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特許第5960087号(P5960087)
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特許
5960087
スパッタリング及び再スパッタリングのための自己イオン化したプラズマ及び誘導結合したプラズマ
書誌
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請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
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