特許5979182基板支持装置及びこれを備える基板処理装置

発明の名称　基板支持装置及びこれを備える基板処理装置

出願人　ウォニク　アイピーエス　カンパニー　リミテッド　（識別番号 316008145）

　　　　特許公開件数ランキング 4925 位（3件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 2705 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5979182

公報発行日　2016年8月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5979182

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