特許5933222温度制御方法、制御装置及びプラズマ処理装置

発明の名称　温度制御方法、制御装置及びプラズマ処理装置

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（579件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 20 位（769件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5933222

公報発行日　2016年6月8

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5933222

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