特許 5953951 縦型熱処理装置及び縦型熱処理装置の運転方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】5953951

(24)【登録日】2016年6月24日

(45)【発行日】2016年7月20日

(54)【発明の名称】縦型熱処理装置及び縦型熱処理装置の運転方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/31 20060101AFI20160707BHJP

   H01L 21/02 20060101ALI20160707BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20160707BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/31 E

   H01L21/02 D

   H01L21/68 A

【請求項の数】6

【全頁数】22

(21)【出願番号】特願2012-128067(P2012-128067)

(22)【出願日】2012年6月5日

(65)【公開番号】特開2013-254778(P2013-254778A)

(43)【公開日】2013年12月19日

【審査請求日】2014年10月31日

(73)【特許権者】

【識別番号】000219967

【氏名又は名称】東京エレクトロン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091513

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 俊夫

(72)【発明者】

【氏名】馬場 則夫

(72)【発明者】

【氏名】小原 秀幸

(72)【発明者】

【氏名】郷右近 清彦

(72)【発明者】

【氏名】中嶋 亘

【審査官】 工藤 一光

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−１７５９９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−２６０７４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−０９２７６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−１７６０４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３４７６６７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ２１／３１

Ｈ０１Ｌ２１／０２

Ｈ０１Ｌ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を棚状に保持するための基板保持具と基板収納部との間で基板搬送機構により基板が搬送される基板搬送領域と、縦型の反応管に対して基板保持具が搬入出される保持具待機領域と、が互いに前後方向に隣接し、前記基板搬送領域及び保持具待機領域に亘って左右方向の一方側から他方側に向かう気流の層流を形成するために、前記一方側及び他方側に、夫々ガス吐出口及びガス吸い込み口が設けられた縦型熱処理装置において、
前記ガス吸い込み口は、
前記保持具待機領域に臨むように設けられ、前記基板搬送機構により基板の搬送が行われるとき及び前記反応管から搬出された基板を冷却するときのいずれにおいても開いた状態にある待機領域用のガス吸い込み口と、
前記待機領域用のガス吸い込み口に対して前記基板搬送領域側に設けられ、基板搬送領域に気流の層流を形成するための基板搬送領域用のガス吸い込み口と、
前後方向で見て、前記待機領域用のガス吸い込み口と前記基板搬送領域用のガス吸い込み口との間に設けられた補助ガス吸い込み口と、を含み、
前記基板搬送領域用のガス吸い込み口及び前記補助ガス吸い込み口を開閉するための開閉機構と、
前記基板搬送機構により基板の搬送が行われる時には、前記補助ガス吸い込み口を閉じると共に基板搬送領域用のガス吸い込み口を開き、前記反応管から搬出された基板を冷却する時には、前記補助ガス吸い込み口を開くと共に基板搬送領域用のガス吸い込み口を閉じるように前記開閉機構を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする縦型熱処理装置。

【請求項2】

前記ガス吐出口は、前記待機領域用のガス吸い込み口に対応して設けられた待機領域用のガス吐出口と、前記基板搬送領域用のガス吸い込み口及び補助ガス吸い込み口に対して共通化され、これらガス吸い込み口に対応して設けられた基板搬送領域用のガス吐出口と、を含み、
前記待機領域用のガス吸い込み口及び待機領域用のガス吐出口の間でガスを循環させる、送気機構が配置された待機領域用のガス循環路と、
前記基板搬送領域用のガス吸い込み口及び補助ガス吸い込み口と、前記基板搬送領域用のガス吐出口と、の間でガスを循環させる、送気機構が配置された基板搬送領域用のガス循環路と、を備えたことを特徴とする請求項１記載の縦型熱処理装置。

【請求項3】

基板搬送機構は、進退自在な基板保持部が設けられた搬送基体と、この搬送基体を昇降させる昇降軸とを備え、前記昇降軸は前記基板搬送領域用のガス吸い込み口に臨む位置に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の縦型熱処理装置。

【請求項4】

前記昇降軸はボールネジであり、前記搬送基体の昇降速度は、０．４ｍ／ｓ〜０．６ｍ／ｓであることを特徴とする請求項３に記載の縦型熱処理装置。

【請求項5】

基板を棚状に保持するための基板保持具と基板収納部との間で基板搬送機構により基板が搬送される基板搬送領域と、縦型の反応管に対して基板保持具が搬入出される保持具待機領域と、が互いに前後方向に隣接し、前記基板搬送領域及び保持具待機領域に亘って左右方向の一方側から他方側に向かう気流の層流を形成するために、前記一方側及び他方側に、夫々ガス吐出口及びガス吸い込み口が設けられた縦型熱処理装置を運転する方法において、
前記ガス吸い込み口として、前記保持具待機領域に臨むように設けられた待機領域用のガス吸い込み口と、前記待機領域用のガス吸い込み口に対して前記基板搬送領域側に設けられ、基板搬送領域に気流の層流を形成するための基板搬送領域用のガス吸い込み口と、前後方向で見て、前記待機領域用のガス吸い込み口と前記基板搬送領域用のガス吸い込み口との間に設けられた補助ガス吸い込み口と、を用い、
前記基板搬送機構により基板の搬送が行われる時には、前記待機領域用のガス吸い込み口を開いた状態とし、前記基板搬送領域用のガス吸い込み口を開いた状態とし、前記補助ガス吸い込み口を閉じた状態とし、
前記反応管から搬出された基板を冷却する時には、前記待機領域用のガス吸い込み口を開いた状態とし、前記基板搬送領域用のガス吸い込み口を閉じた状態とし、前記補助ガス吸い込み口を開いた状態とし、
こうして前記基板搬送領域用のガス吸い込み口及び前記補助ガス吸い込み口の開閉を制御することにより、基板搬送領域及び前記保持具待機領域の各々に形成される前記層流のガス流量を調整することを特徴とする縦型熱処理装置の運転方法。

【請求項6】

前記ガス吐出口は、前記待機領域用のガス吸い込み口に対応して設けられた待機領域用のガス吐出口と、前記基板搬送領域用のガス吸い込み口及び補助ガス吸い込み口に対して共通化され、これらガス吸い込み口に対応して設けられた基板搬送領域用のガス吐出口と、を含み、
前記待機領域用のガス吸い込み口及び待機領域用のガス吐出口の間でガスを循環させる、送気機構が配置された待機領域用のガス循環路と、
前記基板搬送領域用のガス吸い込み口及び補助ガス吸い込み口と、前記基板搬送領域用のガス吐出口と、の間でガスを循環させる、送気機構が配置された基板搬送領域用のガス循環路と、を用いることを特徴とする請求項５記載の縦型熱処理装置の運転方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、多数枚の基板に対して一括して熱処理を行う縦型熱処理装置及びこの縦型熱処理装置の運転方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体ウエハなどの基板（以下「ウエハ」と言う）に対して熱処理を行う装置として、基板保持具であるウエハボートに積載された多数枚のウエハに対して反応管内にて一括して処理を行う縦型熱処理装置が知られている。この装置では、ウエハの収納容器（基板収納部）であるＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）からウエハトランスファーアーム（基板搬送機構）によってウエハを例えば５枚ずつ順番に取り出してウエハボートに移載し、次いで空になったＦＯＵＰを保管部に搬送すると共に、別のＦＯＵＰから同様にウエハを移載する。こうして例えば１００枚程度のウエハをウエハボートに積層した後、ウエハボートを上昇させて反応管内に挿入して、既述の熱処理を行うように構成されている。従って、反応管の下方側におけるウエハのローディングエリア（搬送領域）には、ウエハボートにおける各々のウエハの積載位置に対応させてウエハトランスファーアームを昇降させるために、上下方向に伸びるボールネジが配置されている。

