特許 6011330 駆動装置及びレンズ鏡筒

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6011330

(24)【登録日】2016年9月30日

(45)【発行日】2016年10月19日

(54)【発明の名称】駆動装置及びレンズ鏡筒

(51)【国際特許分類】

   H02N 2/06 20060101AFI20161006BHJP

   G02B 7/08 20060101ALI20161006BHJP

【ＦＩ】

   H02N2/06

   G02B7/08 C

   G02B7/08 B

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2012-287812(P2012-287812)

(22)【出願日】2012年12月28日

(65)【公開番号】特開2014-131405(P2014-131405A)

(43)【公開日】2014年7月10日

【審査請求日】2015年12月2日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004112

【氏名又は名称】株式会社ニコン

(74)【代理人】

【識別番号】100084412

【弁理士】

【氏名又は名称】永井 冬紀

(74)【代理人】

【識別番号】100078189

【弁理士】

【氏名又は名称】渡辺 隆男

(72)【発明者】

【氏名】西原 慎二

【審査官】 沖田 孝裕

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００６−１１５５８３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−０８３７０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０７５４１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０６７０３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−２００２８２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０２Ｎ ２／０６

Ｇ０２Ｂ ７／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一対の駆動信号を生成する信号生成部と、
前記信号生成部によって生成された駆動信号が印加される電気機械変換素子と、
前記電気機械変換素子の振動により駆動力を発生する振動体と、
前記振動体に加圧接触され、前記駆動力により駆動される移動体と、
前記駆動信号の周波数及び位相差を設定する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記移動体の駆動方向を変更するときに、前記周波数を前記移動体の駆動速度が実質的に零となる保持周波数に設定した後に前記位相差を変更することを特徴とする駆動装置。

【請求項2】

請求項１に記載の駆動装置において、
前記制御部は、ｎ次の振動の固有周波数ｆｎとｎ＋１次の振動の固有周波数ｆｎ＋１との平均値を、前記保持周波数として設定することを特徴とする駆動装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記保持周波数として、ｎ次の振動の固有周波数ｆｎとｎ＋１次の振動の固有周波数ｆｎ＋１との平均値より高周波かつ前記固有周波数ｆｎ＋１より低周波の周波数、または前記平均値より低周波かつ前記固有周波数ｆｎより高周波の周波数を、設定することを特徴とする駆動装置。

【請求項4】

請求項３に記載の駆動装置において、
前記制御部は、前記保持周波数として、前記移動体の次の駆動方向が直前の駆動方向と同一のときは前記平均値より低周波かつ前記固有周波数ｆｎより高周波の周波数を、前記移動体の次の駆動方向が直前の駆動方向と反対のときは前記平均値より高周波かつ前記固有周波数ｆｎ＋１より低周波の周波数を設定することを特徴とする駆動装置。

【請求項5】

請求項１から４に記載の駆動装置を備えるレンズ鏡筒。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、駆動装置及びレンズ鏡筒に関する。

【背景技術】

【0002】

振動波モータにより光学系を駆動させて、オートフォーカスなどの処理を行う撮像装置が知られている（特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９−１５３２８６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

振動波モータによる光学系の駆動方向を切り替える際、異音が生じることが問題となっている。特許文献１の発明では、駆動方向を切り替える際に、振動波モータへの電圧印加を停止させて光学系の駆動を一旦停止させている。このとき、方向切り替え後の駆動のために振動波モータへ電圧印加を行う際に、駆動回路内部でのエネルギー上昇に伴って異音が発生する。これらの異音は、例えば撮像装置による動画撮影時などにおいて録音されてしまう。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明による駆動装置は、一対の駆動信号を生成する信号生成部と、信号生成部によって生成された駆動信号が印加される電気機械変換素子と、電気機械変換素子の振動により駆動力を発生する振動体と、振動体に加圧接触され、駆動力により駆動される移動体と、駆動信号の周波数及び位相差を設定する制御部と、を備え、制御部は、移動体の駆動方向を変更するときに、周波数を移動体の駆動速度が実質的に零となる保持周波数に設定した後に位相差を変更することを特徴とする。

