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特許5944484リソグラフィ適用において感放射線材料のラインを幅狭化する方法
発明の名称 リソグラフィ適用において感放射線材料のラインを幅狭化する方法
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 36 位（601件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 20 位（798件）（共同出願を含む）
出願人 ト−キョ−・エレクトロン・アメリカ・インコーポレーテッド （識別番号 505390680）
特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5944484
公報発行日 2016年7月5
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5944484
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