発明の名称 CMP後の洗浄ブラシ
出願人 インテグリス・インコーポレーテッド (識別番号 505307471)
特許公開件数ランキング 300 位(103件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 338 位(76件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-5977175
公報発行日 2016年8月24
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5977175
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