特許5997973金属膜研磨用パッドおよびそれを用いた研磨方法

発明の名称　金属膜研磨用パッドおよびそれを用いた研磨方法

出願人　株式会社クラレ　（識別番号 1085）

　　　　特許公開件数ランキング 483 位（57件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 197 位（147件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5997973

公報発行日　2016年9月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5997973

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