特許 6000735 工具の管理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6000735

(24)【登録日】2016年9月9日

(45)【発行日】2016年10月5日

(54)【発明の名称】工具の管理方法

(51)【国際特許分類】

   B24D 99/00 20100101AFI20160923BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20160923BHJP

【ＦＩ】

   B24D99/00 Z

   H01L21/304 631

【請求項の数】1

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2012-174932(P2012-174932)

(22)【出願日】2012年8月7日

(65)【公開番号】特開2014-34065(P2014-34065A)

(43)【公開日】2014年2月24日

【審査請求日】2015年7月21日

(73)【特許権者】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100075177

【弁理士】

【氏名又は名称】小野 尚純

(74)【代理人】

【識別番号】100113217

【弁理士】

【氏名又は名称】奥貫 佐知子

(72)【発明者】

【氏名】関家 一馬

【審査官】 大山 健

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−０５９３７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５９−１１８３１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０００−３１７７７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−２２６４８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０６７２９４６８（ＵＳ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｄ ９９／００

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ２５Ｈ ３／０２

Ｇ０５Ｂ １９／４１８

Ｂ２３Ｑ １１／００ ，１３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

加工装置に装着される工具の管理方法であって、
工具ケースに収容される工具、または工具を収容する工具ケースに工具の品種を表示するシールが着脱可能に貼着されており、
該工具を加工装置に装着する際には、該シールを工具または工具を収容する工具ケースから剥離することにより、少なくとも該シールと該工具ケースとが離間した状態として、加工装置の目視可能な部位に貼着するシール脱着工程を実施し、
工具を加工装置から取り外して工具ケースに収容する際には、加工装置の目視可能な部位に貼着したシールを剥離し、工具または工具を収容する工具ケースに貼り戻すシール貼り戻し工程を実施する、
ことを特徴とする工具の管理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、研削装置等の加工装置に装着される工具の管理方法に関する。

【背景技術】

【0002】

当業者には周知の如く、半導体デバイス製造工程においては、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが複数個形成された半導体ウエーハは、個々のチップに分割される前にその裏面を研削装置によって研削して所定の厚さに形成されている。半導体ウエーハの裏面を研削する研削装置は、ウエーハを吸引保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面に吸引保持されたウエーハを研削する研削ホイールを備えた研削手段と、該研削手段をチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に研削送りする研削送り手段とを具備している。（例えば、特許文献１参照）

【0003】

上述した研削装置に装着される研削ホイールは、シリコンを粗研削するための粗研削用ホイール、シリコンを仕上げ研削するための仕上げ研削用ホイール、ガラスを研削するためのガラス用研削ホイール、サファイアを研削するためのサファイア用研削ホイール等、被加工物の素材および研削程度に対応して最適なものが用いられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００２−２００５４５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

而して、研削ホイールは研削装置に装着されるとその品種を確認することが困難となり、被加工物の種類に対応しない品種の研削ホイールで被加工物を研削することがあり、被加工物の品質を低下させるという問題がある。このような問題は、ウエーハを切削するための切削ブレードが装着される切削装置においても起こり得る。

【0006】

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、研削装置等の加工装置に装着された研削ホイール等の工具の品種を容易に確認することができる工具の管理方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、加工装置に装着される工具の管理方法であって、
工具ケースに収容される工具、または工具を収容する工具ケースに工具の品種を表示するシールが着脱可能に貼着されており、
該工具を加工装置に装着する際には、該シールを工具または工具を収容する工具ケースから剥離することにより、少なくとも該シールと該工具ケースとが離間した状態として、加工装置の目視可能な部位に貼着するシール脱着工程を実施し、
工具を加工装置から取り外して工具ケースに収容する際には、加工装置の目視可能な部位に貼着したシールを剥離し、工具または工具を収容する工具ケースに貼り戻すシール貼り戻し工程を実施する、
ことを特徴とする工具の管理方法が提供される。

