特許 5934412 中継器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5934412

(24)【登録日】2016年5月13日

(45)【発行日】2016年6月15日

(54)【発明の名称】中継器

(51)【国際特許分類】

   G05B 23/02 20060101AFI20160602BHJP

   G05D 7/06 20060101ALI20160602BHJP

   G01F 1/00 20060101ALI20160602BHJP

   G01F 3/22 20060101ALI20160602BHJP

【ＦＩ】

   G05B23/02 V

   G05D7/06 Z

   G01F1/00 Y

   G01F3/22 D

【請求項の数】4

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2015-83949(P2015-83949)

(22)【出願日】2015年4月16日

(65)【公開番号】特開2016-21219(P2016-21219A)

(43)【公開日】2016年2月4日

【審査請求日】2015年11月5日

(31)【優先権主張番号】特願2014-127618(P2014-127618)

(32)【優先日】2014年6月20日

(33)【優先権主張国】JP

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000127961

【氏名又は名称】株式会社堀場エステック

(74)【代理人】

【識別番号】100121441

【弁理士】

【氏名又は名称】西村 竜平

(74)【代理人】

【識別番号】100154704

【弁理士】

【氏名又は名称】齊藤 真大

(72)【発明者】

【氏名】瀧尻 興太郎

(72)【発明者】

【氏名】大江 健一

(72)【発明者】

【氏名】古川 幸正

【審査官】 川東 孝至

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−２０１６６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−０５９３２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−２１６２２７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−１３４７１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００３−５０４７４８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０５Ｂ ２３／００−２３／０２

Ｇ０５Ｄ ７／００− ７／０６

Ｇ０１Ｆ １／００

Ｇ０１Ｆ ３／２２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

流体を制御又は測定する流体機器が接続される第１ポートと、ユーザ用情報処理装置が接続される第２ポートとを具備し、前記流体を制御又は測定するためのデータである流体関連データを、前記第１ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第２ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置に送信する、又は、前記流体関連データを前記第２ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置から受信するとともに、前記第１ポートを介して前記流体機器に送信する中継器であって、
前記流体機器の動作状態を診断する診断用装置が接続される第３ポートをさらに具備し、
前記動作状態を診断する診断用データを、前記第１ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第３ポートを介して前記診断用装置に送信するものであり、
前記第１ポートに、前記流体関連データを通信する第１通信ラインと前記診断用データを通信する第２通信ラインとが接続されることを特徴とする中継器。

【請求項2】

流体を制御又は測定する流体機器が接続される第１ポートと、ユーザ用情報処理装置が接続される第２ポートとを具備し、前記流体を制御又は測定するためのデータである流体関連データを、前記第１ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第２ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置に送信する、又は、前記流体関連データを前記第２ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置から受信するとともに、前記第１ポートを介して前記流体機器に送信する中継器であって、
前記流体機器の動作状態を診断する診断用装置が接続される第３ポートをさらに具備し、
前記動作状態を診断する診断用データを、前記第１ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第３ポートを介して前記診断用装置に送信するものであり、
複数の前記流体機器を識別するための識別子を前記各流体機器に付す識別子付与部と、
前記識別子付与部により付された各流体機器の識別子を表示する表示部とをさらに有することを特徴とする中継器。

【請求項3】

前記各流体機器が、扁平形状をなすケーシングを有し、該ケーシングの面板部同士を互いに対向させることにより、互いに隣り合う前記流体機器を隙間なく配設できるように構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の流体制御システム用中継器。

【請求項4】

請求項１乃至３のうち何れか一項に記載の中継器と、
流体を制御又は測定する流体機器と、
前記中継器を介して前記流体機器との間で流体を制御又は測定するためのデータである流体関連データを送受信する情報処理装置とを具備することを特徴とする流体制御・測定システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば半導体製造プロセスに用いられる材料ガスや薬液、洗浄液等の流体を制御又は測定するための流体制御・測定システムの中継器に関するものである。

