特許5930735低抵抗材料のビーム誘起堆積

発明の名称　低抵抗材料のビーム誘起堆積

出願人　エフ　イー　アイ　カンパニ　（識別番号 501233536）

　　　　特許公開件数ランキング 459 位（58件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 579 位（36件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5930735

公報発行日　2016年6月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5930735

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