【0003】

前記搬送領域及びウエハボートの置かれる保持具待機領域は、アームの駆動によって発生するパーティクルの飛散を抑制するために、更には熱処理後の高温のウエハボートやウエハを冷却するために、横方向に向かう気流が上下方向に亘って且つ水平方向に亘って形成されるように構成されている。具体的には、例えば清浄気体を前記各領域に向かって吹き付けるフィルタユニットと、この清浄気体を排気するための排気ダクトと、が各々の領域を介して互いに対向するように左右に配置されている。そして、これら領域の床面よりも下方側には、排気ダクトに流入する気体を当該排気ダクトからフィルタユニットに対して冷却しながら循環させるために、熱交換器の設けられた循環通路と、前記気流を形成するためのファンが収納されている。このファンは、パーティクルが巻き上がることを抑制するために、清浄気体が極微風（例えば０．５ｍ／ｓ程度）の層流で通流するように風量が設定されている。

【0004】

ここで、ウエハトランスファーアームのボールネジには、有機物などの潤滑油（オイル）が塗布されている。そのため、ウエハトランスファーアームの昇降時には、ボールネジが鉛直軸周りに回転するので、しかもこのウエハトランスファーアームが例えば０．６ｍ／ｓ程度もの高速で昇降するので、オイルに由来するパーティクルが遠心力によって飛散するおそれがある。特に、直径寸法が３００ｍｍ以上の大口径ウエハを処理するにあたっては、スループット向上のために、ウエハトランスファーアームの駆動速度（昇降速度）を更に高める必要があり、パーティクルの発生や有機物による汚染のおそれが一層高くなってしまう。

【0005】

このようなボールネジからのパーティクルの飛散を抑制するにあたって、既述のファンの風量を増やした場合には、搬送領域や保持具待避領域において乱流が発生して、パーティクルが舞い上がってしまう。一方、例えば特許文献１のように、局所的に排気する排気ユニットを設けた場合には、排気ユニットの分だけ装置が大型化してしまうし、また層流が形成しにくくなってスループットの低下（ウエハの降温速度の低下）に繋がってしまう。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開２００５−３４７６６７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板搬送機構と縦型の反応管に対して基板保持具が搬入出される領域とが互いに隣接している縦型熱処理装置において、基板搬送機構の基板搬送動作に伴って発生するパーティクルによる基板の汚染を抑制できる技術を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の縦型熱処理装置は、
基板を棚状に保持するための基板保持具と基板収納部との間で基板搬送機構により基板が搬送される基板搬送領域と、縦型の反応管に対して基板保持具が搬入出される保持具待機領域と、が互いに前後方向に隣接し、前記基板搬送領域及び保持具待機領域に亘って左右方向の一方側から他方側に向かう気流の層流を形成するために、前記一方側及び他方側に、夫々ガス吐出口及びガス吸い込み口が設けられた縦型熱処理装置において、
前記ガス吸い込み口は、
前記保持具待機領域に臨むように設けられ、前記基板搬送機構により基板の搬送が行われるとき及び前記反応管から搬出された基板を冷却するときのいずれにおいても開いた状態にある待機領域用のガス吸い込み口と、
前記待機領域用のガス吸い込み口に対して前記基板搬送領域側に設けられ、基板搬送領域に気流の層流を形成するための基板搬送領域用のガス吸い込み口と、
前後方向で見て、前記待機領域用のガス吸い込み口と前記基板搬送領域用のガス吸い込み口との間に設けられた補助ガス吸い込み口と、を含み、
前記基板搬送領域用のガス吸い込み口及び前記補助ガス吸い込み口を開閉するための開閉機構と、
前記基板搬送機構により基板の搬送が行われる時には、前記補助ガス吸い込み口を閉じると共に基板搬送領域用のガス吸い込み口を開き、前記反応管から搬出された基板を冷却する時には、前記補助ガス吸い込み口を開くと共に基板搬送領域用のガス吸い込み口を閉じるように前記開閉機構を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。

【0009】

基板搬送機構は、進退自在な基板保持部が設けられた搬送基体と、この搬送基体を昇降させる昇降軸とを備え、前記昇降軸は前記第２のガス吸い込み口に臨む位置に配置されていても良い。前記昇降軸はボールネジであり、前記搬送基体の昇降速度は、０ｍ／ｓ〜０．６ｍ／ｓであっても良い。この搬送基体の昇降速度は、通常０．４ｍ／ｓである。

【0010】

本発明の縦型熱処理装置の運転方法は、
基板を棚状に保持するための基板保持具と基板収納部との間で基板搬送機構により基板が搬送される基板搬送領域と、縦型の反応管に対して基板保持具が搬入出される保持具待機領域と、が互いに前後方向に隣接し、前記基板搬送領域及び保持具待機領域に亘って左右方向の一方側から他方側に向かう気流の層流を形成するために、前記一方側及び他方側に、夫々ガス吐出口及びガス吸い込み口が設けられた縦型熱処理装置を運転する方法において、
前記ガス吸い込み口として、前記保持具待機領域に臨むように設けられた待機領域用のガス吸い込み口と、前記待機領域用のガス吸い込み口に対して前記基板搬送領域側に設けられ、基板搬送領域に気流の層流を形成するための基板搬送領域用のガス吸い込み口と、前後方向で見て、前記待機領域用のガス吸い込み口と前記基板搬送領域用のガス吸い込み口との間に設けられた補助ガス吸い込み口と、を用い、
前記基板搬送機構により基板の搬送が行われる時には、前記待機領域用のガス吸い込み口を開いた状態とし、前記基板搬送領域用のガス吸い込み口を開いた状態とし、前記補助ガス吸い込み口を閉じた状態とし、
前記反応管から搬出された基板を冷却する時には、前記待機領域用のガス吸い込み口を開いた状態とし、前記基板搬送領域用のガス吸い込み口を閉じた状態とし、前記補助ガス吸い込み口を開いた状態とし、
こうして前記基板搬送領域用のガス吸い込み口及び前記補助ガス吸い込み口の開閉を制御することにより、基板搬送領域及び前記保持具待機領域の各々に形成される前記層流のガス流量を調整することを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明は、反応管の下方側領域にて第１の層流形成部により層流を形成して、基板保持具を冷却している。そして、基板搬送機構の動作時には、第２の層流形成部により基板搬送領域に対して層流を形成することに加えて、第１の層流形成部の吸い込み側を塞ぐことにより第１の層流形成部からの層流についても基板搬送領域を通流させている。そのため、基板搬送領域を局所的に排気するにあたり、排気ユニットを別途設けなくても、開閉機構を設けただけで済むので、装置の大型化を抑えながら、且つスループットの低下を抑えながら、パーティクルによる基板の汚染を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の縦型熱処理装置の一例を概略的に示す縦断面図である。

