特許第5928896号(P5928896)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5928896窒化珪素焼結体およびそれを用いた窒化珪素基板並びにその製造方法
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  • 特許5928896-窒化珪素焼結体およびそれを用いた窒化珪素基板並びにその製造方法 図000005
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