特許 5929324 搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5929324

(24)【登録日】2016年5月13日

(45)【発行日】2016年6月1日

(54)【発明の名称】搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 49/06 20060101AFI20160519BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20160519BHJP

   B65H 23/038 20060101ALI20160519BHJP

【ＦＩ】

   B65G49/06

   H01L21/68 A

   B65H23/038 Z

【請求項の数】6

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2012-45672(P2012-45672)

(22)【出願日】2012年3月1日

(65)【公開番号】特開2013-180863(P2013-180863A)

(43)【公開日】2013年9月12日

【審査請求日】2015年2月24日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004112

【氏名又は名称】株式会社ニコン

(74)【代理人】

【識別番号】100064908

【弁理士】

【氏名又は名称】志賀 正武

(74)【代理人】

【識別番号】100108578

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 詔男

(72)【発明者】

【氏名】横田 宗泰

【審査官】 木原 裕二

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０６−１１５７８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−２４６００４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−２８１２５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０５−０２４６４９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０３−２５６９６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２２７４３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１２４２６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−０１０７０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６３−２０４５７５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ ４９／０６

Ｂ６５Ｈ ２３／０３８

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

長尺方向に所定の張力を与えた長尺のシート基板の表面と接触して、前記シート基板の搬送方向を変えるローラー部材を有する搬送装置において、
前記ローラー部材は、
前記シート基板の長尺方向と交差する幅方向に延びる中心軸の回りに回転可能であると共に、前記シート基板の幅方向を複数の部分に分けた部分毎に前記シート基板と接触する円筒面状の案内面を有する複数の単位ローラー部を備え、
前記複数の単位ローラー部の各々の案内面には、前記シート基板と接触すると共に、前記案内面に沿った周方向又は単位ローラー部の径方向に超音波振動を進行させる凸部が形成され、
前記複数の単位ローラー部の各々と前記シート基板との間の摩擦力を、前記シート基板の幅方向に異ならせるように、前記複数の単位ローラー部の各々の前記凸部に個別に前記超音波振動を付与する制御部を備える、
搬送装置。

【請求項2】

前記振動は、正弦波振動を含み、
前記正弦波振動は、前記単位ローラー部の案内面によって案内される前記シート基板の搬送方向に対して逆方向に進行する
請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

前記凸部は、前記単位ローラー部の外周に複数設けられ、
複数の前記凸部は、前記シート基板の搬送方向に対して等しいピッチで配置されている
請求項２に記載の搬送装置。

【請求項4】

前記凸部は、前記単位ローラー部の案内面のうち前記中心軸の方向の端部に配置されている
請求項３に記載の搬送装置。

【請求項5】

前記複数の単位ローラー部は、それぞれ前記中心軸の方向に個別に移動可能に設けられている
請求項３に記載の搬送装置。

【請求項6】

前記複数の単位ローラー部は、それぞれ前記中心軸の方向に対して個別に傾斜可能に設けられている
請求項３に記載の搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ディスプレイ装置などの表示装置を構成する表示素子として、例えば液晶表示素子、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）素子、電子ペーパに用いられる電気泳動素子などが知られている。これらの素子を作製する手法の１つとして、例えばロール・トゥ・ロール方式（以下、単に「ロール方式」と表記する）と呼ばれる手法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【0003】

ロール方式は、基板供給側のローラーに巻かれた１枚の帯状の基板を送り出すと共に送り出された基板を基板回収側のローラーで巻き取りながら基板を搬送し、基板が送り出されてから巻き取られるまでの間に、例えば複数の搬送ローラー等を用いて基板を搬送し、複数の処理装置（ユニット）を用いて、ＴＦＴを構成するゲート電極、ゲート酸化膜、半導体膜、ソース・ドレイン電極等を形成し、基板の被処理面上に表示素子の構成要素を順次形成する。例えば、有機ＥＬの素子を形成する場合には、発光層、陽極、陰極、電気回路等を基板上に順次形成する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】国際公開２００８／１２９８１９号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、上記のようなロール方式においては、帯状の基板に表示素子を高精度に製造可能とする技術が要望されており、例えば帯状の基板を高精度に搬送する技術が求められている。