【図2】前記縦型熱処理装置を示す横断平面図である。

【図3】前記縦型熱処理装置に用いられるアームを示す斜視図である。

【図4】前記アームが昇降するためのボールネジを示す斜視図である。

【図5】前記縦型熱処理装置において形成される気流を模式的に示す斜視図である。

【図6】前記気流を示す縦断面図である。

【図7】前記ボールネジが配置された領域を拡大して示す横断平面図である。

【図8】前記気流を切り替えるための切り替えバルブを示す斜視図である。

【図9】前記切り替えバルブの作用を模式的に示す縦断面図である。

【図10】前記切り替えバルブの作用を模式的に示す縦断面図である。

【図11】前記縦型熱処理装置の作用を模式的に示す横断平面図である。

【図12】前記縦型熱処理装置の作用を模式的に示す横断平面図である。

【図13】前記縦型熱処理装置の作用を模式的に示す横断平面図である。

【図14】前記縦型熱処理装置の作用を模式的に示すフロー図である。

【図15】前記縦型熱処理装置の作用を模式的に示すフロー図である。

【図16】前記縦型熱処理装置の他の例を示す縦断面図である。

【図17】前記縦型熱処理装置の別の例を示す縦断面図である。

【図18】前記縦型熱処理装置の更に他の例を示す縦断面図である。

【図19】前記更に他の例を示す横断平面図である。

【図20】前記縦型熱処理装置の更に別の例を示す横断平面図である。

【図21】本発明における実施例を説明するために縦型熱処理装置を簡略化して示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

本発明の縦型熱処理装置に係る実施の形態の一例について、図１〜図１０を参照して説明する。始めにこの縦型熱処理装置の概要について簡単に説明すると、この装置は、図１に示すように、多数枚のウエハＷを棚状に積載するウエハボート１と、このウエハボート１を気密に収納して熱処理を行う反応管２とを備えている。また、このウエハボート１にウエハＷを移載するためのウエハトランスファーアーム３が設けられており、このアーム３によってウエハＷが搬送される基板搬送領域１０ａ及び反応管２の下方側においてウエハボート１が待機する保持具待機領域１０ｂに対して、清浄ガスによる気流を形成している。そして、アーム３が昇降動作を行っても、当該アーム３を昇降させるための昇降軸であるボールネジ４からパーティクルが飛散しないように、あるいは飛散が抑えられるように、前記気流の形成される位置を切り替え自在に構成している。尚、実際にはウエハボート１よりもアーム３が装置の正面側に配置されているが、以降の説明では、図示の都合上、ウエハボート１とアーム３との並びを「前後方向（ウエハボート１が手前側、アーム３が奥側）」、このウエハボート１からアーム３を見た時における前後方向に水平に直交する方向を「左右方向」と呼ぶこととする。

【0014】

先ず、この装置の全体の構成について簡単に説明すると、ウエハボート１に対してウエハＷを移載するための保持具待機領域１０ｂの上方側には、既述の反応管２が配置されており、この保持具待機領域１０ｂの奥側（図１中Ｘ方向）には基板搬送領域１０ａが隣接している。この基板搬送領域１０ａの奥側には、ＦＯＵＰ１１の搬送及び保管を行うための作業エリア１２が設けられている。即ち、この作業エリア１２には、装置の外部の図示しない搬送機構によってＦＯＵＰ１１が載置される載置部２１と、この載置部２１に載置されたＦＯＵＰ１１を当該作業エリア１２における既述のアーム３に近接するトランスファーステージ２２に移載するキャリア搬送機２３とが設けられている。そして、ウエハＷが取り出されて空になったＦＯＵＰ１１については、載置部２１の上方側の保管部２４にて保管され、処理が終わったウエハＷについては元のＦＯＵＰ１１に戻されて装置から搬出されるように構成されている。この例では、トランスファーステージ２２は、互いに上下に離間するように２カ所に設けられている。

【0015】

図１中２５は装置の外壁部をなす筐体であり、２６は筐体２５に設けられたドアである。作業エリア１２と基板搬送領域１０ａとの間における壁面部は、筐体２５の一部をなしており、これら作業エリア１２と基板搬送領域１０ａとの間を区画すると共に、当該壁面部に設けられたシャッター２７によりウエハＷの搬送を行う搬送口（開口部）２８を開閉自在に構成されている。尚、保持具待機領域１０ｂの上方には、反応管２内のウエハＷを例えば６００℃に加熱するためのヒータや、反応管２の下端開口部の炉口を開閉するための開閉機構、更には反応管２内に処理ガス（成膜ガス）を供給するためのガス供給系などが設けられているが、図１では簡略化して描画している。また、作業エリア１２については、図１以外では描画を省略する。

【0016】

続いて、基板搬送領域１０ａ及び保持具待機領域１０ｂにおける各部のレイアウトについて詳述する。これら領域１０ａ、１０ｂには、既述のように奥側から手前側に向かってアーム３及びウエハボート１がこの順番で並んでいる。平面で見た時にアーム３に対して一方側（図２中左側）に外れた領域には、図１及び図２に示すように、当該アーム３を昇降させるために、ウエハボート１の長さ方向に沿って上下方向に伸びる昇降軸であるボールネジ４が配置されている。このボールネジ４は、例えば装置の床面５の下方側に設けられた駆動部４ａにより、例えば９００ｒｐｍ〜１３００ｒｐｍの回転数で鉛直軸周りに回転自在に構成されると共に、アーム３に向かって水平に伸びる板状の支持部３ａの一端側を貫通するように配置されている。尚、既述の図１は、ボールネジ４が見えるように、当該ボールネジ４を側方側（シャッター２７側）にずらして描画している。また、ボールネジ４の上端部には、当該ボールネジ４を鉛直軸周りに回転自在に支持するために、例えば図示しない軸受け部などが設けられている。

【0017】

前記支持部３ａの他端側は、当該支持部３ａが後述の局所排気ダクト５０に接触しないように、即ち当該局所排気ダクト５０においてガスを取り込むためのガス吸い込み口５３をボールネジ４の手前側及び右側に近接して配置できるように、平面で見た時にボールネジ４から奥側に伸び出すと共に、アーム３に向かって直角に屈曲している。この支持部３ａにおいて前記直角に屈曲した部分の背面側（筐体２５側）には、図７に示すように、アーム３がボールネジ４と共に鉛直軸周りに回転することを規制して昇降させるために、当該筐体２５に上下方向に沿って形成されたレール３ｂに嵌合するガイド部３ｃが形成されている。