【発明の効果】

【0008】

本発明による工具の管理方法においては、工具を加工装置に装着する際にはシールを工具または工具を収容する工具ケースから剥離することにより、少なくとも該シールと該工具ケースとが離間した状態として加工装置の目視可能な部位に貼着するシール脱着工程を実施し、工具を加工装置から取り外して工具ケースに収容する際には加工装置の目視可能な部位に貼着したシールを剥離して工具または工具を収容する工具ケースに貼り戻すシール貼り戻し工程を実施するので、加工装置に装着されている工具の品種を常に目視にて確認することができる。従って、被加工物の種類に対応しない品種の工具で被加工物を加工することがなく、被加工物の品質を低下させるという問題を解消することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明による工具の管理方法を実施するための加工装置としての研削装置の斜視図。

【図2】図１に示す研削装置に装着される粗研削ホイールおよび粗研削ホイールを収容する工具ケースを示す斜視図。

【図3】図１に示す研削装置に装着される仕上げ研削ホイールおよび仕上げ研削ホイールを収容する工具ケースを示す斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明による工具の管理方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。

【0011】

図１には、本発明による工具の管理方法を実施するための加工装置としての研削装置の斜視図が示されている。
図示の実施形態における研削装置１は、略直方体状の装置ハウジング２を具備している。装置ハウジング２の図１において右上端には、静止支持板２１が立設されている。この静止支持板２１の内側面には、上下方向に延びる２対の案内レール２２、２２および２３、２３が設けられている。一方の案内レール２２、２２には粗研削手段としての粗研削ユニット３が上下方向に移動可能に装着されており、他方の案内レール２３、２３には仕上げ研削手段としての仕上げ研削ユニット４が上下方向に移動可能に装着されている。

【0012】

粗研削ユニット３は、ユニットハウジング３１と、該ユニットハウジング３１の下端に回転自在に装着されたホイールマウント３２に取り付けボルト３２１によって装着された粗研削ホイール３３と、該ユニットハウジング３１の上端に装着されホイールマウント３２を矢印３２aで示す方向に回転せしめるサーボモータ３４と、ユニットハウジング３１が支持部材３１０を介して装着されている移動基台３５とを具備している。なお、粗研削ホイール３３については、後で詳細に説明する。

【0013】

上記移動基台３５には被案内レール３５１、３５１が設けられており、この被案内レール３５１、３５１を上記静止支持板２１に設けられた案内レール２２、２２に移動可能に嵌合することにより、粗研削ユニット３が上下方向に移動可能に支持される。図示の形態における粗研削ユニット３は、上記移動基台３５を案内レール２２、２２に沿って移動させ粗研削ホイール３３を研削送りする粗研削送り手段３６を具備している。粗研削送り手段３６は、上記静止支持板２１に案内レール２２、２２と平行に上下方向に配設され回転可能に支持された雄ねじロッド３６１と、該雄ねじロッド３６１を回転駆動するためのパルスモータ３６２と、上記移動基台３５に装着され雄ねじロッド３６１と螺合する図示しない雌ねじブロックを具備しており、パルスモータ３６２によって雄ねじロッド３６１を正転および逆転駆動することにより、粗研削ユニット３を上下方向（後述するチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向）に移動せしめる。

【0014】

上記仕上げ研削ユニット４も粗研削ユニット３と同様に構成されており、ユニットハウジング４１と、該ユニットハウジング４１の下端に回転自在に装着されたホイールマウント４２に取り付けボルト４２１によって装着された仕上げ研削ホイール４３と、該ユニットハウジング４１の上端に装着されホイールマウント４２を矢印４２aで示す方向に回転せしめるサーボモータ４４と、ユニットハウジング４１が支持部材４１０を介して装着されている移動基台４５とを具備している。なお、仕上げ研削ホイール４３については、後で詳細に説明する。