【0006】

そこで、本発明の態様は、帯状の基板を高精度に搬送することができる基板搬送装置及び基板処理装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の態様に従えば、帯状の基板を搬送する搬送装置において、基板の移動経路に設けられ、基板の搬送方向を第一方向から第二方向に変更する案内面を有する案内部材と、案内面の一部に対して振動を付与する振動付与部とを備える搬送装置が提供される。

【発明の効果】

【0008】

本発明の態様によれば、帯状の基板を高精度に搬送することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の実施の形態に係る基板処理装置の構成を示す図。

【図2】本実施形態に係る搬送装置の構成を示す図。

【図3】本実施形態に係る搬送装置の一部の構成を示す図。

【図4】本実施形態に係る搬送装置の一部の構成を示す図。

【図5】本実施形態に係る搬送装置の動作を示す図。

【図6】本実施形態に係る搬送装置の動作を示す図。

【図7】本実施形態に係る搬送装置の動作を示す図。

【図8】本実施形態に係る搬送装置の動作を示す図。

【図9】本実施形態に係る搬送装置の動作を示す図。

【図10】本実施形態に係る搬送装置の動作を示す図。

【図11】本実施形態に係る搬送装置の動作を示す図。

【図12】本実施形態に係る搬送装置の動作を示す図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、図面を参照して、本実施の形態を説明する。
［第一実施形態］
図１は、第一実施形態に係る基板処理装置１００の構成を示す模式図である。
図１に示すように、基板処理装置１００は、帯状に形成されたシート基板（例えば、帯状のフィルム部材）Ｓを供給する基板供給部２と、基板Ｓの表面（被処理面）Ｓａに対して処理を行う基板処理部３と、基板Ｓを回収する基板回収部４と、これらの各部を制御する制御部ＣＯＮＴと、を有している。

【0011】

基板処理部３は、基板供給部２から基板Ｓが送り出されてから、基板回収部４によって基板Ｓが回収されるまでの間に、基板Ｓの表面に各種処理を実行するための基板処理装置１００を備える。この基板処理装置１００は、基板Ｓ上に例えば有機ＥＬ素子、液晶表示素子等の表示素子（電子デバイス）を形成する場合に用いることができる。

【0012】

なお、本実施形態では、図１に示すようにＸＹＺ座標系を設定し、以下では適宜このＸＹＺ座標系を用いて説明を行う。ＸＹＺ座標系は、例えば、水平面に沿ってＸ軸及びＹ軸が設定され、鉛直方向に沿って上向きにＺ軸が設定される。また、基板処理装置１００は、全体としてＸ軸に沿って、そのマイナス側（−側）からプラス側（＋側）へ基板Ｓを搬送する。その際、帯状の基板Ｓの幅方向（短尺方向）は、Ｙ軸方向に設定される。

【0013】

基板処理装置１００において処理対象となる基板Ｓとしては、例えば樹脂フィルムやステンレス鋼などの箔（フォイル）を用いることができる。例えば、樹脂フィルムは、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエステル樹脂、エチレンビニル共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、セルロース樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、酢酸ビニル樹脂、などの材料を用いることができる。

【0014】

基板Ｓは、例えば２００℃程度の熱を受けても寸法が変わらないように熱膨張係数が小さい方が好ましい。例えば、無機フィラーを樹脂フィルムに混合して熱膨張係数を小さくすることができる。無機フィラーの例としては、酸化チタン、酸化亜鉛、アルミナ、酸化ケイ素などが挙げられる。

【0015】

基板Ｓの幅方向（短尺方向）の寸法は例えば５０ｃｍ〜２ｍ程度に形成されており、長さ方向（長尺方向）の寸法は例えば１０ｍ以上に形成されている。勿論、この寸法は一例に過ぎず、これに限られることは無い。例えば基板Ｓの幅方向の寸法が５０ｃｍ以下であっても構わないし、２ｍ以上であっても構わない。また、基板Ｓの長さ方向の寸法が１０ｍ以下であっても構わない。

【0016】

基板Ｓは、例えば１ｍｍ以下の厚みを有し、可撓性を有するように形成されている。ここで可撓性とは、基板に自重程度の力を加えても剪断したり破断したりすることはなく、該基板を撓めることが可能な性質をいう。また、自重程度の力によって屈曲する性質も可撓性に含まれる。また、上記可撓性は、該基板の材質、大きさ、厚さ、又は温度などの環境、等に応じて変わる。なお、基板Ｓとしては、１枚の帯状の基板を用いても構わないが、複数の単位基板を接続して帯状に形成される構成としても構わない。