【背景技術】

【0002】

例えば、半導体製造プロセスのように複数のガスを用いる場合、各ガスの流量を制御すべく、ガスライン毎に流体制御装置などの流体機器が設けられている。これらの流体機器には、ユーザ用の情報処理装置が接続されており、当該ユーザ用情報処理装置との間で予めユーザにより設定された種類のデータを送受信するように構成されている。

【0003】

ところが、例えばメンテナンス時など、各流体機器の動作状態を診断する場合、ユーザ用情報処理装置には、上述したように、ユーザにより選択されたデータが送信されてはいるものの、前記動作状態の診断に必要なデータが揃っているとは限らない。

【0004】

そこで、従来の流体機器には、前記動作状態を診断するためのサービスポートが設けられており、このサービスポートを介して、メンテナンス業者等が用いる診断用装置とケーブル接続することで、当該診断用装置との間で診断に必要なデータを送受信するようにしている。

【0005】

しかしながら、近年、システムに対する小型化の要請が高まりつつあり、この要請に応えるべく流体機器の小型化を図ると、その一方で、流体機器に前記診断用装置をケーブル接続するためのポートを設けることができず、流体機器からのデータを診断用装置へ送信することができないという問題が生じる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開平７−２１０２５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

そこで本発明は、上記問題点を解決すべく、流体機器とユーザ用情報処理装置との間に介在する中継器に着目してなされたものであって、流体機器を小型化しながらも、流体機器の動作状態を診断できるようにすることをその主たる課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

すなわち本発明に係る中継器は、流体を制御又は測定する流体機器が接続される第１ポートと、ユーザ用情報処理装置が接続される第２ポートとを具備し、前記流体を制御又は測定するためのデータである流体関連データを、前記第１ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第２ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置に送信する、又は、前記流体関連データを前記第２ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置から受信するとともに、前記第１ポートを介して前記流体機器に送信する中継器であって、前記流体機器の動作状態を診断する診断用装置が接続される第３ポートをさらに具備し、前記動作状態を診断する診断用データを、前記第１ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第３ポートを介して前記診断用装置に送信することを特徴とするものである。

【0009】

このような中継器によれば、診断用装置が接続されて、流体機器から出力される診断用データを前記診断用装置に送信するための第３ポートを具備しているので、診断用装置と流体機器とをケーブル接続することなく、診断用データを診断用装置に送信することができる。
これにより、従来であれば各流体機器に設けられていたケーブル接続用のポートを不要にすることができ、各流体機器の小型化を図りながらも、各流体機器の動作状態を診断することが可能になる。

【0010】

流体関連データを所定の規格で通信する場合に、この通信を阻害することなく診断用データを診断用装置に送信するためには、前記各第１ポートに、前記流体関連データを通信する第１通信ラインと前記診断用データを通信する第２通信ラインとが接続されることが好ましい。
これならば、ユーザに設定された流体関連データを通信する第１通信ラインとは別に、第２通信ラインによって診断用データを通信するので、流体機器の診断に必要な診断用データをユーザの設定に関わらず取得することができ、柔軟に流体機器を診断することができる。すなわち、ユーザの設定を変更することなく、診断用データを設定することができ、後付した診断用装置を用いて流体機器の診断を行うことができる。

【0011】

各流体機器の更なる小型化を図るためには、複数の前記流体機器を識別するための識別子を前記各流体機器に付す識別子付与部と、前記識別子付与部により付された各流体機器の識別子を表示する表示部とを有することが好ましい。
これならば、従来のように流体機器に識別子付与部や表示部を設ける必要がなく、各流体機器を更に小型にすることができる。
そのうえ、流体機器が、例えばユーザの手の届かない場所、あるいは目の行き届かない場所に配置されたとしても、中継器さえ操作可能な場所に配置しておけば、該中継器の識別子付与部及び表示部により各流体機器の接続状態等を確認することができ、作業性を向上させることができる。

