特許5956324搬送基台及び搬送システム

発明の名称　搬送基台及び搬送システム

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（579件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 22 位（763件）（共同出願を含む）

出願人　テクノダイナミックス株式会社　（識別番号 511122075）

　　　　特許公開件数ランキング 6922 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3241 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5956324

公報発行日　2016年7月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5956324

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