【0017】

基板供給部２は、例えばロール状に巻かれた基板Ｓを基板処理部３に向けて送り出し、シート基板Ｓを基板処理部３内に供給する。この場合、基板供給部２には、基板Ｓを巻きつける軸部及び当該軸部を回転させる回転駆動装置などが設けられる。さらに、基板供給部ＳＵは、例えばロール状に巻かれた状態の基板Ｓを覆うカバー部を備える構成であっても構わない。なお、基板供給部２は、ロール状に巻かれた基板Ｓを送り出す機構に限定されず、ロール状に巻かれていない状態、例えば、折り重ねられた基板Ｓをその長さ方向に順次送り出す機構を含むものであればよい。

【0018】

基板回収部４は、基板処理部３が備える基板処理装置１００を通過した基板Ｓを例えばロール状に巻きとって回収する。基板回収部４には、基板供給部２と同様に、基板Ｓを巻きつけるための軸部や当該軸部を回転させる回転駆動源、回収した基板Ｓを覆うカバー部などが設けられている。なお、基板処理部３において基板Ｓがパネル状に切断される場合などには例えば基板Ｓを重ねた状態で回収するなど、ロール状に巻いた状態とは異なる状態で基板Ｓを回収する構成であっても構わない。

【0019】

基板処理部３は、基板供給部２から供給される基板Ｓを基板回収部４へ搬送すると共に、搬送の過程で基板Ｓの被処理面Ｓａに対して処理を行う。基板処理部３は、処理装置１０及び搬送装置２０を有している。処理装置１０としては、基板Ｓの被処理面Ｓａに対して例えば有機ＥＬ素子を形成するための各種装置が設けられる。

【0020】

このような装置としては、例えば被処理面Ｓａ上に隔壁を形成するための隔壁形成装置、電極を形成するための電極形成装置、発光層を形成するための発光層形成装置などが挙げられる。より具体的には、液滴塗布装置（例えばインクジェット型塗布装置など）、成膜装置（例えば鍍金装置、蒸着装置、スパッタリング装置）、露光装置、現像装置、表面改質装置、洗浄装置などが挙げられる。これらの各装置は、基板Ｓの搬送経路に沿って適宜設けられる。

【0021】

図２は、搬送装置２０の一部の構成を示す図である。
搬送装置２０は、第一案内部材２１、第二案内部材２２、第三案内部材２３、振動付与部２４及び駆動部２５を有している。第一案内部材２１、第二案内部材２２及び第三案内部材２３は、それぞれ円筒状に形成されており、各中心軸がＹ方向に平行となるように基板Ｓの搬送方向に沿って順に設けられている。基板Ｓは、第一案内部材２１、第二案内部材２２及び第三案内部材２３に直接掛けられた状態で案内される。

【0022】

第一案内部材２１の外周面は、基板Ｓを案内する案内面２１ｆとなっている。第二案内部材２２の外周面は、基板Ｓを案内する案内面２２ｆとなっている。第三案内部材２３の外周面は、基板Ｓを案内する案内面２３ｆとなっている。第一案内部材２１及び第二案内部材２２は、同一のＸＹ平面上に配置されている。第三案内部材２３は、第一案内部材２１及び第二案内部材２２よりも−Ｚ側（下方）に配置されている。

【0023】

このため、基板Ｓは、第二案内部材２２の案内面２２ｆによって進行方向が＋Ｘ方向から−Ｚ方向（下方）へ変換されるようになっている。このように、第二案内部材２２の案内面２２ｆは、基板Ｓの進行方向を第一方向である＋Ｘ方向から第二方向である−Ｚ方向に変更するように基板Ｓを案内する。なお、第一案内部材２１の案内面２１ｆは、基板Ｓの進行方向を＋Ｚ方向（上方）から＋Ｘ方向（水平方向）に変換する。また、第三案内部材２３の案内面２３ｆは、基板Ｓの進行方向を−Ｚ方向（下方）から＋Ｘ方向（水平方向）に変換する。