【0015】

上記移動基台４５には被案内レール４５１、４５１が設けられており、この被案内レール４５１、４５１を上記静止支持板２１に設けられた案内レール２３、２３に移動可能に嵌合することにより、仕上げ研削ユニット４が上下方向に移動可能に支持される。図示の形態における仕上げ研削ユニット４は、上記移動基台４５を案内レール２３、２３に沿って移動させ仕上げ研削ホイール４３を研削送りする仕上げ研削送り手段４６を具備している。仕上げ研削送り手段４６は、上記静止支持板２１に案内レール２３、２３と平行に上下方向に配設され回転可能に支持された雄ねじロッド４６１と、該雄ねじロッド４６１を回転駆動するためのパルスモータ４６２と、上記移動基台４５に装着され雄ねじロッド４６１と螺合する図示しない雌ねじブロックを具備しており、パルスモータ４６２によって雄ねじロッド４６１を正転および逆転駆動することにより、仕上げ研削ユニット４を上下方向（後述するチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向）に移動せしめる。

【0016】

図示の実施形態における研削装置は、上記静止支持板２１の前側において装置ハウジング２の上面と略面一となるように配設されたターンテーブル５を具備している。このターンテーブル５は、比較的大径の円盤状に形成されており、図示しない回転駆動機構によって矢印５ａで示す方向に適宜回転せしめられる。ターンテーブル５には、図示の実施形態の場合それぞれ１２０度の等角度をもって３個のチャックテーブル６が水平面内で回転可能に配置されている。このチャックテーブル６は、円盤状の基台６１とポーラスセラミック材によって円盤状に形成された吸着保持チャック６２とからなっており、吸着保持チャック６２上（保持面）に載置された被加工物を図示しない吸引手段を作動することにより吸引保持する。このように構成されたチャックテーブル６は、図示しないサーボモータによって矢印６aで示す方向に回転せしめられる。ターンテーブル５に配設された３個のチャックテーブル６は、ターンテーブル５が適宜回転することにより被加工物搬入・搬出域Ａ、粗研削加工域Ｂ、および仕上げ研削加工域Ｃおよび被加工物搬入・搬出域Ａに順次移動せしめられる。

【0017】

上記装置ハウジング２の手前側には、第１のカセット載置部１１ａと、第２のカセット載置部１２ａと、仮置き部１３ａと、洗浄部１４ａが設けられている。第１のカセット載置部１１ａには研削前のウエーハを収容する第１のカセット１１が載置され、第２のカセット載置部１２ａには研削後のウエーハを収容する第２のカセット１２が載置されるようになっている。上記仮置き部１３ａには、第１のカセット載置部１１ａに載置された第１のカセット１１から搬出された研削前のウエーハを仮置きする仮置き手段１３が配設されている。また、洗浄部１４ａには、研削後のウエーハを洗浄する洗浄手段１４が配設されている。

【0018】

上記第１のカセット載置部１１ａと第２のカセット載置部１２ａとの間には搬送手段１５が配設されており、この搬送手段１５は第１のカセット載置部１１ａに載置された第１のカセット１１内に収納された研削前のウエーハを仮置き手段１３に搬出するとともに洗浄手段１４で洗浄された研削後のウエーハを第２のカセット載置部１２ａに載置された第２のカセット１２に搬送する。上記仮置き部１３ａと被加工物搬入・搬出域Aとの間には搬入手段１６が配設されており、この搬入手段１６は仮置き手段１３に載置された研削前のウエーハを被加工物搬入・搬出域Aに位置付けられたチャックテーブル６上に搬送する。上記被加工物搬入・搬出域Aと洗浄部１４ａとの間には搬出手段１７が配設されており、この搬出手段１７は被加工物搬入・搬出域Aに位置付けられたチャックテーブル６上に載置されている研削後のウエーハを洗浄手段１４に搬送する。

【0019】

次に、上記粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３について、図２および図３を参照して説明する。
図２の(a)には粗研削工具としての粗研削ホイール３３の斜視図が示されており、図２の(b)には粗研削ホイール３３を収容するための工具ケース７の斜視図が示されており、図２の(c)には粗研削ホイール３３が工具ケース７に収容された状態の斜視図が示されている。図２の(a)に示す粗研削ホイール３３は、環状の砥石基台３３１と、該砥石基台３３１の下面に装着された粗研削砥石３３２からなる複数のセグメントとによって構成されている。砥石基台３３１には雌ネジ穴３３１a形成されており、この雌ネジ穴３３１aに上記ホイールマウント３２を挿通して配設された取り付けボルト３２１（図１参照）を螺合することにより、ホイールマウント３２に装着される。粗研削砥石３３２は、図示の実施形態においては＃３００のダイヤモンド砥粒をメタルボンドで結合し外径が４５０mmに形成されている。このように構成された粗研削ホイール３３は、直径が３００mmのシリコンウエーハの粗研削用として設定されている。