【0012】

本願発明の効果がより顕著となる実施態様としては、前記各流体機器が、扁平形状をなすケーシングを有し、該ケーシングの面板部同士を互いに対向させることにより、互いに隣り合う前記流体機器を隙間なく配設できるように構成されているものが挙げられる。

【0013】

また、本発明に係る流体制御・測定システムは、流体を制御又は測定する流体機器と、情報処理装置と、前記流体機器が接続される第１ポートと、前記ユーザ用情報処理装置が接続される第２ポートとを有し、前記流体を制御又は測定するためのデータである流体関連データを、前記第１ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第２ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置に送信する、又は、前記流体関連データを前記第２ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置から受信するとともに、前記第１ポートを介して前記流体機器に送信する中継器とを具備する流体制御・測定システムであって、前記中継器が、前記流体機器の動作状態を診断する診断用装置が接続される第３ポートをさらに具備し、前記動作状態を診断する診断用データを、前記第１ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第３ポートを介して前記診断用装置に送信することを特徴とするものである。
このような流体制御・測定システムによれば、上述した中継器と同様の作用効果を得ることができる。

【発明の効果】

【0014】

このように構成した本発明によれば、流体機器を小型化しながらも、流体機器の動作状態を診断することができる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本実施形態の流体制御・測定システムの模式的に示す図。

【図2】同実施形態の流量制御装置を示す斜視参考図。

【図3】同実施形態の流量制御装置の構成を示す斜視参考図。

【図4】同実施形態の流量制御装置の構成を示す参考図。

【図5】同実施形態の中継器を示す模式図。

【図6】同実施形態の中継器を示す模式図。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下に本発明に係る流体制御・測定システムについて図面を参照して説明する。

【0017】

前記流体制御・測定システム１００は、図１に示すように、例えば、半導体製造システム成膜用の各種ガスをガス供給源からそれぞれ導入し、それらを混合して半導体の成膜チャンバ（図示しない）に供給するために用いられるものであり、各ガスの流路Ｌ（以下、ガス流路ともいう。）を形成する流路形成部材と、各ガス流路Ｌにそれぞれ設けられて該ガス流路Ｌを流れるガスの流量を独立して制御する流体機器たる流量制御装置１０１と、各流量制御装置１０１と通信可能なユーザ用情報処理装置１０２と、流量制御装置１０１とユーザ用情報処理装置１０２との間に介在する中継器１０３と、各流量制御装置１０１の動作状態を診断する、つまり各流量制御装置１０１が正常に動作しているかを診断する診断用装置１０４とを具備する。
なお、流体機器としては、流体の圧力、流量、温度粘性等の物性を制御する流体制御装置や、前記物性を測定する流体測定装置などが挙げられる。

【0018】

次に、この流体制御・測定システム１００の各部をより具体的に説明する。

【0019】

前記流路形成部材は、図示しないが、例えば、複数のブロック体を平面的に連設することでパネル上に構成されたものである。各ブロック体には、内部流路が設けてあり、それらを適宜連設して各ブロック体の内部流路を繋げることによって、上述したように、複数の並列したガス流路Ｌが形成されるようにしてある。ブロック体には、圧力センサやバルブ、あるいは後述する流量制御装置１０１等の流体関連機器を搭載可能なものや、分岐流路が形成されたものなど、種々のタイプが用意されている。このようなブロック体によって流路形成部材を構成しているのは、隙間なく密に配設できるうえ、その上部に一体的に前記流体関連機器を搭載できることから、小型化を図れ、その結果、流路を短くできてデッドスペースを小さくしたり応答性を向上させたりできるからである。なお、流路形成部材として、一般的な配管部材を用いても構わない。