【0024】

第一案内部材２１及び第三案内部材２３は、基板Ｓの裏面に接触した状態で、基板Ｓを搬送するために、回転軸を中心に回転可能に基板処理部３内に取り付けられている。なお、第一案内部材２１及び第三案内部材２３が、基板Ｓの裏面に対して非接触の状態（例えば、エア浮上させる等）で案内する場合、第一案内部材２１及び第三案内部材２３を基板処理部３内に固定してもよい。

【0025】

一方、第二案内部材２２は、Ｙ方向に４つ並んで配置された複数の単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄを有している。各単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄは、例えば同一の径を有しており、各中心軸の軸線方向がＹ方向に一致するように配置されている。また、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄは、Ｙ方向の寸法が同一となるように形成されている。勿論、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄの間で、径若しくはＹ方向の寸法が異なるように形成されていても構わない。

【0026】

単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄは、それぞれ個別に中心軸周り（Ｙ軸周り）に回転可能に設けられている。また、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄは、それぞれ中心軸の軸線方向（Ｙ方向）に個別に移動可能に設けられている。また、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄは、それぞれ中心軸の軸線方向（Ｙ方向）に対して個別に傾斜可能に設けられている。駆動部２５は、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄのそれぞれに対して、回転動作、直線移動動作及び傾斜動作を個別に行わせる。駆動部２５の動作は、制御部ＣＯＮＴによって制御されるようになっている。

【0027】

例えば、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄのそれぞれは、中心軸方向に伸縮可能な回転軸に固定され、各回転軸は、自在継手（ユニバーサルジョイント部等）で連結されている。このような構成によって、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄは、回転軸が伸縮することによって中心軸の軸線方向に移動し、かつ、中心軸の軸線方向に個別に傾斜することが可能になる。

【0028】

なお、図２においては、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄがＹ方向に接するように配置された状態が示されているが、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄを互いに離れるように配置された状態であっても勿論構わない。

【0029】

振動付与部２４は、それぞれの単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄに対して個別に振動を付与する。このような振動としては、例えば超音波振動などが挙げられる。具体的には、案内面２２ｆ上を案内される基板Ｓの進行方向（＋Ｙ方向に見て時計回りの方向）に対して逆方向（＋Ｙ方向に見て反時計回りの方向）に進行する正弦波振動などが挙げられる。

【0030】

なお、当該超音波振動の振動方向は、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄの径方向に平行な方向であっても構わないし、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄの外周面（円筒面）の周方向であっても構わない。振動付与部２４は、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄに対して、このような超音波振動を付与することにより、案内面２２ｆのうち単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄに対応する部分と、基板Ｓとの間の摩擦力を低減させる。

【0031】

図３は、第二案内部材２２の案内面２２ｆを拡大して示す図である。
図３に示すように、第二案内部材２２の案内面２２ｆには、微小の突起である凸部２６が形成されている。当該凸部２６は、案内面２２ｆの周方向及び軸方向に複数設けられている。複数の凸部２６は、例えば周方向に等しいピッチで配置されている。なお、複数の凸部２６は、ランダムに配置されてもよい。基板Ｓは、当該複数の凸部２６を介して第二案内部材２２（単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄ）に接触している。

【0032】

上記のように構成された基板処理装置１００は、制御部ＣＯＮＴの制御により、ロール方式によって有機ＥＬ素子、液晶表示素子などの表示素子（電子デバイス）を製造する。以下、上記構成の基板処理装置１００を用いて表示素子を製造する工程を説明する。

【0033】

まず、不図示のローラーに巻き付けられた帯状の基板Ｓを基板供給部２に取り付ける。制御部ＣＯＮＴは、この状態から基板供給部２から当該基板Ｓが送り出されるように、不図示のローラーを回転させる。そして、基板処理部３を通過した当該基板Ｓを基板回収部４に設けられた不図示のローラーで巻き取らせる。この基板供給部２及び基板回収部４を制御することによって、基板Ｓの被処理面Ｓａを基板処理部３に対して連続的に搬送することができる。

【0034】

制御部ＣＯＮＴは、基板Ｓが基板供給部２から送り出されてから基板回収部４で巻き取られるまでの間に、基板処理部３の搬送装置２０によって基板Ｓを当該基板処理部３内で適宜搬送させつつ、処理装置１０によって表示素子の構成要素を基板Ｓ上に順次形成させる。この工程の中で、上記の搬送装置２０によって基板Ｓを搬送する場合、振動付与部２４によって単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄに振動を付与することにより、基板Ｓの進行方向を微調整することができる。