【0020】

図２の(b)に示す工具ケース７は、収納部７１と該収納部７１とヒンジ７２を介して開閉可能に連結された蓋部７３とからなり、適宜の合成樹脂によって一体成形されている。なお、工具ケース７を一体成形する合成樹脂としては、リサイクルが可能なポリプロピレンが望ましい。収納部７１は、底壁７１１と該底壁７１１の外周縁から立設して形成された側壁７１２とを有している。底壁７１１の上面中央部には、粗研削ホイール３３の環状の砥石基台３３１を嵌合して位置規制するための規制部７１１aが突出して設けられている。上記蓋部７３は、天壁７３１と該天壁７３１の外周縁から垂下して形成された側壁７３２とを有している。上述した収納部７１と蓋部７３は、側壁７１２と側壁７３２がヒンジ７２を介して開閉可能に連結されている。以上のように構成された収納部７１と蓋部７３には、蓋部７３を収納部７１に閉止したとき閉止状態を維持するロック手段７４が設けられている。このロック手段７４は、収納部７１の側壁７１２に設けられた係止突起７４１と、蓋部７３の側壁７３２に設けられ係合片７４２とからなっており、図２の(c)に示す閉止状態で係止突起７４１に係合片７４２が係合するように構成されている。このように構成された工具ケース７における収納部７１の規制部７１１aに環状の粗研削ホイール３３を嵌合して収容し、蓋部７３の係合片７４２を収納部７１の係止突起７４１に係合して閉止する。

【0021】

上述した工具ケース７を構成する蓋部７３の表面には、図２の(c)に示すように粗研削ホイール３３の品種を表示するシール７０が着脱可能に貼着されている。このシール７０には、製品番号、粗研削砥石３３２の種類（＃３００のダイヤモンド砥粒をメタルボンドで結合し外径が４５０mmに形成されている）、用途（直径が３００mmのシリコンウエーハの粗研削用）が記載されている。なお、粗研削ホイール３３の品種を表示するシール７０は、粗研削ホイール３３を構成する砥石基台３３１の上面に貼着してもよい。

【0022】

次に、仕上げ研削ホイール４３について、図３を参照して説明する。
図３の(a)には仕上げ研削工具としての仕上げ研削ホイール４３の斜視図が示されており、図３の(b)には仕上げ研削ホイール４３を収容するための工具ケース８の斜視図が示されており、図３の(c)には仕上げ研削ホイール４３が工具ケース８に収容された状態の斜視図が示されている。図３の(a)に示す仕上げ研削ホイール４３は、環状の砥石基台４３１と、該砥石基台４３１の下面に装着された研削砥石４３２からなる複数のセグメントとによって構成されている。砥石基台４３１には雌ネジ穴４３１a形成されており、この雌ネジ穴４３１aに上記ホイールマウント４２を挿通して配設された取り付けボルト４２１（図１参照）を螺合することにより、ホイールマウント４２に装着される。仕上げ研削砥石４３２は、図示の実施形態においては＃２０００のダイヤモンド砥粒をレジンボンドで結合し外径が４５０mmに形成されている。このように構成された仕上げ研削ホイール４３は、直径が３００mmのシリコンウエーハの仕上げ研削用として設定されている。

