：研削ホイール ３５：研削砥石 ３５ａ：研削面
４：ターンテーブル ４０：モータ ４ａ：搬出入領域 ４ｂ：研削領域
５、５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ：研削送り手段
５０：ボールネジ ５１：サーボモータ ５２：軸受け部 ５３：ガイドレール
５４：移動基台 ５５：位置基準部
６：固定基台
７：高さゲージ ７０：ベース部 ７１：回動部 ７２：測定部
８：基準テーブル ８０：昇降駆動部 ８１：軸部 ８２：板部材 ８３：検知部
９：制御手段 ９１：第１の記憶部 ９２：第２の記憶部 ９３：第３の記憶部
９４：第４の記憶部 ９５：算出部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】