【0035】

図４は、１つの凸部２６を拡大して示す図である。制御部ＣＯＮＴは、振動付与部２４により、例えば第二案内部材２２の径方向に振動する第一正弦波振動（図４の白抜き矢印で示す方向）と、第二案内部材２２の円周方向に振動する第二正弦波振動（図４の黒塗り矢印で示す方向）とを組み合わせて、凸部２６に付与させる。この場合、第一正弦波振動及び第二正弦波振動の付与のタイミングを調整することで、凸部２６が基板Ｓを当該基板Ｓの搬送方向の下流側に推進するように振動させることができる。

【0036】

つまり、凸部２６に第一正弦波振動を付与させると、凸部２６は第二案内部材２２の径方向の外側に変位（伸長）する動作と、径方向の内側に変位（収縮）する動作とを周期的に繰り返す。また、凸部２６に第二正弦波振動を付与させると、凸部２６は第二案内部材２２の周方向の時計回りの方向（基板Ｓの搬送方向に沿った方向。以下、正側、と表記する）に変位する動作と、反時計回りの方向（基板Ｓの搬送方向とは反対の方向。以下、負側、と表記する）に変位する動作とを周期的に繰り返す。

【0037】

このため、振動付与部２４は、まず図５に示すように、凸部２６が径方向の内側に変位するように凸部２６に対して第一正弦波振動を付与する。次に、図６に示すように、凸部２６が径方向の内側に変位した位置から径方向の外側に変位しようとするタイミングで凸部２６が負側に移動するように、当該凸部に対して第二正弦波振動を付与する。

【0038】

このように第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与することにより、図７に示すように、凸部２６が負側から正側に移動するにつれて当該凸部２６が径方向の外側に変位する。凸部２６が負側と正側との中央に位置するタイミングで、径方向の外側に最も変位した位置に到達する。次に、図８に示すように、凸部２６は正側に移動しつつ、径方向の内側に変位していく。その後、凸部２６が負側に移動しつつ、径方向の内側に変位していき、図５に示す状態に戻る。以降、図５に示す状態から図８に示す状態を順に繰り返す。

【0039】

この繰り返しにより、凸部２６の＋Ｚ側端部（基板Ｓとの接触部分）は、Ｙ方向において時計回りに回転するように振動する。このような動作により、凸部２６は基板Ｓに対して搬送方向に沿った方向の力を作用させることができる。この力は、基板Ｓと凸部２６との間に働く摩擦力とは反対方向に作用するため、摩擦力の一部が減殺される。このように凸部２６が設けられる構成において、当該凸部２６に対して上記のタイミングで第一正弦波振動及び第二正弦波振動を加えることで、基板Ｓと第二案内部材２２との間の摩擦力を減少させることができる。

【0040】

次に、図９及び図１０を参照して、振動付与部２４によって単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄの一部に上記の第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与した場合の基板Ｓの挙動を説明する。
図９及び図１０は、基板Ｓのうち第一案内部材２１及び第二案内部材２２に掛けられた部分を＋Ｚ側から見たときの状態を示す図である。図９は、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄに振動を付与しない状態を示している。図１０は、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄのうち＋Ｙ側に配置される２つの単位ローラー部材２２ｃ及び２２ｄに対して、上記第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与した状態を示している。

【0041】

図９に示すように、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄに第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与しない状態で単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄをそれぞれ同一速度で回転させる場合、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄと基板Ｓとの間の摩擦力がＹ方向において一定となる。

【0042】

このため、基板Ｓのうち第一案内部材２１と第二案内部材２２との間の部分の張力Ｔ１及びＴ２は、Ｙ方向において一定となる。ただし、張力Ｔ１は、基板Ｓのうち第一案内部材２１と第二案内部材２２との間であって、単位ローラー部材２２ａ及び２２ｂによって搬送される部分の張力である。また、張力Ｔ２は、基板Ｓのうち第一案内部材２１と第二案内部材２２との間であって、単位ローラー部材２２ｃ及び２２ｄによって搬送される部分の張力である。

