特許5960270組み合わされたシリコン酸化膜エッチング及び汚染物除去プロセス

発明の名称　組み合わされたシリコン酸化膜エッチング及び汚染物除去プロセス

出願人　東京エレクトロン株式会社　（識別番号 219967）

　　　　特許公開件数ランキング 35 位（572件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 22 位（758件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5960270

公報発行日　2016年8月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5960270

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