特許6009683タンタルスパッタリングターゲット及びその製造方法

発明の名称　タンタルスパッタリングターゲット及びその製造方法

出願人　ＪＸ日鉱日石金属株式会社　（識別番号 502362758）

　　　　特許公開件数ランキング 395 位（75件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 444 位（56件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6009683

公報発行日　2016年10月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6009683

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