【0043】

したがって、基板Ｓが＋Ｘ方向に移動する場合であっても、Ｚ軸回りの方向にはモーメントは発生せず、基板ＳはＸ方向に平行に搬送される。

【0044】

これに対して、図１０に示すように、振動付与部２４によって単位ローラー部材２２ｃ及び２２ｄに上記のタイミングで第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与させつつ単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄを同一速度で回転させる場合、単位ローラー部材２２ａ及び２２ｂと基板Ｓとの間の摩擦力に比べて、単位ローラー部材２２ｃ及び２２ｄと基板Ｓとの間の摩擦力が小さくなる。このため、基板Ｓのうち第一案内部材２１と第二案内部材２２との間に作用する張力Ｔ１よりも、張力Ｔ２の方が小さくなる。

【0045】

したがって、基板Ｓのうち第一案内部材２１と第二案内部材２２との間の部分には、Ｚ方向に見て反時計回りの方向に曲げモーメントが発生する。この曲げモーメントにより、基板ＳはＸ方向に対して−Ｙ方向に傾いた方向に進行することになる。

【0046】

また、上記同様の原理により、振動付与部２４によって単位ローラー部材２２ａ及び２２ｂに超音波振動を付与させつつ単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄを同一速度で回転させる場合、単位ローラー部材２２ａ及び２２ｂと基板Ｓとの間の摩擦力に比べて、単位ローラー部材２２ｃ及び２２ｄと基板Ｓとの間の摩擦力が大きくなる。このため、基板Ｓのうち第一案内部材２１と第二案内部材２２との間に作用する張力Ｔ１よりも、張力Ｔ２の方が大きくなる。

【0047】

したがって、基板Ｓのうち第一案内部材２１と第二案内部材２２との間の部分には、Ｚ方向に見て時計回りの方向に曲げモーメントが発生する。この曲げモーメントにより、基板ＳはＸ方向に対して＋Ｙ方向に傾いた方向に進行することになる。

【0048】

なお、Ｙ方向における基板Ｓと第二案内部材２２との間の摩擦力の差が小さいと、曲げモーメントが小さくなるため、基板ＳのＹ方向への進行方向の傾きが小さくなる。したがって、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄを同一速度で回転させた状態で例えば単位ローラー部材２２ａのみに超音波振動を付与させる場合や、単位ローラー部材２２ｄのみに超音波振動を付与させる場合には、上記の場合に比べて基板Ｓの進行方向のＹ方向への傾きは小さくなる。

【0049】

また、図１１及び図１２は、基板Ｓのうち第一案内部材２１及び第二案内部材２２に掛けられた部分を＋Ｚ側から見たときの状態を示す図である。図１１は、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄに振動を付与しない状態を示している。図１２は、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄのうち＋Ｙ側に配置される２つの単位ローラー部材２２ｃ及び２２ｄに上記の第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与した状態を示している。

【0050】

図１１に示すように、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄに第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与せず、かつ、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄの回転を停止させた場合には、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄと基板Ｓとの間では、摩擦力がＹ方向において一定となる。なお、この場合には、第一案内部材２１〜第三案内部材２３とは異なる部分の駆動系を用いて基板Ｓを搬送方向に搬送させる。

【0051】

図１１に示す場合には、図９に示す単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄを回転させる場合と同様に、基板Ｓのうち第一案内部材２１と第二案内部材２２との間の部分の張力Ｔ１及びＴ２は、Ｙ方向において一定となる。基板Ｓが＋Ｘ方向に移動する場合であっても、Ｚ軸回りの方向にはモーメントは発生しない。したがって、基板Ｓは、Ｘ方向に沿って搬送される。

【0052】

これに対して、図１２に示すように、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄの回転を停止させた状態で、振動付与部２４によって単位ローラー部材２２ｃ及び２２ｄに上記のタイミングで第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与させる場合、単位ローラー部材２２ａ及び２２ｂと基板Ｓとの間の摩擦力に比べて、単位ローラー部材２２ｃ及び２２ｄと基板Ｓとの間の摩擦力が大きくなる。このため、基板Ｓのうち第一案内部材２１と第二案内部材２２との間に作用する張力Ｔ１よりも、張力Ｔ２の方が大きくなる。

【0053】

したがって、基板Ｓのうち第一案内部材２１と第二案内部材２２との間の部分には、Ｚ方向に見て時計回りの方向に曲げモーメントが発生する。この曲げモーメントにより、基板ＳはＸ方向に対して＋Ｙ方向に傾いた方向に進行することになる。

