特許5934412IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

例えば半導体製造プロセスに用いられる材料ガスや薬液、洗浄液等の流体を制御又は測定するための流体制御・測定システムの中継器に関するものである。

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

そこで本発明は、問題点を解決すべく、流体機器とユーザ用情報処理装置との間に介在する中継器に着目してなされたものであって、流体機器を小型化しながらも、流体機器の動作状態を診断できるようにすることをその主たる課題とするものである。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

すなわち本発明に係る中継器は、流体を制御又は測定する流体機器が接続される第１ポートと、ユーザ用情報処理装置が接続される第２ポートとを具備し、前記流体を制御又は測定するためのデータである流体関連データを、前記第１ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第２ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置に送信する、又は、前記流体関連データを前記第２ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置から受・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
【発明の効果】
このように構成した本発明によれば、流体機器を小型化しながらも、流体機器の動作状態を診断することができる。

この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】本実施形態の流体制御・測定システムの模式的に示す図。

【図2】同実施形態の流量制御装置を示す斜視参考図。

【図3】同実施形態の流量制御装置の構成を示す斜視参考図。

【図4】同実施形態の流量制御装置の構成を示す参考図。

【図5】同実施形態の中継器を示す模式図。

【図6】同実施形態の中継器を示す模式図。

選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図

１００・・・流体制御・測定システム　　 １０１・・・流量制御装置　　 １０２・・・ユーザ用情報処理装置　　 １０３・・・中継器　　 １０４・・・診断用装置　　 Ｐ１ ・・・第１ポート　　 Ｐ２ ・・・第２ポート　　 Ｐ３ ・・・第３ポート　　 Ｌ１ ・・・第１通信ライン　　 Ｌ２ ・・・第２通信ライン　　 １１ ・・・識別子付与部　　 １２ ・・・表示部

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