【0020】

前記流量制御装置１０１は、図２〜図４に示すように、流量制御装置搭載用ブロック体１（以下、単にブロック体ともいう。）に搭載された圧力センサ２Ａ、２Ｂ、流体抵抗素子３、流量調整バルブ４、電気回路基板５及びこれらを収容するケーシング６とを具備したものである。
なお、本実施形態では、特に図２に示すように、前記ケーシング６は扁平形状をなすものであり、該ケーシング６の面板部同士を互いに対向させることにより、互いに隣り合う流量制御装置１０１が隙間なく配設されるように構成されている。これにより、流体制御・測定システム１００全体をコンパクト化することが可能になる。

【0021】

ブロック体１は、細長い直方体状をなすものであり、その長手方向に対して直交するように形成された前後各端面１ｂには、それぞれガスの導入ポート及び導出ポートが設けられ、それら各ポートを繋ぐように、平面視、長手方向に沿ってガスが流れる内部流路１ａが設けてある。

【0022】

そして、該内部流路１ａ上に、上流側から順に流量調整バルブ４、第１圧力センサ２Ａ、流体抵抗素子３、第２圧力センサ２Ｂが設けてある。また、このブロック体１の上面１ｃ（すなわち、このブロック体１の長手方向と平行で前記端面１ｂと垂直な面）は部品取付面として設定してあり、この部品取付面に後述する流量調整バルブ４や圧力センサ２Ａ、２Ｂのハウジングが設けてある。

【0023】

流量調整バルブ４は、内部流路１ａ上に設けられた弁本体（図示しない）とこれを開閉するアクチュエータ（図示しない）とを具備したものである。このアクチュエータは、例えば厚み方向に伸縮する積層ピエゾ素子を利用したものであり、前記部品取付面に取り付けられた筒状ハウジングに収容されている。そして、該アクチュエータの伸縮動作によって弁本体の弁開度を調整できるようにしてある。

【0024】

圧力センサ２Ａ、２Ｂは、扁平形状をなすハウジングと、そのハウジング内に内蔵した圧力検知素子とを具備するものである。そして、このハウジングを、その面板部（扁平面）が前記部品取付面から垂直でなおかつブロック体１の長手方向と平行、すなわち平面視、流体の流れ方向と略平行となるように、該部品取付面に取り付けてある。

【0025】

流体抵抗素子３は、内部流路１ａに設けられた狭隘な通路部分を形成するものであり、ここでは、ブロック体１の内部に埋め込んである。

【0026】

電気回路基板５には、ＣＰＵ、メモリ、通信回路などのデジタル回路、及び、増幅器、バッファなどのアナログ回路が形成されており、各回路が協働することによって、機能的にいえばガス流路Ｌ（ブロック体１の内部流路１ａであるガス流路）を流れるガスの流量を測定する流量測定部及び該流量測定部で検知されたガス流量を所定の目標流量となるように制御する流量制御部としての機能を発揮する。

【0027】

流量測定部は、ここでは、流体抵抗素子３の上流及び下流に設けられた圧力センサ２Ａ、２Ｂで測定されたガス流路Ｌの圧力に基づいて、当該ガス流路Ｌを流れるガス流量を算出するものである。このようにして算出したガス流量（以下、測定流量ともいう。）は、流量制御部に測定流量信号として出力される。

【0028】

流量制御部は、目標流量信号及び前記測定信号を受け付け、それらが示す目標流量と前記測定流量とを比較し、その偏差が小さくなるように、流量調整バルブ４を駆動するための動作信号を出力するものである。なお、この流量制御部には、バルブ開閉信号も受け付けられるようになっており、バルブ開閉信号を受け付けた場合には、目標流量信号の値にかかわらず、流量調整バルブ４を強制的に全開または全閉させる。

【0029】

このように構成された流量制御装置１０１は、ケーシング６の上板部に設けられたコネクタ７を介して、ユーザ用情報処理装置１０２にケーブル接続される。

【0030】

ユーザ用情報処理装置１０２は、複数の流量制御装置１０１がケーブル接続され、各流量制御装置１０１と通信可能に構成されたものであり、具体的にはＣＰＵ、メモリ、入出力インターフェイス、ＡＤ変換器等を備えた汎用乃至専用のコンピュータである。

