特許第5950831号(P5950831)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5950831イオン発生と処理ガスの解離の独立制御を有するプラズマエッチングのためのシステム、方法、および装置
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  • 特許5950831-イオン発生と処理ガスの解離の独立制御を有するプラズマエッチングのためのシステム、方法、および装置 図000002
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