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特許5912455基板割れ検出方法および当該基板割れ検出方法に基づくイオンビーム照射装置の運転方法
発明の名称 基板割れ検出方法および当該基板割れ検出方法に基づくイオンビーム照射装置の運転方法
出願人 日新イオン機器株式会社 （識別番号 302054866）
特許公開件数ランキング 947 位（8件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1206 位（5件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社アルバック （識別番号 231464）
特許公開件数ランキング 499 位（27件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 643 位（12件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5912455
公報発行日 2016年4月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5912455
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