特許5920610瞳強度分布の設定方法、照明光学系およびその調整方法、露光装置、並びにデバイス製造方法

発明の名称　瞳強度分布の設定方法、照明光学系およびその調整方法、露光装置、並びにデバイス製造方法

出願人　株式会社ニコン　（識別番号 4112）

　　　　特許公開件数ランキング 155 位（208件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 130 位（205件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5920610

公報発行日　2016年5月18

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5920610

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