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■ 2026年 出願公開件数ランキング 第4777位 3件
(
2025年:第5423位 3件)
■ 2026年 特許取得件数ランキング 第3174位 4件
(
2025年:第2586位 6件)
(ランキング更新日:2026年11月11日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7946093 | 基板処理装置及びこれを用いた排気ガス処理方法 | 2026年11月 6日 | |
| 特許 7926587 | 薄膜のエッチング方法 | 2026年 9月29日 | |
| 特許 7880445 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2026年 6月25日 | |
| 特許 7793574 | 基板処理方法、該方法を用いる基板処理装置及び半導体素子製造方法 | 2026年 1月 5日 |
4 件中 1-4 件を表示
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7946093 7926587 7880445 7793574
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