【発明の効果】

【0006】

本発明によれば、振動波モータの駆動時における異音の発生を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】本発明の一実施の形態によるレンズ鏡筒の概略図である。

【図2】振動波モータの振動体の概略図である。

【図3】振動波モータの位相差―回転速度特性を示す図である。

【図4】振動波モータの周波数―回転速度特性を示す図である。

【図5】本発明の一実施の形態による駆動装置のブロック図である。

【図6】本発明の一実施の形態による駆動装置による振動波モータの駆動制御に関するフローチャートである。

【図7】本発明の一実施の形態による駆動装置による振動波モータの駆動制御に関するタイミングチャート例である。

【図8】保持周波数について説明するための図である。

【図9】保持周波数の設定処理に関するフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0008】

図１は、本発明の一実施の形態によるレンズ鏡筒の概略図である。図１のレンズ鏡筒２は、デジタルカメラなどの撮像装置用のレンズ鏡筒である。振動波モータ１は、振動体１６１と、移動体１６２と、不織布などによる緩衝支持部材１６３と、加圧接触手段１６４とを備える。振動波モータ１は、レンズ鏡筒２に対して、レンズ群Ｌを光軸方向に駆動させるための駆動力を提供する。

【0009】

振動体１６１は、弾性体１６１ａと圧電体１６１ｂとを有する。弾性体１６１ａは、共振先鋭度が大きな金属材料により形成される。弾性体１６１ａの形状は、図２に示されるように円環形状となっている。弾性体１６１ａの円形の一面には圧電体１６１ｂが接合されており、その反対面には溝が切られた櫛歯部１２１が設けられている。

【0010】

圧電体１６１ｂは、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子である。圧電体１６１ｂは、円周方向に沿って二つの相（Ａ相，Ｂ相）に分かれている。圧電体１６１ｂの各相においては１／２波長ごとに分極が交互に配置される。圧電体１６１ｂのＡ相とＢ相との間には、１／４波長の間隔が空くように配置されている。圧電体１６１ｂの各相には、駆動回路８０から駆動信号が出力される。圧電体１６１ｂのＡ相へ出力される駆動信号とＢ相へ出力される駆動信号の位相差は可変である。圧電体１６１ｂのＡ相とＢ相にそれぞれ高周波電圧が印加されると、圧電体１６１ｂが励起する。圧電体１６１ｂの励起による弾性体１６１ａのベース部１２２のたわみは、弾性体１６１ａの櫛歯部１２１で拡大されて、櫛歯部１２１の先端の駆動面１２３で進行波となる。なお、本実施の形態では圧電体１６１ｂは９山の進行波（９次の屈曲振動波）が発生しやすい電極パターンになっているものとする。

【0011】

移動体１６２は、アルミニウムなどの軽金属により形成される。移動体１６２は、加圧板と加圧部材とを有する加圧接触手段１６４による加圧により、駆動面１２３に加圧接触している。駆動部１２３で発生している進行波の波頭には楕円運動が生じている。駆動面１２３に加圧接触された移動体１６２は、この楕円運動による摩擦により駆動されて、回転移動する。移動体１６２の回転方向は、圧電体１６１ｂのＡ相とＢ相の駆動信号の位相差により変化する。

【0012】

移動体１６２には、移動体１６２の光軸方向の振動を吸収するゴムなどの振動吸収部材１６６が配置されている。振動吸収部材１６６は、加圧接触手段１６４により出力伝達部１５５と加圧接触している。移動体１６２の回転移動は、出力伝達部１５５に伝達される。ただし、出力伝達部１５５は、固定部材１５１に取り付けられたベアリング１５６により、光軸方向の動きと径方向の動きとが規制されている。