【0018】

アーム３は、図３に示すように、ウエハＷを下方側から各々支持する５枚のピック（基板保持部）３１と、これらピック３１を進退自在に保持する進退部（搬送基体）３２と、を備えており、この進退部３２を支持するベース部３３の下方側に設けられた回転機構３３ａによって鉛直軸周りに回転自在に構成されている。そして、この回転機構３３ａには、既述の支持部３ａの他端側が接続されており、ボールネジ４が鉛直軸周りに回転すると、当該支持部３ａと共にアーム３が例えば０．４ｍ／ｓ〜０．６ｍ／ｓの昇降速度で昇降するように構成されている。アーム３の昇降ストロークは、例えば１．５ｍとなっている。尚、このアーム３には、当該アーム３にて発生するパーティクルを局所排気ダクト５０側に排気するために、フィルタの組み合わされた排気ユニットが設けられているが、ここでは図示を省略している。

【0019】

ウエハボート１は、図１に示すように、多数枚例えば１００枚のウエハＷを棚状に収納できるように構成されており、反応管２内に挿入されて熱処理が行われる上方位置と、アーム３によってウエハＷが移載される下位置との間において、図示しない昇降機構により昇降自在になっている。このウエハボート１におけるウエハＷの載置される領域の高さ寸法は、例えば１ｍとなっている。図２中１ａは、ウエハボート１を昇降させるための昇降機構である。

【0020】

そして、基板搬送領域１０ａ及び保持具待機領域１０ｂでは、既述のボールネジ４が配置された一方側（左側）の領域に対して、当該領域に対向する他方側（右側）の領域から水平方向に向かう層流のガス流が前後方向に亘って、且つ当該ボールネジ４（ウエハボート１）の長さ方向に亘って形成されるように構成されている。具体的には、各領域１０ａ、１０ｂにおける右側には、図２に示すように、当該領域１０ａ、１０ｂに対して清浄気体例えば大気（空気）あるいはＮ_２（窒素）ガスを供給するために、フィルタ（濾材）３５が組み合わされた箱形のガス供給部３４が前後方向に互いに離間するように例えば２カ所に設けられている。これらガス供給部３４の下端部は、図６に概略的に示すように、後述のファン４２によって気体が循環する循環流を各領域１０ａ、１０ｂに形成するために、ガスの流入口をなすように各々開口している。尚、清浄気体として窒素ガスを用いるにあたり、実際には筐体２５内の雰囲気に当該清浄気体を供給するための供給管と、当該雰囲気を排気するための排気管とが装置に設けられているが、ここでは描画を省略している。

【0021】

これらガス供給部３４における左側の側面には、当該ガス供給部３４に通流する気体からパーティクルを除去するために、既述のフィルタ３５がウエハボート１の長さ方向に亘って且つ前後方向に沿って各々形成されている。従って、ガス供給部３４では、フィルタ３５を介して清浄気体が各領域１０ａ、１０ｂに供給されるように構成されている。

【0022】

ここで、既述の２つのガス供給部３４のうち図２中手前側（ウエハボート１側）のガス供給部３４及び奥側（アーム３側）のガス供給部３４に夫々「第１」及び「第２」を付して、これら２つのガス供給部３４、３４のレイアウトについて以下に説明する。第１のガス供給部３４に対して対向するように、ウエハボート１の左側には２つのガス回収ダクト３６、３６が配置されており、また第２のガス供給部３４に対向するように、アーム３の左側には同様に２つのガス回収ダクト３６、３６が配置されている。こうして筐体２５の内部には、４つのガス回収ダクト３６が配置されている。

【0023】

各々のガス回収ダクト３６は、高さ方向における長さ寸法が例えば１．７ｍ程度となるように形成されると共に、内部領域が中空の概略箱形形状となるように構成されている。そして、ガス回収ダクト３６における右側の壁面部には、ガス供給部３４から各領域１０ａ、１０ｂに供給される気体を取り込むためのガス吸い込み口３７がウエハボート１の長さ方向に沿って形成されている。これら４つのガス回収ダクト３６について、手前側から奥側に向かって夫々「３６ａ」、「３６ｂ」、「３６ｃ」及び「３６ｄ」の符号を付すと、既述のウエハボート１を昇降させるための昇降機構１ａは、ガス回収ダクト３６ａ、３６ｂ間に配置されている。

【0024】

ガス吸い込み口３７は、図２などでは簡略化しているが、図４に示すように、第１のガス供給部３４側且つウエハボート１側を向くように形成されている。また、ガス吸い込み口３７は、上下方向における気体の取り込み量を揃えるために、上方側から下方側に向かう程数量が少なくなっており、また左右に２列に形成されている。尚、これらガス回収ダクト３６ａ〜３６ｄにおける各領域１０ａ、１０ｂ側には、気体を通流させるためのスリット状のガス通流口が縦横に多数形成された金属板からなる図示しないメカカバーが配置されているが、図示を省略している。

【0025】

そして、各々のガス回収ダクト３６は、下端部が各々開口してガスの吹き出し口をなしており、これらガスの吹き出し口に連通するように、床面５の下方側には、ガス循環路４１が配置されている。即ち、このガス循環路４１は、床面５の下方側にて右側と左側との間で水平に伸びると共に、これら右側の端部及び左側の端部が各々開口する概略箱形形状をなしている。このガス循環路４１は、手前側と奥側との２カ所に設けられており、始めに手前側のガス循環路４１について説明すると、当該ガス循環路４１の左側の開口部は、ガス回収ダクト３６ａ、３６ｂの下端側開口部と各々気密に接続されている。また、この手前側のガス循環路４１の右側の開口部が第１のガス供給部３４に向かって伸び出している。このガス循環路４１の内部には、図６に模式的に示すように、例えば板状の金属板を互いに平行に離間させて配置させた熱交換器４１ａが収納されており、ガス回収ダクト３６ａ、３６ｂから流入した気体を冷却できるように構成されている。また、このガス循環路４１には、当該ガス循環路４１に流入する気体によって昇温した熱交換器４１ａを冷却するために、チラーなどの冷却装置から伸びる冷却管（いずれも図示せず）が接続されている。

【0026】

前記手前側のガス循環路４１の右側の開口部と、第１のガス供給部３４の下端側開口部との間には、気体を送風するための送気機構をなすファン（詳しくはシロッコファンが収納されたファンユニット）４２が気密に設けられている。そして、このファン４２によってガス供給部３４の下端開口部に対して気体を供給すると、この気体は、図６に概略的に示すように、ガス供給部３４に設けられたフィルタ３５によってパーティクルが除去されて、保持具待機領域１０ｂに向かって高さ方向に亘って吐出されて水平流となる。次いで、この水平流は、ガス回収ダクト３６ａ、３６ｂに流入して、ガス循環路４１を介して冷却されながら当該ファン４２に戻されていく。こうしてガス供給部３４、保持具待機領域１０ｂ、ガス回収ダクト３６ａ、３６ｂ、ガス循環路４１及びファン４２を介して循環流が形成される。従って、これら２つのガス回収ダクト３６ａ、３６ｂに対して、循環路４１、ファン４２及び第１のガス供給部３４を共通化して設けていると言える。このファン４２は、保持具待機領域１０ｂにおけるガス流が層流となるように、即ちパーティクルを巻き上げないように、例えば０．２ｍ／ｓ〜０．５ｍ／ｓもの極めて遅い流速となるように駆動条件（回転羽の回転数など）が調整されている。これらガス供給部３４、ファン４２、ガス循環路４１及びガス回収ダクト３６ａ、３６ｂによって層流形成部が構成される。

