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株式会社堀場エステック

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7924756 ガス分析装置、及び、ガス分析方法 2026年 9月25日
特許 7915065 流体抵抗素子、流体制御装置、及び流体抵抗素子の製造方法 2026年 9月 3日
特許 7914664 ウエハ温度制御装置、ウエハ温度制御方法及びウエハ温度制御プログラム 2026年 9月 2日
特許 7898950 水位及び導電率検出装置、導電率検出装置、水素発生器、水位及び導電率検出方法、導電率検出方法 2026年 8月 3日
特許 7891480 ウエハ温度制御装置、ウエハ温度制御装置用制御方法、及び、ウエハ温度制御装置用プログラム 2026年 7月16日
特許 7884500 静電チャック装置用のガス供給システム、ガス供給方法及びガス供給システム用プログラム 2026年 7月 3日
特許 7880425 流体流動装置用流量リストリクタ 2026年 6月25日
特許 7871253 ガス分析装置、流体制御システム、ガス分析用プログラム、ガス分析方法 2026年 6月 8日
特許 7869660 ボルト締結構造体、ボルト締結方法および流量制御装置 2026年 6月 3日
特許 7853965 流体制御装置、流体制御システム、流体制御装置用プログラム、及び流体制御方法 2026年 4月30日
特許 7836665 光学測定用セル、光学分析装置、窓形成部材、及び光学測定用セルの製造方法 2026年 3月27日
特許 7834000 ガス分析装置、流体制御システム、ガス分析用プログラム、ガス分析方法 2026年 3月23日
特許 7833866 制御部、流体制御装置、バルブ診断用プログラム、及びバルブ診断方法 2026年 3月23日
特許 7821798 原料気化システム、これに用いられる濃度制御モジュール、濃度制御方法、及び、濃度制御プログラム 2026年 2月27日
特許 7820386 バルブ制御装置、バルブ制御方法、バルブ制御プログラム、及び、流体制御装置 2026年 2月25日

20 件中 1-15 件を表示

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7924756 7915065 7914664 7898950 7891480 7884500 7880425 7871253 7869660 7853965 7836665 7834000 7833866 7821798 7820386

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