【0023】

図３の(b)に示す工具ケース８は、上記図２に示す粗研削ホイール３３を収容する工具ケース７と実質的に同一にお構成されている、収納部８１と該収納部８１とヒンジ８２を介して開閉可能に連結された蓋部８３とからなり、適宜の合成樹脂によって一体成形されている。収納部８１は、底壁８１１と該底壁８１１の外周縁から立設して形成された側壁８１２とを有している。底壁８１１の上面中央部には、仕上げ研削ホイール４３の環状の砥石基台４３１を嵌合して位置規制するための規制部８１１aが突出して設けられている。上記蓋部８３は、天壁８３１と該天壁８３１の外周縁から垂下して形成された側壁８３２とを有している。上述した収納部８１と蓋部８３は、側壁８１２と側壁８３２がヒンジ８２を介して開閉可能に連結されている。以上のように構成された収納部８１と蓋部８３には、蓋部８３を収納部８１に閉止したとき閉止状態を維持するロック手段８４が設けられている。このロック手段８４は、収納部８１の側壁８１２に設けられた係止突起８４１と、蓋部８３の側壁８３２に設けられ係合片８４２とからなっており、図３の(c)に示す閉止状態で係止突起８４１に係合片８４２が係合するように構成されている。このように構成された工具ケース８における収納部８１の規制部８１１aに環状の仕上げ研削ホイール４３を嵌合して収容し、蓋部８３の係合片８４２を収納部８１の係止突起８４１に係合して閉止する。

【0024】

上述した工具ケース８を構成する蓋部８３の表面には、図３の(c)に示すように仕上げ研削ホイール４３の品種を表示するシール８０が着脱可能に貼着されている。このシール８０には、製品番号、仕上げ研削砥石４３２の種類（＃２０００のダイヤモンド砥粒をレジンボンドで結合し外径が４５０mmに形成されている）、用途（直径が３００mmのシリコンウエーハの仕上げ研削用）が記載されている。なお、仕上げ研削ホイール４３の品種を表示するシール８０は、仕上げ研削ホイール４３を構成する砥石基台４３１の上面に貼着してもよい。

【0025】

上述した粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３を図１に示す研削装置１に装着するには、上記工具ケース７の蓋部７３および工具ケース８の蓋部８３を開けて工具ケース７の収納部７１および工具ケース８の収納部８１から粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３を取り出し、それぞれ上述したように粗研削ユニット３のホイールマウント３２および仕上げ研削ユニット４のホイールマウント４２に装着する。そして、工具ケース７の蓋部７３および工具ケース８の蓋部８３に脱着可能に貼着されているシール７０およびシール８０を剥離し、それぞれ図１に示す研削装置１の目視可能な部位である装置ハウジング２の手前側上面D1aおよびD1bに貼着する（シール脱着工程）。なお、シール７０およびシール８０を貼着する部位は、粗研削ユニット３のホイールマウント３２および仕上げ研削ユニット４のホイールマウント４２に装着された粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３が目視にて確認できる場所であればどこでもよいが、例えば粗研削ユニット３のユニットハウジング３１を支持する支持部材３１０および仕上げ研削ユニット４のユニットハウジング４１を支持する支持部材４１０の側面であるD2aおよびD2bも有効である。このように、粗研削ユニット３のホイールマウント３２および仕上げ研削ユニット４のホイールマウント４２に装着された粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３の品種を表示するシール７０およびシール８０を研削装置１の目視可能な部位に貼着するので、研削装置１に装着されている粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３の品種を常に目視にて確認することができる。

【0026】

図示の実施形態における研削装置１は以上のように構成されており、以下その作用について主に図１を参照して簡単に説明する。
なお、第１のカセット１１に収容される被加工物としてのウエーハWは、図示の実施形態においては直径が３００mmのシリコンウエーハからなっており、表面に保護テープTが貼着されている。このようにして表面に保護テープTが貼着されたウエーハWは、上記第１のカセット１１に裏面を上側にして複数枚収容される。