【0013】

出力伝達部１５５は、突起部１５５ａを有する。この突起部１５５ａは、フォーク１５４と嵌合している。フォーク１５４には、突起部１５５ａを介して出力伝達部１５５の回転運動が伝達される。さらに、その回転運動はカム環１５３に伝達する。カム環１５３の内側には周方向に対して螺旋状にキー溝１５３ａが切られている。キー溝１５３ａには、ＡＦ環１５２の固定ピン１５２ａが挿入されている。カム環１５３が回転すると、固定ピン１５２ａがキー溝１５３ａに導かれて移動し、レンズ群Ｌを保持しているＡＦ環１５２が光軸方向に移動する。

【0014】

上記のように、振動波モータ１が発生させた進行波が移動体１６２、出力伝達部１５５、フォーク１５４、カム環１５３を介してＡＦ環１５２に伝達されて、ＡＦ環１５２とともにレンズ群Ｌが光軸方向に駆動される。この駆動を用いて、レンズ鏡筒２はウォブリング動作等を実行する。

【0015】

図３は、Ａ相とＢ相の駆動信号の位相差と、移動体１６２の回転速度との関係を示す図である。移動体１６２の回転速度は、位相差が＋９０°のとき正回転（例えば、時計回り）の最大速度となり、位相差が−９０°のときは逆回転（例えば、反時計回り）の最大速度となる。

【0016】

図４は、駆動信号の周波数と、移動体１６２の回転速度との関係を示す図である。移動体１６２の回転速度は、駆動信号の周波数が所定の範囲内にあるとき実質的に零となる。ここで、実質的に零とは、振動吸収部材１６６等と加圧接触した移動体１６２を回転させるだけのトルクが発生しない状態をいう。例えば、図４に示される範囲内では、２８．５ｋＨｚから３０．０ｋＨｚの範囲内は、移動体１６２の回転速度が零となる。また、２８．５ｋＨｚより低周波または３０．０ｋＨｚより高周波であっても、振動吸収部材１６６等と加圧接触した移動体１６２を回転させるだけのトルクが発生せず、カム環１５３等が回転せず、実質的に移動体１６２の回転速度が零となる周波数が存在する。このような移動体１６２の回転速度が実質的に零となる周波数のことを保持周波数ｆ０と称する。

【0017】

本発明では、移動体１６２の回転駆動方向を切り替える際、振動波モータ１へ電圧印加を停止するのではなく、駆動信号の周波数を保持周波数ｆ０に変更する。これにより、電圧印加停止後再び電圧を印加する際に発生する異音を低減することができる。

【0018】

図５は、本発明の一実施の形態による駆動装置に関するブロック図である。図５に例示された駆動装置９０は、振動波モータ１と駆動回路８０とを備える。駆動回路８０は、制御部８１と発振部８２と、移相部８３と、増幅部８４ａおよび８４ｂと、検出部８５と、温度測定部８６とを備える。

【0019】

発振部８２は、制御部８１により設定された周波数の信号を発振する。移相部８３は、発振部８２が発振した発振信号に基づいて、Ａ相の信号とＢ相の信号とを生成する。これらのＡ相の信号とＢ相の信号との位相差は、制御部８１により設定される。

【0020】

増幅部８４ａは、移相部８３が生成したＡ相の信号の電圧振幅を、制御部８１により設定された電圧に増幅（昇圧）する。これによりＡ相の駆動信号が生成される。また、増幅部８４ｂは、移相部８３が生成したＢ相の信号の電圧振幅を、制御部８１により設定された電圧に増幅（昇圧）する。これによりＢ相の駆動信号が生成される。

【0021】

振動体１６１は、増幅部８４ａで増幅されたＡ相の駆動信号と、増幅部８４ｂで増幅されたＢ相の駆動信号とに基づいて駆動される。検出部８５は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、移動体１６２の駆動により駆動されたレンズ群Ｌの位置や速度を検出し、それらの検出値を電気信号（検出信号）として制御部８１へ出力する。制御部８１は、検出部８５からの検出信号に基づいて、レンズ群Ｌの位置や速度に関する情報を取得する。

