特許第5949760号(P5949760)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5949760ＣａＦ２多結晶体、フォーカスリング、プラズマ処理装置及びＣａＦ２多結晶体の製造方法
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