【0054】

また、同様の原理により、振動付与部２４によって単位ローラー部材２２ａ及び２２ｂに第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与させつつ単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄを同一速度で回転させる場合、単位ローラー部材２２ａ及び２２ｂと基板Ｓとの間の摩擦力に比べて、単位ローラー部材２２ｃ及び２２ｄと基板Ｓとの間の摩擦力が小さくなる。このため、基板Ｓのうち第一案内部材２１と第二案内部材２２との間に作用する張力Ｔ１よりも、張力Ｔ２の方が小さくなる。

【0055】

したがって、基板Ｓのうち第一案内部材２１と第二案内部材２２との間の部分には、Ｚ方向に見て反時計回りの方向に曲げモーメントが発生する。この曲げモーメントにより、基板ＳはＸ方向に対して−Ｙ方向に傾いた方向に進行することになる。

【0056】

なお、Ｙ方向における基板Ｓと第二案内部材２２との間の摩擦力の差が小さいと、曲げモーメントが小さくなるため、基板ＳのＹ方向への進行方向の傾きが小さくなる。したがって、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄの回転を停止させた状態で例えば単位ローラー部材２２ａのみに第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与させる場合や、単位ローラー部材２２ｄのみに第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与させる場合には、上記の場合に比べて基板Ｓの進行方向のＹ方向への傾きは小さくなる。

【0057】

このように、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄのそれぞれに対して、個別に第一正弦波振動及び第二正弦波振動を付与させることにより、基板Ｓの搬送方向をＸＹ平面内において微調整することができる。また、当該振動の付与に加えて、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄの回転の有無、回転速度、Ｙ方向に対する傾きを駆動部２５により調整することで、基板Ｓの搬送方向を補助的に微調整することができる。例えば、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄが回転の有無を切り替えることにより振動を付与させた場合の基板Ｓの進行方向を逆向きに調整することができる。

【0058】

以上のように、本実施形態によれば、帯状の基板Ｓを搬送する搬送装置２０において、基板Ｓの移動経路に設けられ、基板Ｓの搬送方向を例えば＋Ｘ方向から−Ｚ方向に変更する案内面２２ｆを有する第二案内部材２２と、案内面２２ｆの一部に対して振動を付与する振動付与部２４とを備えることとしたので、第二案内部材２２と基板Ｓとの間の摩擦力を局所的に変化させることができる。

【0059】

この構成により、第二案内部材２２によって基板Ｓに作用する張力が局所的に変化するため、基板Ｓの搬送方向である＋Ｘ方向に交差するＹ方向に曲げモーメントが発生する。当該曲げモーメントにより、基板Ｓの搬送方向をＹ方向に傾けることができるため、基板Ｓの搬送方向の微調整を行うことができる。これにより、帯状の基板を高精度に搬送することができる。

【0060】

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記実施形態では、第二案内部材２２にのみ振動付与部２４が設けられた構成としたが、これに限られることは無く、例えば第一案内部材２１や第三案内部材２３など、案内面２２ｆとは異なる案内面２１ｆ及び２３ｆを有する案内部材に振動付与部２４が設けられた構成としても構わない。この構成において、複数の案内面２１ｆ、２２ｆ及び２３ｆに対して、例えば振動の種類、振動方向、振動の進行方向などが異なるように、振動を付与するようにしても構わない。

【0061】

また、例えば上記実施形態では、第二案内部材２２を構成する単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄの全てに凸部２６が設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、単位ローラー部材２２ａ〜２２ｄのうちＹ方向の両端部に配置される単位ローラー部材２２ａ及び２２ｄにのみに凸部２６が設けられた構成であっても構わない。さらに、凸部２６は、基板Ｓの裏面に対して点接触する構成であっても、所定の面積で接触する構成であってもよい。

【符号の説明】

【0062】

ＣＯＮＴ…制御部 ３…基板処理部 ２０…搬送装置 ２１…第一案内部材 ２２…第二案内部材 ２３…第三案内部材 ２１ｆ、２２ｆ、２３ｆ…案内面 ２２ａ〜２２ｄ…単位案内部材 ２４…振動付与部 ２５…駆動部 ２６…凸部 １００…基板処理装置 Ｓ…基板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】