【0027】

続いて、第２のガス供給部３４及び奥側のガス循環路４１について説明する。この第２のガス供給部３４についても、既述の第１のガス供給部３４と同様に、当該第２のガス供給部３４に対向するように２つのガス回収ダクト３６ｃ、３６ｄが配置されると共に、床面５の下方側には、これら第２のガス供給部３４及び２つのガス回収ダクト３６ｃ、３６ｄにて共用されるガス循環路４１及びファン４２が設けられている。第２のガス供給部３４における２つのガス回収ダクト３６ｃ、３６ｄは、ボールネジ４を介して互いに前後方向に離間するように配置されている。これら２つのガス回収ダクト３６ｃ、３６ｄのうち手前側のガス回収ダクト３６ｃは、第２のガス供給部３４に対して、ウエハボート１における奥側の部位を介して対向するように配置されている。また、これらガス回収ダクト３６ｃ、３６ｄのうち奥側のガス回収ダクト３６ｄは、アーム３により筐体２５内にウエハＷが搬出される領域を介して第２のガス供給部３４に対向するように配置されている。

【0028】

ここで、ボールネジ４と当該ボールネジ４よりも手前側（ウエハボート１側）のガス回収ダクト３６ｃとの間には、図１〜図５などに示すように、当該ボールネジ４から発生する有機物やパーティクルを吸引するために、ボールネジ４の長さ方向に沿うように気体のガス吸い込み口５３の形成された局所排気ダクト（掃気ダクト）５０が配置されている。即ち、この局所排気ダクト５０は、ガス回収ダクト３６ｃに隣接すると共に、ボールネジ４の置かれた領域を囲むように、平面で見た時に当該領域が矩形に窪んで概略Ｌ字型をなしている。言い換えると、局所排気ダクト５０は、平面で見た時に、一端側が筐体２５に接触するように配置されており、他端側がガス供給部３４に向かって右側に伸び出すと共に、ボールネジ４とガス供給部３４との間の領域において奥側に向かって直角に屈曲して延伸している。従って、局所排気ダクト５０は、図３に示すように、ウエハボート１からボールネジ４を見た時に、当該局所排気ダクト５０によってボールネジ４が長さ方向に沿って覆われるように配置されている。尚、図３は、局所排気ダクト５０を一部切り欠いて描画している。

【0029】

局所排気ダクト５０の下端部は、図５に示すように、ガス回収ダクト３６ａ〜３６ｄと同様に開口すると共に、第２のガス供給部３４におけるガス循環路４１の開口端に対して気密に接続されている。従って、第２のガス供給部３４に対向する２つのガス回収ダクト３６ｃ、３６ｄに加えて、局所排気ダクト５０についても、当該第２のガス供給部３４から供給される気体を排気（回収）する役割を持っていると言える。即ち、局所排気ダクト５０は、第２のガス供給部３４に対して、当該局所排気ダクト５０の前後両側のガス回収ダクト３６ｃ、３６ｄと共通化して設けられている。この局所排気ダクト５０においてボールネジ４を臨む側壁のうち左右方向に伸びる面と、当該面に直角な面を夫々第１の壁面部５１及び第２の壁面部５２と呼ぶと、図７に示すように、これら壁面部５１、５２とボールネジ４との間の離間寸法ｄ１、ｄ２は、ボールネジ４から発生した有機物やパーティクルの飛散を抑えるために、例えば１０ｍｍ〜５０ｍｍもの小さな寸法に設定されている。

【0030】

前記第１の壁面部５１及び第２の壁面部５２には、図４に示すように、上下方向に伸びるスリット状のガス吸い込み口５３がボールネジ４の長さ方向に亘って且つ水平方向に沿って複数箇所例えば２カ所に配置されている。こうしてガス吸い込み口５３は、ボールネジ４側を向くように各々形成されている。
ここで、第２のガス供給部３４に対向するガス回収ダクト３６ｃ、３６ｄのうち手前側のガス回収ダクト３６ｃにおいてガスの層流を形成するための部材（当該第２のガス供給部３４、ガス回収ダクト３６ｃ、ファン４２及びガス循環路４１）を第１の層流形成部と呼ぶこととする。また、局所排気ダクト５０を介してガスの層流を形成するための部材（当該局所排気ダクト５０、第２のガス供給部３４、ファン４２及びガス循環路４１）を第２の層流形成部と呼ぶこととすると、この例では、これら第１の層流形成部及び第２の層流形成部のファン４２及びガス循環路４１が共通化されていると言える。

【0031】

局所排気ダクト５０の第２の壁面部５２における奥側の部位には、ボールネジ４から発生する有機物やパーティクルがアーム３側に向かって飛散することを抑制するために、当該ボールネジ４の長さ方向に沿って伸びる概略板状の覆い部材５４が設けられている。具体的には、この覆い部材５４は、図７に示すように、平面で見た時に基端部が前記奥側の部位からアーム３側に向かって伸び出すと共に、左側に向かって直角に屈曲している。従って、ボールネジ４からアーム３側を見ると、局所排気ダクト５０及び覆い部材５４は、アーム３により搬送されるウエハＷから当該ボールネジ４ができるだけ見えないように配置されている。

【0032】

ここで、局所排気ダクト５０と、この局所排気ダクト５０に隣接するガス回収ダクト３６ｃとの長さ方向における途中部位には、図８に示すように、これら局所排気ダクト５０とガス回収ダクト３６との一方のガス流路を遮断する時は他方のガス流路を開放するように構成された共通の切り替えバルブ６０が開閉機構として配置されている。具体的には、この切り替えバルブ６０は、水平に伸びる回動軸６１と、この回動軸６１から各々垂直に伸びると共に、互いに直角となるように形成された２枚の板状の開閉弁６２とを備えている。

【0033】

そして、局所排気ダクト５０とガス回収ダクト３６ｃとの間の壁面部には、これらダクト５０、３６ｃ間が連通するように開口部６３が形成されており、前記回動軸６１は、この開口部６３において前記壁面部に沿うように配置されている。前記２枚の開閉弁６２、６２のうち、基板搬送領域１０ａ側から見た時の左側の開閉弁６２は、ガス回収ダクト３６ｃの横断面形状に倣うように、即ち当該横断面を塞ぐように形成されている。また、２枚の開閉弁６２、６２のうち右側の開閉弁６２は、局所排気ダクト５０における横断面を塞ぐように形成されている。

【0034】

前記回動軸６１には、図１に示すように、当該回動軸６１を水平軸周りに回転させるためのアクチュエータなどの駆動機構６４が接続されている。基板搬送領域１０ａから見た時に、この駆動機構６４を介して回動軸６１を時計周り（右回り）に回転させると、図９に示すように、ガス回収ダクト３６ｃにおけるガス流路が開放され、局所排気ダクト５０におけるガス流路が閉止（遮断）される。一方、回動軸６１を反時計周りに回転させると、図１０に示すように、ガス回収ダクト３６ｃのガス流路が閉止されると共に、局所排気ダクト５０のガス流路が開放される。従って、ガス回収ダクト３６ｃにおけるガス吸い込み口３７及び局所排気ダクト５０におけるガス吸い込み口５３は、開閉弁６２、６２にガス流路が塞がれる位置よりも上方側だけに形成されている。

