特許第5990167号(P5990167)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許5990167スパッタリングターゲット及びその製造方法、並びに、そのターゲットを用いた酸化物薄膜、薄膜トランジスタ及び表示装置の製造方法
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