特許第5939450号(P5939450)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5939450フェノール性水酸基含有樹脂、その製造方法、感光性組成物、レジスト材料、塗膜、硬化性組成物とその硬化物、及びレジスト下層膜
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  • 特許5939450-フェノール性水酸基含有樹脂、その製造方法、感光性組成物、レジスト材料、塗膜、硬化性組成物とその硬化物、及びレジスト下層膜 図000014
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