【0035】

図８中６５は、ダクト５０、３６ｃの内壁面に沿うように形成された支持部材であり、各々のダクト５０、３６ｃのガス流路を塞ぐ時には、開閉弁６２の周縁部を受け止めるように構成されている。尚、これら開閉弁６２、６２のうち例えば左側（ガス回収ダクト３６ｃ側）の開閉弁６２は、当該ダクト３６ｃのガス流路を開放する時（回動軸６１により回動して垂直姿勢を取る時）に、ダクト５０、３６ｃ間の壁面部に沿って起立するように、回動軸６１側の基端部に対して先端側の部位が当該壁面部を避けるように屈曲している。従って、ダクト５０、３６ｃの一方を閉止すると共に他方を開放した時に、開口部６３を介してこれらダクト５０、３６ｃ間で気流が形成されることが抑制される。

【0036】

この縦型熱処理装置には、装置全体の動作のコントロールを行うために制御信号を出力するコンピュータからなる制御部７１が設けられている。この制御部７１のメモリ内には、反応管２内に処理ガスを供給して熱処理を行うための熱処理プログラム７１ａと、既述の切り替えバルブ６０を切り替えるためのバルブ切り替えプログラム７１ｂとが格納されている。熱処理プログラム７１ａは、ウエハボート１が気密に収納された反応管２内に対して、例えば成膜ガスなどの処理ガスを供給しながら、真空雰囲気において成膜処理や酸化処理などの熱処理を行うためのものである。バルブ切り替えプログラム７１ｂは、後で詳述するように、アーム３が駆動する時には局所排気ダクト５０を開放し、アーム３が駆動しない時（熱処理後のウエハＷを冷却する時）は局所排気ダクト５０を閉止してガス回収ダクト３６ｃを開放するように構成されている。これらプログラム７１ａ、７１ｂは、ハードディスク、コンパクトディスク、光磁気ディスク、メモリカード、フレキシブルディスクなどの記憶媒体である記憶部７２から制御部７１内にインストールされる。

【0037】

次に、この装置の作用について説明する。始めに、この装置において多数枚のウエハＷに対して順次熱処理を連続して行っている中で、処理済みのウエハＷが全て元のＦＯＵＰ１１に戻されて、ウエハボート１は反応管２の下方位置において空の状態（ウエハＷが積載されていない状態）になっているものとする。この時、反応管２の下端開口部である炉口は、図示しない蓋体により気密に閉じられている。また、ウエハボート１は、アーム３がアクセス可能な温度例えば３００℃以下の低温となっている。そして、第１の供給部３４及び第２のガス供給部３４によって、各領域１０ａ、１０ｂに向かう極微速の層流が高さ方向に亘って且つ前後方向に亘って形成されている。具体的には、第１の供給部３４から保持具待機領域１０ｂに供給される気流は、当該第１の供給部３４に対向するガス回収ダクト３６ａ、３６ｂによって回収されて、ガス循環路４１及びファン４２を介して循環流が形成されている。また、第２のガス供給部３４に対向するガス回収ダクト３６ｃ、３６ｄ、局所排気ダクト５０のうち、奥側のガス回収ダクト３６ｄと、切り替えバルブ６０によって開放されているガス回収ダクト３６ｃ及び局所排気ダクト５０のいずれか一方のガス流路とによって、同様に第２のガス供給部３４を介して循環流が形成されている。

【0038】

先ず、アーム３を駆動させる前に、切り替えバルブ６０によって、局所排気ダクト５０を開放すると共に、当該局所排気ダクト５０に隣接するガス回収ダクト３６ｃを遮断する。このように切り替えバルブ６０を切り替えると、図１１に示すように、遮断されたガス回収ダクト３６ｃに向かう水平流のうち大部分が局所排気ダクト５０によって取り込まれて（吸引されて）いく。こうして第２のガス供給部３４に対向する領域１０ａ、１０ｂでは既述のように層流が維持されながら、局所排気ダクト５０では、ボールネジ４が配置された領域を局所的に大流量で流れる気流が形成される。従って、ボールネジ４の周囲の領域では、局所的に負圧となる。尚、図１１以降については、昇降機構１ａについて記載を省略しており、また各ガス回収ダクト３６ａ〜３６ｄのレイアウトなどを模式的に描画している。

【0039】

次いで、キャリア搬送機２３を介してトランスファーステージ２２にＦＯＵＰ１１を載置すると共に、シャッター２７を開放して、搬送口２８を介してアーム３によって例えば５枚のウエハＷを基板搬送領域１０ａ側に取り出す。具体的には、各々のウエハＷよりも僅かに下方位置においてピック３１をＦＯＵＰ１１内に進入させて、次いで僅かにピック３１を上昇させてウエハＷを受け取り、続いてピック３１を後退させる。そして、ピック３１の進行方向がウエハボート１側を向くように当該ピック３１を反転させ、このウエハボート１におけるウエハＷの保持位置に対応する位置までアーム３を上昇または下降させる。その後、ＦＯＵＰ１１からのウエハＷの取り出し順序とは逆の順序でピック３１を動作させ、ウエハボート１にウエハＷを移載する。

【0040】

このウエハＷの搬入工程において、アーム３が昇降する時、既述のようにボールネジ４が鉛直軸周りに回転するので、図１２に示すように、ボールネジ４の遠心力により、ボールネジ４に塗布された有機物などの潤滑油（オイル）が例えばパーティクルとして飛散しようとする。しかし、局所排気ダクト５０に隣接するガス回収ダクト３６ｃを遮断して当該局所排気ダクト５０に流入するガス流量を稼いでいる。そのため、アーム３の昇降速度が０．６ｍ／ｓもの高速であっても、即ちボールネジ４の回転数が９００ｒｐｍ程度であっても、ボールネジ４から発生するパーティクルは、周囲への飛散が抑えられて、第２のガス供給部３４から通流する気体と共に局所排気ダクト５０によって吸引されていく。一方、基板搬送領域１０ａでは、第２のガス供給部３４から局所排気ダクト５０に近接する領域までは既述のように層流が形成されていることから、例えばアーム３にパーティクルが付着していたとしても、当該パーティクルの巻き上げが抑えられる。

【0041】

こうしてＦＯＵＰ１１から残りのウエハＷを同様に５枚ずつウエハボートに対して移載すると共に、ＦＯＵＰ１１が空になると別のＦＯＵＰ１１がトランスファーステージ２２に載置されて、ウエハボート１に例えば１００枚程度のウエハＷが積載されるまで、ウエハＷの移載作業が繰り返される。尚、ウエハＷを搬入する工程は、後述するように処理済みのウエハＷを搬出する工程に続いて行われる。そのため、切り替えバルブ６０は、実際にはウエハＷを搬入する時既に以上説明したように局所排気ダクト５０及びガス回収ダクト３６ｃを夫々開放及び遮断しているが、ここでは切り替えバルブ６０を切り替えたものとして説明している。