【0031】

より詳細にこのユーザ用情報処理装置１０２は、本実施形態では、流体関連データとして流体の流量を制御するためのデータを各流量制御装置１０１との間で送受信するものである。具体的にこの流体関連データとは、半導体製造装置のレシピで使われるデータであり、ユーザ用情報処理装置１０２によるデータ処理に必要なものである。つまり、この流体関連データは、ユーザ用情報処理装置１０２が必要としている（定義している）データである。
ユーザ用情報処理装置１０２から流量制御装置１０１に送信される流体関連データとしては、目標流量を示す前記目標流量信号や流量調整バルブ４を強制的に開閉させる前記バルブ開閉信号などがある。一方、各流量制御装置１０１からユーザ用情報処理装置１０２に送信される流体関連データとしては、測定流量を示す前記測定流量信号、各圧力センサ２Ａ、２Ｂが測定した圧力を示す測定圧力信号、流量調整バルブ４の開度（バルブ４に印加している電圧）を示すバルブ開度信号、流体の温度を示す流体温度信号などがある。
なお、このユーザ用情報処理装置１０２は、上述した流体関連データの中から、ユーザにより予め設定された１又は複数種類のデータを各流量制御装置１０１との間で送受信するように構成されている。

【0032】

ここで、本実施形態の流体制御・測定システム１００は、図５及び図６に示すように、上述した複数の流量制御装置１０１とユーザ用情報処理装置１０２との間に介在し、これらの間で前記流体関連データを中継する中継器１０３を具備している。
なお、説明の便宜上、図５では中継器１０３の外周面に設けられた各構成の記載を省略しており、図６では中継器１０３の内部の各構成の記載を省略している。

【0033】

以下、この中継器１０３について説明する。

【0034】

中継器１０３は、図５及び図６に示すように、前記流量制御装置１０１が接続されて、該流量制御装置１０１との間で前記流体関連データを送受信するための第１ポートＰ１と、前記ユーザ用情報処理装置１０２が接続されて、該ユーザ用情報処理装置１０２との間で前記流体関連データを送受信するための第２ポートＰ２とを具備している。

【0035】

より詳細にこの中継器１０３は、第１ポートＰ１を介して流量制御装置１０１から受信した流体関連データを第２ポートＰ２を介してユーザ用情報処理装置１０２に送信し、第２ポートＰ２を介してユーザ用情報処理装置１０２から受信した流体関連データを第１ポートＰ１を介して流量制御装置１０１に送信するように構成されている。

【0036】

本実施形態では、複数の第１ポートＰ１が、各流量制御装置１０１に対応して設けられており、各第１ポートＰ１及び第２ポートＰ２には、各流量制御装置１０１とユーザ用情報処理装置１０２との間で前記流体関連データを通信する第１通信ラインＬ１が接続されている。

【0037】

前記第１通信ラインＬ１は、差動伝送通信（本実施形態では、ＣＡＮ通信）等の所定の規格で前記流体関連データを通信するものであり、具体的には一端が流量制御装置１０１に接続されるとともに、他端がユーザ用情報処理装置１０２に接続される第１通信ケーブルからなる。なお、この第１通信ケーブルは、各流量制御装置１０１、第１ポートＰ１、第２ポートＰ２及びユーザ用情報処理装置１０２それぞれに設けられている図示しない物理的なコネクタに接続される。なお、第１通信ケーブルは電線等の物理的なものをいう。
より詳細に本実施形態では、前記流体関連データをユーザ用情報処理装置１０２と中継器１０３間でＤｅｖｉｃｅＮｅｔにより通信し、中継器１０３と各流量制御装置１０１との間でＣＡＮにより通信するように構成されている。なお、ＤｅｖｉｃｅＮｅｔの代わりに、ＥｔｈｅｒＣＡＴを用いても良い。

