特許5957812静電チャック装置

発明の名称　静電チャック装置

出願人　住友大阪セメント株式会社　（識別番号 183266）

　　　　特許公開件数ランキング 497 位（59件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 528 位（43件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5957812

公報発行日　2016年7月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5957812

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