特許5940883真空環境対応カメラ及びリークガス検出方法

発明の名称　真空環境対応カメラ及びリークガス検出方法

出願人　株式会社日立国際電気　（識別番号 1122）

　　　　特許公開件数ランキング 467 位（61件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 339 位（81件）（共同出願を含む）

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 776 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 526 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5940883

公報発行日　2016年6月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5940883

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