【0038】

本実施形態では、図５に示すように、各第１ポートＰ１を介して各流量制御装置１０１に接続されている複数の第１通信ラインＬ１が、第１ポートＰ１と第２ポートＰ２との間で合流して、第２ポートＰ２を介してユーザ用情報処理装置１０２に接続されている。
なお、本実施形態では、例えば図示しないスイッチング素子などにより、ユーザ用情報処理装置１０２と通信可能な流量制御装置１０１を適宜切り替えられるように構成されている。また、本実施形態では、第１通信ラインＬ１にはリピータ等のＣＰＵを設けられている。つまり、このリピータ等のＣＰＵは、中継器１０３内に設けられて、第１通信ラインＬ１が接続されたものである。

【0039】

また、本実施形態の中継器１０３は、上述した第１通信ラインＬ１上に図示しないフォトカプラ等のアイソレータを有し、各流量制御装置１０１とユーザ用情報処理装置１０２とを絶縁するように構成されている。具体的にこのアイソレータは、上述した第１通信ラインＬ１における合流点よりユーザ用情報処理装置１０２側に設けられている。

【0040】

しかして、本実施形態の中継器１０３は、図５及び図６に示すように、流量制御装置１０１の動作状態を診断する診断用装置１０４が接続されて、前記動作状態を診断するためのデータである診断用データを該診断用装置１０４との間で送受信するための第３ポートＰ３を更に具備している。この診断用データには、上述した流体関連データに含まれていないデータを少なくとも含むデータであっても良い。
ここで、診断用データは、流量制御装置１０１の動作状態の診断に用いることができるデータであり、流量制御装置１０１により得られるデータである。具体的に診断用データとしては、目標流量を示す前記目標流量信号、流量調整バルブ４を強制的に開閉させる前記バルブ開閉信号、測定流量を示す前記測定流量信号、各圧力センサ２Ａ、２Ｂが測定した圧力を示す測定圧力信号、流量調整バルブ４の開度（バルブ４に印加している電圧）を示すバルブ開度信号、各センサの生値を示す生信号、各センサのドリフトの積算値を示すドリフト積算信号、流量調整バルブ４を閉じた状態で得られる測定流量を用いた自己診断値（例えば国際公開番号ＷＯ２００８／０５３８３９）を示す自己診断信号などがある。
なお、ユーザが全ての流体関連データを流量制御装置１０１とユーザ用情報処理装置１０２との間で送受信するように選択した場合は、流体関連データと診断用データとが一致する。

【0041】

前記第３ポートＰ３は、前記第２ポートＰ２と別に設けられており、本実施形態の中継器１０３は、第１ポートＰ１を介して各流量制御装置１０１から受信した前記診断用データを、第３ポートＰ３を介して診断用装置１０４に送信するように構成されている。

【0042】

本実施形態では、前記第３ポートＰ３には、各流量制御装置１０１と診断用装置１０４との間で前記診断用データを通信する第２通信ラインＬ２が接続されている。

【0043】

前記第２通信ラインＬ２は、一端が流量制御装置１０１に接続されるとともに、他端が診断用装置１０４に接続され、前記第１通信ケーブルとは異なる第２通信ケーブルからなるものである。なお、この第２通信ケーブルは、各流量制御装置１０１、第１ポートＰ１、第３ポートＰ３及び診断用装置１０４それぞれに設けられている図示しない物理的なコネクタに接続される。なお、第２通信ケーブルは電線等の物理的なものをいう。

【0044】

本実施形態では、図５に示すように、各第１ポートＰ１を介して各流量制御装置１０１に接続されている複数の第２通信ラインＬ２が、第１ポートＰ１と第３ポートＰ３との間で合流して、第３ポートＰ３を介して診断用装置１０４に接続されている。
なお、各第１ポートＰ１は、前記第１通信ラインＬ１が接続される第１通信ライン用端子（図示しない）と前記第２通信ラインＬ２が接続される第２通信ライン用端子（図示しない）とが設けられており、流量制御装置１０１と中継器１０３との間で流体関連データと診断用データとを別個独立して送受信することができるように構成されている。

