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特許5989011ＥＵＶ投影露光装置のための反射光学構成要素を製造する方法及びこのタイプの構成要素
発明の名称 ＥＵＶ投影露光装置のための反射光学構成要素を製造する方法及びこのタイプの構成要素
出願人 カール ツァイス レーザー オプティックス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング （識別番号 510217910）
特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー （識別番号 503263355）
特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 348 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-5989011
公報発行日 2016年9月7
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5989011
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