特許5944643シリコンウェーハの熱処理方法

発明の名称　シリコンウェーハの熱処理方法

出願人　グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社　（識別番号 312007423）

　　　　特許公開件数ランキング 889 位（7件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1199 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5944643

公報発行日　2016年7月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5944643

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