【0027】

上述したように第１のカセット１１に収容された研削前のウエーハWは搬送手段１５の上下動作および進退動作により仮置き手段１３に搬送され、ここで中心合わせされる。次に、搬入手段１６を作動して仮置き手段１３において中心合わせされたウエーハWを被加工物搬入・搬出域Aに位置付けられたチャックテーブル６上に載置する。このように被加工物搬入・搬出域Ａに位置付けられたチャックテーブル６上に載置されたウエーハWは、図示しない吸引手段を作動することにより保護テープTを介してチャックテーブル６上に吸引保持される。従って、チャックテーブル６上に保護テープTを介して吸引保持されたウエーハWは、裏面が上側となる。次に、図示しない回動駆動機構によってターンテーブル５を矢印５ａで示す方向に１２０度回動せしめて、ウエーハWを吸引保持したチャックテーブル６を粗研削加工域Ｂに位置付ける。

【0028】

ウエーハWを保持したチャックテーブル６が粗研削加工域Ｂに位置付けられたならば、チャックテーブル６は図示しない回転駆動機構によって矢印６aで示す方向に例えば３００rpmの回転速度で回転せしめられる。一方、粗研削ユニット３の研削ホイール３３は、矢印３２aで示す方向に例えば６０００rpmの回転速度で回転しつつ粗研削送り手段３６によって所定の研削送り速度で粗研削送りされる。この結果、チャックテーブル６上のウエーハWの裏面（被研削面）には、粗研削加工が施される（粗研削工程）。

【0029】

なお、この間に被加工物搬入・搬出域Ａに位置付けられた次のチャックテーブル６上には、上述したように研削加工前のウエーハWが載置される。そして、図示しない吸引手段を作動することにより、ウエーハWをチャックテーブル６上に吸引保持する。次に、ターンテーブル５を矢印５aで示す方向に１２０度回動せしめて、粗研削加工されたウエーハWを保持しているチャックテーブル６を仕上げ研削加工域Ｃに位置付け、研削加工前のウエーハWを保持したチャックテーブル６を粗研削加工域Ｂに位置付ける。このようにして、粗研削加工域Ｂに位置付けられたチャックテーブル６上に保持された粗研削加工前のウエーハWの裏面には粗研削ユニット３によって上述した粗研削加工が施される（粗研削工程）。

【0030】

一方、仕上げ研削加工域Ｃに位置付けられたチャックテーブル６上に保持された粗研削加工されたウエーハWの裏面には、仕上げ研削ユニット４によって仕上げ研削加工が施される（仕上げ研削工程）。即ち、粗研削加工されたウエーハWを保持したチャックテーブル６は図示しない回転駆動機構によって矢印６aで示す方向に例えば３００rpmの回転速度で回転せしめられる。一方、仕上げ研削ユニット４の仕上げ研削ホイール４３は、矢印４２aで示す方向に例えば６０００rpmの回転速度で回転しつつ仕上げ研削送り手段４６によって所定の仕上げ研削送り速度で仕上げ研削送りされる。この結果、チャックテーブル６上のウエーハWの裏面（被研削面）には、仕上げ削加工が施される（仕上げ研削工程）。

【0031】

上述したように、粗研削加工域Ｂに位置付けられたチャックテーブル６上に保持された粗研削加工前のウエーハWの裏面に粗研削加工を実施し、仕上げ研削加工域Ｃに位置付けられたチャックテーブル６上に保持され粗研削加工されたウエーハWの裏面に仕上げ研削加工を実施したならば、ターンテーブル５を矢印５ａで示す方向に１２０度回動せしめて、仕上げ研削加工したウエーハWを保持したチャックテーブル６を被加工物搬入・搬出域Ａに位置付ける。なお、粗研削加工域Ｂにおいて粗研削加工されたウエーハWを保持したチャックテーブル６は仕上げ研削加工域Ｃに、被加工物搬入・搬出域Ａにおいて研削加工前のウエーハWを保持したチャックテーブル６は粗研削加工域Ｂにそれぞれ移動せしめられる。