【0022】

温度測定部８６は、振動波モータ１の温度を測定する。振動波モータ１の温度は、振動体１６１と移動体１６２との摩擦により熱が生じることにより上昇する。振動波モータ１の温度上昇は、その駆動能力に悪影響を及ぼす。温度測定部８６は、測定した温度信号を制御部８１へ出力する。制御部８１は、その温度信号に基づいて、振動波モータ１の温度が与える駆動能力への影響を推定する。

【0023】

制御部８１は、レンズ鏡筒２のＣＰＵ３からレンズ群Ｌの移動方向と移動量に関する駆動指示を取得する。制御部８１は、駆動指示に基づいて定められる目標位置にレンズ群Ｌが位置決めされるように、発振部８２に対して設定する周波数と、移相部８３に対して設定する位相差と、増幅部８４ａおよび８４ｂに対して設定する電圧振幅とを制御する。なお、制御部８１が取得する駆動指示は、移動方向と移動量の組み合わせに関するものだけに限定されない。例えば、移動速度や移動シーケンスのパターン（例えば、ウォブリング動作の回数）を含んでもよい。また、制御部８１が取得する駆動指示は、移動方向と移動速度の組み合わせであってもよい。

【0024】

図６および図７（ａ）〜（ｃ）を用いて、本発明における振動波モータ１の駆動制御について説明する。図６は、振動波モータ１の駆動制御に関するフローチャートの一例である。図７（ａ）〜（ｃ）は、振動波モータ１の駆動制御に関するタイミングチャートの一例である。図７（ａ）は、Ａ相とＢ相の駆動信号の位相差に関するタイミングチャートである。図７（ｂ）は、発振部８２の発振周波数、すなわち駆動信号の周波数に関するタイミングチャートである。図７（ｃ）は、振動波モータ１の回転数に関するタイミングチャートである。

【0025】

図６の処理は、制御部８１が駆動指示を取得したときに実行を開始する。ステップＳ１００では、制御部８１は、発振部８２に対して保持周波数ｆ０を設定して、発振部８２から保持周波数ｆ０の信号が発振されるように制御する。

【0026】

ステップＳ１１０では、制御部８１は、移相部８３に対して＋９０°または−９０°の位相差を設定して、移相部８３により出力されるＡ相の信号とＢ相の信号の位相差を変更する（図７のタイミングＴ０〜Ｔ１、タイミングＴ３〜Ｔ４）。発振部８２が発振する周波数が保持周波数ｆ０のときは、振動波モータ１の回転数は実質的に零である。したがって、ステップＳ１１０において制御部８１が位相差を変更しても振動波モータ１の駆動が不安定になることがない。

【0027】

ステップＳ１１０における位相差の変更が終了後、ステップＳ１２０では、制御部８１は、駆動指示と、検出部８５からの検出信号により演算されるレンズ群Ｌの位置や速度と、温度測定部８６により測定された振動波モータ１の温度と、振動波モータ１の個体差などに基づいて、発振部８２に対して設定する周波数を制御して、レンズ群Ｌが目標位置に位置決めされるように駆動制御する（図７のタイミングＴ１〜Ｔ２）。

【0028】

発振部８２に対して設定する周波数が保持周波数ｆ０より低周波となると、振動波モータ１の回転数が零より大きくなる。振動波モータ１を停止させるとき振動波モータ１への電圧印加を停止させていないため、振動波モータ１が駆動を開始しても異音は発生しない。

【0029】

ステップＳ１３０では、制御部８１は、レンズ群Ｌが目標位置に到達したか否かを判定する。制御部８１は、ステップＳ１３０が否定判定された場合は処理をステップＳ１２０に進め、ステップＳ１３０が肯定判定された場合は処理をステップＳ１４０に進める。

【0030】

ステップＳ１４０では、制御部８１は、発振部８２に対して保持周波数ｆ０を設定して、発振部８２から保持周波数ｆ０の信号が発振されるように制御する（図７のタイミングＴ２〜Ｔ３）。

