特許5945616ポリマー突起を有する静電チャック

発明の名称　ポリマー突起を有する静電チャック

出願人　インテグリス・インコーポレーテッド　（識別番号 505307471）

　　　　特許公開件数ランキング 300 位（103件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 338 位（76件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5945616

公報発行日　2016年7月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5945616

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