【0032】

なお、粗研削加工域Ｂおよび仕上げ研削加工域Ｃを経由して被加工物搬入・搬出域Ａに戻ったチャックテーブル６は、ここで仕上げ研削加工されたウエーハWの吸着保持を解除する。そして、被加工物搬入・搬出域Ａに位置付けられたチャックテーブル６上の仕上げ研削加工されたウエーハWは、搬出手段１７によって洗浄手段１４に搬出される。洗浄手段１４に搬送されたウエーハWは、ここで裏面（研削面）および側面に付着している研削屑が洗浄除去されるとともに、スピン乾燥される。このようにして洗浄およびスピン乾燥されたウエーハWは、搬送手段１５によって第２のカセット１２に搬送され収納される。

【0033】

上述した粗研削工程および仕上げ研削工程を第１のカセット１１に収容された研削前のウエーハWの全てに実施する。そして、上記ウエーハWと異なる種類の被加工物を研削する場合には、粗研削ユニット３のホイールマウント３２および仕上げ研削ユニット４のホイールマウント４２に装着された粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３を交換する必要がある。粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３を交換するために粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３を取り外す際には、加工装置１の上記目視可能な部位である上記D1aおよびD1b或いはD2aおよびD2b等に貼着されているシール７０およびシール８０を剥離して、剥離したシール７０およびシール８０をそれぞれ工具ケース７を構成する蓋部７３の表面および工具ケース８を構成する蓋部８３の表面、または粗研削ホイール３３を構成する砥石基台３３１の上面および仕上げ研削ホイール４３を構成する砥石基台４３１の上面に貼り戻す（シール貼り戻し工程）。なお、粗研削ユニット３のホイールマウント３２および仕上げ研削ユニット４のホイールマウント４２から取り外した粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３は、シール７０およびシール８０が貼り戻された工具ケース７および工具ケース８にそれぞれ収容する。

【0034】

上述したように粗研削ユニット３のホイールマウント３２および仕上げ研削ユニット４のホイールマウント４２に装着された粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３を取り外して工具ケース７および工具ケース８に収容するとともにシール貼り戻し工程を実施したならば、次に研削加工する被加工物に対応した品種の研削ホイールを粗研削ユニット３のホイールマウント３２および仕上げ研削ユニット４のホイールマウント４２に装着するとともに、上記シール脱着工程を実施する。

【0035】

以上のように、図示の実施形態における工具の管理方法においては、粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３を研削装置１に装着する際には、粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３を収容する工具ケース７の蓋部７３および工具ケース８の蓋部８３に脱着可能に貼着されている研削ホイールの品種を表示するシール７０およびシール８０を剥離し、それぞれ研削装置１の目視可能な部位に貼着し、粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３を交換するために粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３を取り外して工具ケース７および工具ケース８に収容する際には、研削装置１の目視可能な部位に貼着されているシール７０およびシール８０を剥離し、剥離したシール７０およびシール８０をそれぞれ工具ケース７を構成する蓋部７３の表面および工具ケース８を構成する蓋部８３の表面、または粗研削ホイール３３を構成する砥石基台３３１の上面および仕上げ研削ホイール４３を構成する砥石基台４３１の上面に貼り戻すので、研削装置に装着されている粗研削ホイール３３および仕上げ研削ホイール４３の品種を常に目視にて確認することができる。従って、被加工物の種類に対応しない品種の研削ホイールで被加工物を研削加工することがなく、被加工物の品質を低下させるという問題を解消することができる。

【0036】

以上、本発明を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で種々の変形は可能である。例えば、上述した実施形態においては本発明を研削装置に適用した例を示したが、本発明は切削ブレードを装着する切削装置等他の加工装置に広く適用することができる。

【符号の説明】

【0037】

２：装置ハウジング
３：粗研削ユニット
３３：粗研削ホイール
３３１：砥石基台
３３２：粗研削砥石
３６：粗研削送り手段
４：仕上げ研削ユニット
４３：仕上げ研削ホイール
４３１：砥石基台
４３２：仕上げ研削砥石
４６：仕上げ研削送り手段
５：ターンテーブル
６：チャックテーブル
７、８：工具ケース
７０、８０：シール
１１：第１のカセット
１２：第２のカセット
１３：仮置き手段
１４：洗浄手段
１５：搬送手段
１６：搬入手段
１７：搬出手段
W：ウエーハ

【図1】

【図2】

【図3】