【0045】

また、本実施形態の中継器１０３は、図６に示すように、複数の流量制御装置１０１を識別するための識別子を各流量制御装置１０１に付す識別子付与部１１と、識別子付与部１１により付された各流量制御装置１０１の識別子や動作状態等を表示する表示部１２とを更に具備している。

【0046】

識別子付与部１１は、ユーザ用情報処理装置１０２に接続された各流量制御装置１０１に対応して、例えば中継器１０３の外周面に設けられている。
具体的にこの識別子付与部は、例えばロータリースイッチ等のディップスイッチを用いたものであり、例えば各流量制御装置１０１を互いに異なる値に設定するように構成されている。

【0047】

表示部１２は、各識別子付与部１１に対応して、例えば中継器１０３の前記外周面に設けられている。
具体的にこの表示部は、例えばＬＥＤ等を用いたものであり、対応する識別子付与部１１により設定された各流量制御装置１０１の識別子（本実施形態では、各流量制御装置１０１の値）を表示するように構成されている。

【0048】

このように構成された本実施形態に係る流体制御・測定システム１００によれば、中継器１０３が第３ポートＰ３を具備しており、この第３ポートＰ３を介して各流量制御装置１０１と診断用装置１０４とが接続されているので、診断用装置１０４と流量制御装置１０１とをケーブル接続することなく、診断用データを診断用装置１０４に送信することができる。
これにより、従来であれば各流量制御装置１０１に設けられていたケーブル接続用のポートを不要にすることができ、流量制御装置１０１の小型化を図りながらも、各流量制御装置１０１の動作状態を診断することができる。
さらに、従来のように各流量制御装置１０１それぞれを診断用装置１０４にケーブル接続する必要がないので、ケーブルの本数を格段に減らすことができる。

【0049】

また、第１ポートＰ１に所定の規格で流体関連データを通信する第１通信ラインＬ１と、前記第１通信ラインＬ１は別に診断用データを通信する第２通信ラインＬ２とが接続されているとともに、流量制御装置１０１にはこれら流体関連データと診断用データとを別個独立して送受信することができるように構成されているので、第１通信ラインＬ１における所定の規格での通信を阻害することなく、各流量制御装置１０１から出力される前記診断用データを診断用装置１０４に送信することができる。
ここで、半導体製造装置において、流体の制御や測定に遅れ等が生じると最終製品である半導体等の品質劣化を招く恐れがあり、このことから第１通信ラインＬ１は、通信速度を担保すべく、ユーザにより設定されたデータのみを通信するように構成されていることが多い。このような半導体製造装置において、上述した構成であれば、該第１通信ラインＬ１とは別の第２通信ラインＬ２によって診断用データを通信するように構成しているので、流量制御装置１０１の診断に必要な診断用データをユーザの設定に関わらず取得することができ、柔軟に流量制御装置１０１を診断することができる。

【0050】

さらに、中継器１０３が、識別子付与部１１と表示部１２とを具備しているので、従来のように流量制御装置１０１に識別子付与部１１や表示部１２を設ける必要がなく、各流量制御装置１０１を更に小型にすることができる。
また、この構成により、流量制御装置１０１が、例えばユーザの手の届かない場所、あるいは目の行き届かない場所に配置されたとしても、中継器１０３さえ操作可能な場所に配置しておけば、該中継器１０３の識別子付与部１１及び表示部１２により各流量制御装置１０１の接続状態等を確認することができ、作業性を向上させることができる。

【0051】

加えて、各流量制御装置１０１にアイソレータを設けることなく、中継器１０３がアイソレータを備えているので、各流量制御装置１０１とユーザ用情報処理装置１０２とを絶縁するとともに、各流量制御装置１０１の更なる小型化を図れる。
また、前記アイソレータは、第１通信ラインＬ１における合流点よりユーザ用情報処理装置１０２側に設けられているので、各流量制御装置１０１に対応してアイソレータを設ける場合に比べて安価である。なお、この構成では、各流量制御装置１０１間は絶縁されていないが、流体関連データを差動伝送通信しているので、各流量制御装置１０１間のノイズを流体の制御又は測定に影響しない程度に抑えることができる。