【0042】

続いて、ウエハＷの移載作業が終了すると、ウエハＷに対して熱処理が行われる。即ち、ウエハボート１を反応管２に気密に挿入した後、反応管２の炉口を気密に塞ぐ。次いで、反応管２内を真空雰囲気に設定しながら、図示しないヒーターにより例えば６００℃程度に加熱された各々のウエハＷに対して処理ガスを供給する。このようにウエハＷに対して熱処理を行っている時には、図１３に示すように、アーム３が駆動しておらず、従ってボールネジ４の回転に伴うパーティクルについても発生していない。そこで、切り替えバルブ６０を切り替えて、局所排気ダクト５０を遮断すると共に、当該局所排気ダクト５０に隣接するガス回収ダクト３６ｃを開放する。

【0043】

しかる後、ウエハＷに対する熱処理が終了すると、反応管２の炉口である下端開口部を気密に塞いでいた図示しない蓋体を側方側に退避させると共に、ウエハボート１を保持具待機領域１０ｂに向かって下降させる。ウエハＷに対して既述のように高温の熱処理が行われており、従って保持具待機領域１０ｂに下降して来たウエハボート１やウエハＷについても依然として高温となっている。しかし、局所排気ダクト５０を遮断していることから、第２のガス供給部３４から吐出される気流のうち局所排気ダクト５０に向かう流量の大部分が当該局所排気ダクト５０に隣接するガス回収ダクト３６ｃに向かって通流していく。

【0044】

ここで、高温のウエハボート１が下降する時、保持具待機領域１０ｂは常温となっており、ウエハボート１との温度差が大きい。そのため、ウエハボート１やウエハＷの熱により、保持具待機領域１０ｂでは上昇気流が形成されようとする。即ち、ガス供給部３４からガス回収ダクト３６ａ〜３６ｄに向かう既述の層流が乱されようとする。しかし、ウエハボート１を介してガス供給部３４とガス回収ダクト３６ａ〜３６ｄとを左右に対向させて配置していることから、保持具待機領域１０ｂでは、清浄気体が層流で水平方向に向かうラミナーフローが高さ方向に亘って且つ前後方向に亘って維持される。こうして局所排気ダクト５０の分だけ大流量の気流が保持具待機領域１０ｂに供給されることも加わって、ウエハボート１及びウエハＷは熱交換器４１ａを介して通流する清浄気体により速やかに冷却されていく。

【0045】

一方、ウエハＷに対して施された処理によっては、ウエハボート１やウエハＷに付着した付着物が浮遊する場合もある。しかし、上で述べたラミナーフローによって、別のパーティクルが巻き上がることが抑制されながら、大気中に浮遊したパーティクルについては清浄気体の循環流によって排気され、ガス供給部３４に設けられたフィルタ３５によって除去される。

【0046】

次いで、アーム３がアクセスできる程度の温度にウエハボート１及びウエハＷが降温すると、切り替えバルブ６０によって局所排気ダクト５０を開放すると共に、ウエハボート１への搬入動作とは逆の搬出動作により、処理済みのウエハＷをアーム３を用いて順次ＦＯＵＰ１１に搬入する。この搬出工程においても、ボールネジ４において発生するパーティクルは、局所排気ダクト５０によって排気され、基板搬送領域１０ａへの飛散が抑制される。

【0047】

図１４は、以上説明した気流の切り替えとアーム３の駆動とのタイミングを纏めて示したものであり、第２のガス供給部３４から領域１０ａ、１０ｂに供給される気体の流量については、未処理のウエハＷを搬入する時から処理済みのウエハＷを搬出する時までに亘ってある一定の値となっている。一方、局所排気ダクト５０については、アーム３が駆動する時（ウエハＷの搬入出時）にＯＮ（開放）され、それ以外の熱処理時や冷却時にはＯＦＦ（遮断）されている。従って、この局所排気ダクト５０の開閉に伴って開閉されるガス回収ダクト３６ｃについては、図１５に示すように、局所排気ダクト５０が遮断されると開放され、局所排気ダクト５０が開放されると遮断される。

【0048】

上述の実施の形態によれば、各領域１０ａ、１０ｂに対して層流を形成して、パーティクルの巻き上げを抑制しながら、ウエハＷを冷却するように構成している。そして、アーム３が駆動する時には、ガス回収ダクト３６ｃを閉止して局所排気ダクト５０側を回り込む気流の流量を稼いでいる。また、処理済みの高温のウエハＷを冷却する時は、局所排気ダクト５０を遮断してウエハボート１側に向かう気流を増やしている。そのため、ウエハＷの冷却時には層流を形成しながら、アーム３が駆動する時にボールネジ４から発生するパーティクルについて基板搬送領域１０ａ側への飛散を抑制できるので、ウエハＷの汚染を抑えることができる。従って、ボールネジ４が置かれる雰囲気を局所的に排気するにあたり、排気ユニットを別途設けなくても、局所排気ダクト５０及び切り替えバルブ６０を配置しただけで済む。そして、この局所排気ダクト５０を配置した領域は、ボールネジ４が置かれている領域であり、いわばデッドスペースとなっている。そのため、装置の大型化を抑えながら、ボールネジ４からパーティクルが飛散することを抑制できる。また、既述のようにパーティクルの飛散を抑制しながらも高速でアーム３を昇降させることができ、またウエハＷの冷却時には既述のラミナーフローを確保して（ウエハＷの熱による上昇気流の発生を抑制して）、ウエハＷを速やかに冷却できるので、スループットを向上させることができる。

【0049】

また、ボールネジ４に対して局所排気ダクト５０の壁面部５１、５２を既述のように近接させているので、当該ボールネジ４からパーティクルが飛散してしまう前に吸引することができるし、更にボールネジ４が置かれる領域を局所的に負圧にしやすくなる。従って、パーティクルの飛散を良好に抑制できる。
更に、切り替えバルブ６０を局所排気ダクト５０とガス回収ダクト３６ｃとで共用しているため、当該切り替えバルブ６０を駆動するための駆動機構６４が一つで済む。更にまた、これら局所排気ダクト５０とガス回収ダクト３６ｃとを互いに近接させているため、ダクト５０、３６ｃの一方を遮断した時、他方のダクト５０、３６ｃに気流が向かいやすくなる。即ち、第２のガス供給部３４から吐出する気流が通流する３つのガス流路（２つのガス回収ダクト３６ｃ、３６ｄ及び局所排気ダクト５０）のうち一つのガス流路を遮断すると、当該一つのガス流路に向かって通流する気流は、他の２つのガス流路のうち前記一つのガス流路に近接するガス流路に流れようとする。従って、これらダクト５０、３６ｃを互いに近接させることにより、ダクト５０、３６ｃの一方を遮断した時に他方のダクト５０、３６ｃに向かう気流について、ダクト５０、３６ｃを互いに離間させた場合と比べて、多くの流量を確保できる。

