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特許5956324搬送基台及び搬送システム
発明の名称 搬送基台及び搬送システム
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 32 位（218件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24 位（227件）（共同出願を含む）
出願人 テクノダイナミックス株式会社 （識別番号 511122075）
特許公開件数ランキング 13975 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 3906 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5956324
公報発行日 2016年7月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5956324
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