特許5967572ダイヤモンド半導体装置及びその製造方法

発明の名称　ダイヤモンド半導体装置及びその製造方法

出願人　独立行政法人産業技術総合研究所　（識別番号 301021533）

　　　　特許公開件数ランキング 192 位（262件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 137 位（281件）（共同出願を含む）

出願人　国立大学法人東京工業大学　（識別番号 304021417）

　　　　特許公開件数ランキング 340 位（165件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 359 位（154件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5967572

公報発行日　2016年8月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5967572

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