【0031】

ステップＳ１５０では、制御部８１は、次の駆動指示を取得しているか否かを判定する。制御部８１は、ステップＳ１５０が肯定判定された場合は処理をステップＳ１１０に進め、ステップＳ１５０が否定判定された場合は処理をステップＳ１６０に進める。

【0032】

ステップＳ１６０では、制御部８１は、移相部８３に対して０°の位相差を設定して、移相部８３により出力されるＡ相の信号とＢ相の信号の位相差を変更して、図６の処理を終了する。これにより、図３に示されるように位相差によっても振動波モータ１の回転速度が零となるように制御される。

【0033】

図４に示したように、保持周波数ｆ０は、取り得る値に範囲を有する。ステップＳ１４０において、制御部８１が発振部８２に設定する保持周波数ｆ０を、その範囲内のどの値にするかによって、振動波モータ１に対して得られる効果が変化する。その効果の違いを、図８を用いて説明する。

【0034】

図８は、振動体１６１の周波数―振動変形特性を例示した図である。図８には、振動体１６１の９次屈曲振動の固有周波数ｆ９が２６ｋＨｚの位置に例示されており、１０次屈曲振動の固有周波数ｆ１０が３２ｋＨｚの位置に例示されている。以降、９次屈曲振動の固有周波数ｆ９を単に固有周波数ｆ９と略記し、１０次屈曲振動の固有周波数ｆ１０を単に固有周波数ｆ１０と略記する。

【0035】

駆動信号の周波数が９次屈曲振動の固有周波数ｆ９近傍のとき、振動体１６１の駆動面１２３では９山の進行波が発生する。そして、駆動信号の周波数が１０次屈曲振動の固有周波数ｆ１０近傍のとき、振動体１６１の駆動面１２３では１０山の進行波が発生する。振動体１６１の振動の大きさのうち、９山の進行波成分は、周波数が固有周波数ｆ９から離れるほど小さくなる。同様に振動体１６１の振動の大きさのうち、１０山の進行波成分は、周波数が固有周波数ｆ１０から離れるほど小さくなる。

【0036】

前述したとおり、圧電体１６１ｂは９山の進行波を励起させやすい電極パターンとなっており、振動波モータ１は１０山の進行波を用いるときより９山の進行波を用いるときの方が駆動効率がよい。そのため、図８では９山の進行波の振動の大きさが１０山の進行波の振動の大きさよりも大きくなっている。

【0037】

２相の駆動信号の位相差が同一の場合、９山の進行波と１０山の進行波の回転方向は、互いに反対方向となる。例えば、２相の駆動信号の位相差が＋９０°の場合に、駆動信号の周波数が２７ｋＨｚのとき移動体１６２は正回転に回転し、駆動信号の周波数が３３ｋＨｚのとき移動体１６２は逆回転に回転する。周波数が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０との間にあるとき、９山の進行波成分による移動体１６２の回転と１０山の進行波成分による移動体１６２の回転とは、互いに打ち消し合う。

【0038】

（１）保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値の場合
保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値の場合、例えば図８の例において保持周波数ｆ０が２９ｋＨｚの場合、振動体１６１の振動の大きさは小さくなる。これは、固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０との中間では、９山の進行波成分も１０山の進行波成分も共に小さくなるためである。さらに、９山の進行波成分による移動体１６２の回転と１０山の進行波成分による移動体１６２の回転とが打ち消し合う。

【0039】

したがって、保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値である場合、振動体１６１の振動の大きさが小さいため移動体１６２が振動体１６１から離間しないため、移動体１６２と振動体１６１との衝突による異音が発生しない。また、９山の進行波成分による移動体１６２の回転と１０山の進行波成分による移動体１６２の回転とが打ち消し合うため、移動体１６２の回転停止の確実性が増す。