【0050】

ここで、局所排気ダクト５０から取り込む気体には、既述のようにボールネジ４から発生したパーティクルが含まれている。そこで、装置の外部における工場の排気ラインに向かって一端側が伸びる図示しない排気路の他端側を局所排気ダクト５０の下端側開口部に気密に接続し、局所排気ダクト５０から取り込む気体についてはガス供給部３４に循環させないようにしても良い。このように、ガス回収ダクト３６ｃを介して形成される循環流に対して、局所排気ダクト５０用の排気流を別に形成することにより、ガス供給部３４に設けられたフィルタ３５の長寿命化を図ることができる。この場合には、前記排気ラインに排気された気体に相当する流量の分だけ、図示しない供給路から装置内に気体が取り込まれる。

【0051】

局所排気ダクト５０とガス回収ダクト３６ｃとを切り替えるための機構としては、以上の実施の形態では切り替えバルブ６０を例に挙げたが、例えば図１６に示すように、これら局所排気ダクト５０とガス回収ダクト３６ｃとを個別に各々開閉する開閉弁８１、８１を開閉機構として設けても良い。この場合においても、既述の例と同様に、ウエハＷを冷却する時には局所排気ダクト５０が遮断されると共にガス回収ダクト３６ｃが開放され、アーム３が駆動する時には局所排気ダクト５０及びガス回収ダクト３６ｃが夫々開放及び遮断される。

【0052】

更に、図１６のように局所排気ダクト５０及びガス回収ダクト３６ｃに個別に開閉弁８１を設ける場合には、これら局所排気ダクト５０とガス回収ダクト３６ｃとを互いに離間させても良い。図１７は、このように開閉弁８１が各々設けられた局所排気ダクト５０とガス回収ダクト３６ｃとを互いに離間させた例を示しており、第２のガス供給部３４は、３つのガス回収ダクト３６ｂ〜３６ｄと局所排気ダクト５０に共通化して設けられている。そして、第２のガス供給部３４が受け持つ３つのガス回収ダクト３６ｂ〜３６ｄのうち奥側のガス回収ダクト３６ｄと中央のガス回収ダクト３６ｃとの間に、ボールネジ４及び局所排気ダクト５０が配置されている。また、局所排気ダクト５０と、手前側のガス回収ダクト３６ｂとには、各々開閉弁８１が設けられている。この場合においても、開閉弁８１が設けられたガス回収ダクト３６ｂは、第２のガス供給部３４に対して、ウエハボート１を介して対向するように配置されている。従って、図１７の構成においても、以上説明した例と同様の作用及び効果が得られる。

【0053】

また、ウエハＷを冷却する時において、局所排気ダクト５０を遮断してウエハボート１側を通流するガス量を増やしたが、ウエハＷを冷却する時には、局所排気ダクト５０及びガス回収ダクト３６ｃ（３６ｂ）を各々開放するようにしても良い。具体的には、図１８に示すように、ガス回収ダクト３６ｃに開閉弁８１を設けておき、アーム３が駆動する時には当該開閉弁８１によりガス回収ダクト３６ｃを遮断する。一方、ウエハＷを冷却する時には、図１９に示すように、開閉弁８１によりガス回収ダクト３６ｃを開放して、これらガス回収ダクト３６ｃ及び局所排気ダクト５０により層流を形成しても良い。この場合においても、ウエハＷを冷却する時には層流を形成しながら、アーム３の駆動時におけるパーティクルの飛散を抑制できる。

【0054】

更にまた、図２０は、局所排気ダクト５０について、平面で見た時にＬ字型に構成することに代えて、箱形に形成した例を示している。この場合においても、ガス吸い込み口５３は、ボールネジ４の長さ方向に沿うように形成されると共に、ボールネジ４を向くように配置される。

【0055】

また、開閉弁８１を用いる場合には、この開閉弁８１によりガス流路が開閉されるガス回収ダクト３６ｃと、当該ガス回収ダクト３６ｃに隣接する局所排気ダクト５０とについて、循環路４１やファン４２を共通化せずに、これらガス回収ダクト３６ｃ及び局所排気ダクト５０毎に個別に設けても良い。この場合には、ガス回収ダクト３６ｃ及び局所排気ダクト５０の夫々のガス循環路４１、４１間の壁面部に図示しないバルブにより互いのガス流路を開閉自在な開口部を設けておき、開閉弁８１によりガス回収ダクト３６ｃのガス流路が遮断される時、これらガス循環路４１、４１間を連通させても良い。更に、複数設けられたガス回収ダクト３６ａ〜３６ｄのうち一つを遮断するようにしたが、これら複数のガス回収ダクト３６ａ〜３６ｄに各々開閉弁８１を設けておき、アーム３が駆動する時は、２つ以上のガス回収ダクト３６ａ〜３６ｄを遮断しても良い。

【0056】

更に、局所排気ダクト５０とガス回収ダクト３６ｃとの流路の切り替えを行うにあたり、当該ダクト５０、３６ｃの横断面を遮断する水平姿勢と、ダクト５０、３６ｃを開放する垂直姿勢と、の間で切り替え自在に構成された切り替えバルブ６０を用いたが、水平方向にスライドする機構を用いても良い。即ち、これらダクト５０、３６ｃの横断面を互いに同じ形状にすると共に、一方のダクト５０（３６ｃ）を遮断すると共に他方のダクト３６ｃ（５０）を開放した水平位置から、他方のダクト３６ｃ（５０）を遮断すると共に一方のダクト５０（３６ｃ）を開放した位置に水平方向にスライドする機構を用いても良い。この場合には、ダクト５０、３６ｃにおける例えば装置の外壁側の側面には、当該スライドする機構を支持して水平方向に移動させるための支持部が挿入される。

【0057】

また、アーム３を昇降させる昇降軸としては、ボールネジ４に代えて、例えばベルトコンベアなどを用いても良い。更に、縦型熱処理装置として、ウエハボート１を昇降させる構成について説明したが、アーム３の側方側（例えば右側）に当該ウエハボート１を載置するための領域を設けておき、この領域においてウエハＷの受け渡しを行う構成であっても良い。

【実施例】

【0058】

以上説明した局所排気ダクト５０を設けた効果について、既述の図１〜図１０に示した装置を用いて実験を行った結果を説明する。実験は、図２１に模式的に示すように、装置内部（各領域１０ａ、１０ｂ）をＸ−Ｙ−Ｚ方向に複数のラインにより区画して、これらラインの各々の交点においてアーム３を駆動させた時に発生するパーティクルの数量を計測した。比較例として、切り替えバルブ６０を設けずに、また局所排気ダクト５０として図２０に示す形状に構成して実験を行った結果を示す。尚、図２１では、装置を簡略化して示している。
この結果、本発明の装置では、領域１０ａ、１０ｂではパーティクルの発生は確認されなかった。一方、比較例では、例えば５００個程度のパーティクルが発生していた。

【符号の説明】

【0059】

Ｗ ウエハ
１ ウエハボート
２ 反応管
３ ウエハトランスファーアーム
４ ボールネジ
１０ 搬送領域
３４ ガス供給部
３５ ガス吐出口
３６ ガス回収ダクト
３７ ガス吸い込み口
５０ 局所排気ダクト
５３ ガス吸い込み口
６０ 切り替えバルブ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】