特許5905735基板処理装置、基板処理方法及び基板温度の設定可能帯域の変更方法

発明の名称　基板処理装置、基板処理方法及び基板温度の設定可能帯域の変更方法

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（579件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 22 位（763件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5905735

公報発行日　2016年4月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5905735

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