【0040】

（２）保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値より高周波の場合
保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値より高周波の場合、すなわち固有周波数ｆ９より固有周波数ｆ１０に近い場合、振動体１６２で発生する進行波は、１０山の進行波成分が支配的になる。図６のステップＳ１２０で９山の進行波成分に基づいて回転していた移動体１６２は、ステップＳ１４０で駆動周波数を保持周波数ｆ０に変更したとき１０山の進行波成分に基づいて制御される。すなわち、１０山の進行波成分による回転は９山の進行波成分による回転とその回転方向が反対方向となるため、ステップＳ１４０において移動体１６２の回転方向は直前のステップＳ１２０の制御時の回転方向とは反対方向になる。ただし、このとき振動波モータ１により発生するトルクが小さいためフォーク１５４、カム環１５３、ＡＦ環１５２が回転することはない。

【0041】

したがって、ステップＳ１５０において次の駆動指示がある場合に、次の駆動指示において移動体１６２を逆方向に回転させることが確定しているときは、突起部１５５ａとフォーク１５４の間のガタと、キー溝１５３ａと固定ピン１５２ａとの間のガタとが詰まる。これにより、実際に移動体１６２が逆方向に回転し始めたときの機械的な衝突音を抑制することができる。

【0042】

（３）保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値より低周波の場合
保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値より低周波の場合、すなわち固有周波数ｆ１０より固有周波数ｆ９に近い場合、振動体１６２で発生する進行波は、９山の進行波成分が支配的になる。この場合、ステップＳ１４０において移動体１６２の回転方向は直前のステップＳ１２０の制御時の回転方向と同方向になる。したがって、ステップＳ１５０において次の駆動指示がある場合に、次の駆動指示において移動体１６２を同方向に回転させることが確定しているときは、突起部１５５ａとフォーク１５４の間のガタと、キー溝１５３ａと固定ピン１５２ａとの間のガタとが詰まる。これにより、実際に移動体１６２が同方向に回転し始めたときの機械的な衝突音を抑制することができる。

【0043】

また、保持周波数ｆ０が上記（１）や（２）のときより固有周波数ｆ９に近いため、図７のタイミングＴ２〜Ｔ３の期間を上記（１）や（２）のときより短縮することができる。これにより、移動体１６２の駆動制御における処理時間が短縮され、移動体１６２の停止精度が向上する。

【0044】

上記（２）で説明したように、次の駆動指示で直前の駆動指示とは反対方向に駆動するときは、保持周波数ｆ０を固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０との平均値より高周波にした方がよい。また、上記（３）で説明したように、次の駆動指示で直前の駆動指示と同方向に駆動するときは、保持周波数ｆ０を固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０との平均値より低周波にした方がよい。

【0045】

図９は、図６のステップＳ１４０の処理に関するフローチャートである。図９の処理では、駆動指示を実行した後に実行する次の駆動指示に基づいて、適切に保持周波数を設定する。

【0046】

ステップＳ１４１では、制御部８１は、次の駆動指示を取得しているか否かを判定する。制御部８１は、ステップＳ１４１が肯定判定された場合は処理をステップＳ１４２に進め、ステップＳ１４１が否定判定された場合は処理をステップＳ１４３に進める。

【0047】

ステップＳ１４２では、制御部８１は、次の駆動指示が直前に完了した駆動指示と同一方向に移動体１６２を回転させる指示か否かを判定する。制御部８１は、ステップＳ１４２が肯定判定された場合は処理をステップＳ１４５に進め、ステップＳ１４２が否定判定された場合は処理をステップＳ１４４に進める。

【0048】

ステップＳ１４３では、制御部８１は、保持周波数ｆ０を、固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値に設定する。これにより、上記（１）で説明したような効果が得られる。
ステップＳ１４４では、制御部８１は、保持周波数ｆ０を、固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値より高周波であり、固有周波数ｆ１０より低周波の周波数に設定する。これにより、上記（２）で説明したような効果が得られる。
ステップＳ１４５では、制御部８１は、保持周波数ｆ０を、固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値より低周波であり、固有周波数ｆ９より高周波の周波数に設定する。これにより、上記（３）で説明したような効果が得られる。

