特許第5925898号(P5925898)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ 東京エレクトロン株式会社の特許一覧 ▶ ト−キョ−・エレクトロン・アメリカ・インコーポレーテッドの特許一覧

特許5925898フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法
<図1>
  • 特許5925898-フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法 図000002
  • 特許5925898-フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法 図000003
  • 特許5925898-フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法 図000004
  • 特許5925898-フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法 図000005
  • 特許5925898-フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法 図000006
  • 特許5925898-フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法 図000007
  • 特許5925898-フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法 図000008
  • 特許5925898-フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法 図000009
  • 特許5925898-フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法 図000010
  • 特許5925898-フルオロカーボン用の金属カーバイドバリア層を形成する方法 図000011
< >