【0052】

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

【0053】

例えば、前記実施形態では、各流量制御装置に接続された第１通信ライン及び第２通信ラインが同一の第１ポートに接続されているが、第１通信ラインと第２通信ラインとが互いに異なる第１ポートに接続されるように構成しても良い。

【0054】

また、前記実施形態の中継器は、第２ポートと別に設けられている第３ポートに診断用装置が接続されて、該診断用装置との間で診断用データを送受信するように構成されていたが、例えば第２ポートのコネクタと第３ポートのコネクタとを共通化しても良い。

【0055】

さらに、前記実施形態の第１通信ラインと第２通信ラインとは異なる通信ケーブルからなるものであったが、第１通信ラインの一部と第２通信ラインの一部とが共通の通信ケーブルからなるように構成しても良い。

【0056】

加えて、中継器は、第１ポートを介して流量制御装置との間で送受信される流体関連データ及び診断用データを、単一の通信ラインにより送受信するように構成されていても良い。
この場合、例えば中継器にＣＰＵ等を設け、このＣＰＵ等の設定により、前記単一の通信ラインにより通信される流体関連データを第２ポートを介してユーザ用情報処理装置との間で送受信し、診断用データを第３ポートを介して診断用装置との間で送受信するようにすれば良い。

【0057】

そのうえ、本実施形態の診断用装置は、流量制御装置の動作状態を診断するものであったが、例えば、各流量制御装置を補正又は校正するためのメンテナンスデータを、第３ポートを介して診断用装置から受信し、第１ポートを介して各流量制御装置に送信するように構成し、診断用装置が、各流量制御装置の動作状態を診断するとともに、各流量制御装置の補正又は校正等のメンテナンスを行うように構成しても良い。
なお、ここでいう診断には、補正や校正等が含まれている。

【0058】

加えて、前記実施形態のディップスイッチは、ロータリースイッチであったが、スライドスイッチやプッシュロックスイッチ等であっても良い。

【0059】

また、複数の流量制御装置が例えば互いにディージーチェーンにより接続されており、前記複数の流量制御装置のうち１又は複数の流量制御装置が中継器に接続されているようにしても良い。

【0060】

また、前記実施形態では、第１通信ラインにリピータ等のＣＰＵが設けれているが、第２通信ラインに別途リピータ等のＣＰＵを設けても構わないし、第１通信ラインと第２通信ラインとに共有して１又は複数のリピータ等のＣＰＵを設けても構わない。

【0061】

さらに、前記実施形態の中継器は、複数の流量制御装置とユーザ用情報処理装置との間に介在するものであったが、各流量制御装置それぞれに対応して設けられていても良い。

【0062】

加えて、前記実施形態の流体制御・測定システムは、流量制御装置と情報用処理装置との間で流体関連データを送受信するように構成されていたが、流量制御装置からユーザ用情報処理装置へのみ、或いは、ユーザ用情報処理装置から流量制御装置へのみに流体関連データを送信するようしても良い。

【0063】

また、第３ポートは、流体関連データに含まれていないデータを少なくとも含む１又は複数のデータを送受信するためのものであれば良く、診断用データを送受信するためのものに限る必要はない。

【0064】

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

【符号の説明】

【0065】

１００・・・流体制御・測定システム
１０１・・・流量制御装置
１０２・・・ユーザ用情報処理装置
１０３・・・中継器
１０４・・・診断用装置
Ｐ１ ・・・第１ポート
Ｐ２ ・・・第２ポート
Ｐ３ ・・・第３ポート
Ｌ１ ・・・第１通信ライン
Ｌ２ ・・・第２通信ライン
１１ ・・・識別子付与部
１２ ・・・表示部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】