【0049】

ステップＳ１４６では、制御部８１は、ステップＳ１４３〜Ｓ１４５で設定された保持周波数ｆ０を、発振部８２に設定する。

【0050】

以上で説明した実施の形態によれば、以下の作用効果が得られる。
レンズ鏡筒２においてレンズ群Ｌを駆動する駆動装置９０は、駆動回路８０と振動波モータ１とを備える。駆動回路８０は、Ａ相とＢ相の駆動信号を生成する。振動波モータ１は、振動体１６１と移動体１６２を備える。振動体１６１は、駆動回路８０により生成されたＡ相とＢ相の駆動信号が印加される圧電体１６１ｂを備え、その圧電体１６１ｂの振動により弾性体１６１ａの駆動面１２３に進行波を発生させ、加圧接触させた移動体１６２を駆動させるための駆動力を発生させる。駆動回路８０は、Ａ相とＢ相の駆動信号の周波数と位相差を設定する制御部８１を有し、移動体１６２の駆動方向を変更するときに、発振部８２が発振する周波数を保持周波数ｆ０に設定した後（図６のステップＳ１００およびＳ１４０）に、移相部８３に設定する位相差を変更する（図６のステップＳ１１０）。
このようにすることで、駆動装置９０では、移動体１６２の駆動方向を切り替える際に、駆動周波数の制御によって移動体１６２の駆動を停止させているため、異音の発生を抑制することができる。

【0051】

移動体１６２が駆動している間に位相差を変更すると、移動体１６２の回転が不安定になり、移動体１６２と振動体１６１の衝突による異音が発生する虞がある。しかし、本発明のように、移動体１６２の駆動が停止している状態で、Ａ相およびＢ相の駆動信号の位相差を制御するようにすれば、そのような異音が発生する虞がない。

【0052】

また、移動体１６２が駆動している間に位相差を変更すると、一時的に移動体１６２を低速駆動することがあるが、低速駆動時は移動体１６２の回転ムラが増大し、停止精度を確保できなくなるという虞がある。しかし、本発明のように、移動体１６２の駆動が停止している状態で、Ａ相およびＢ相の駆動信号の位相差を制御するようにすれば、そのような回転ムラの増大が発生せず、停止精度を確保できなくなる虞がない。

【0053】

以上で説明した実施の形態は、以下のように変形して実施できる。
（変形例１）上記の実施の形態では、圧電体１６１ｂが９山の進行波が発生しやすい電極パターンになっているものとして、振動体１６１の駆動面１２３に９山の進行波または１０山の進行波を発生するものとした。しかし、振動体１６１が発生させる進行波は、９山の進行波に限定しない。本発明は、駆動面１２３に任意のｎ山の進行波によるｎ次屈曲振動を発生させることにしてもよい。
（変形例２）上記の実施の形態では、発振部８２に対して設定する周波数を制御してレンズ群Ｌの駆動制御を行っている間、Ａ相およびＢ相の駆動信号の位相差を制御しなかった。しかし、移動体１６２と振動体１６１の衝突による異音や、移動体１６２の回転ムラの増大を無視できる範囲内で、発振部８２に対して設定する周波数を制御してレンズ群Ｌの駆動制御を行っている間にも、Ａ相およびＢ相の駆動信号の位相差を制御してもよい。

【0054】

以上で説明した実施の形態や変形例はあくまで例示に過ぎず、発明の特徴が損なわれない限り本発明はこれらの内容に限定されない。また、以上で説明した実施の形態や変形例は発明の特徴が損なわれない限り組み合わせて実行してもよい。

【符号の説明】

【0055】

１ 振動波モータ
２ レンズ鏡筒
８０ 駆動回路
８１ 制御部
８２ 発振部
８３ 移相部
８４ａ，８４ｂ 増幅部
９０ 駆動装置
１６１ 振動体
１６２ 移動体
ｆ０ 保持周波数
ｆ９，ｆ１０ 固有周波数

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】