発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

近年、ＳＡＷフィルタや水晶振動子の分野においては軽薄短小化が進み、これに伴って封止材として使用されるテープ状あるいはプリフォーム状のＡｕ基はんだ合金も厚み３０μｍ以下と薄型が主流となってきている。そのため、テープ状あるいはプリフォーム状に加工する前に、Ａｕ基はんだ合金をフープ状に圧延加工する工程で厚みを３０μｍ以下にする必要があるが、得られるフープ状のＡｕ基はんだ合金が圧延加工時に塑性変形してしまい、幅方向に無視できない大きさの反りが発生するという問題があった。 即ち、前述のとおりＡｕ基はんだ合金は常温では脆く、割れやすいため、フープ状に加工する圧延加工においては、はんだ合金の融点近くまで熱を加えながら圧延する熱間圧延あるいは温間圧延が一般的である。しかし、熱間圧延あるいは温間圧延で厚み３０μｍ以下に圧延すると、ワークロールから排出された直後のはんだ合金は融点近くまで加熱されているため、巻取りテンションにより容易に塑性変形してしまい、幅方向に反りが発生することが分かった。 しかも、反りを有するフープ状のＡｕ基はんだ合金を用いて、打ち抜き加工によりプリフォーム状のＡｕ基はんだ合金を作製すると、反りに起因した割れ不良が発生しやすくなり、得られたプリフォーム状のＡｕ基はんだ合金にも３０μｍ以上の大きな反りが発生してしまう。反りの大きいプリフォーム状Ａｕ基はんだ合金は、実装時にフィーダー等に引っ掛かって作業性を著しく低下させ、更には濡れ広がりのばらつきが生じるためリーク不良の原因となりやすい。 また、反りを有するフープ状のＡｕ基はんだ合金で、スリット加工によりテープ状のＡｕ基はんだ合金を作製した場合、テープ形状の全体に蛇行が発生してしまい、また切断部には割れが発生しやすい。蛇行したテープ状Ａｕ基はんだ合金は、した反りの大きいプリフォーム状Ａｕ基はんだ合金の場合と同様に、実装時の作業性を低下させるだけでなく、リーク不良の原因となる恐れがある。 そのため、封止材として使用されるＡｕ基はんだ合金においては、割れを抑えるだけでなく、反りや蛇行についても発生を極力抑える必要がある。しかしながら、従来から特許文献５〜８に記載されているようにスリット加工時や打ち抜き加工時における割れを防止する方法は数多く提案されてきたが、厚み３０μｍ以下に圧延する際に発生する反りの問題については有効な対策が存在せず、従ってフープ状だけでなくプリフォーム状やテープ状のＡｕ基はんだ合金でも反りや蛇行を有効に防止し得ない現状であった。 本発明は、した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、常温で脆く割れやすいＡｕ基はんだ合金を熱間圧延あるいは温間圧延でフープ状に圧延加工する際に、厚み３０μｍ以下に圧延しても幅方向に反りが発生することがなく、これをプリフォーム状やテープ状に加工しても反りや蛇行が発生しないＡｕ基はんだ合金の製造方法、並びに、その方法で得られる厚み３０μｍ以下で反りや蛇行のないＡｕ基はんだ合金を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明によれば、Ｓｎ、Ｇｅ、Ｓｉの少なくとも１元素を含有するＡｕ基はんだ合金の圧延加工により、厚みが３０μｍ以下でありながら、幅方向の反りが1００μｍ以下に制御されたフープ状Ａｕ基はんだ合金を提供することができる。更には、このフープ状Ａｕ基はんだ合金を用いて、打ち抜き加工により反りが２０μｍ以下のプリフォーム状Ａｕ基はんだ合金を、またスリット加工によって蛇行が１０ｃｍ／ｍ以下のテープ状Ａｕ基はんだ合金を得ることができる。従って、本発明のＡｕ基はんだ合金は、封止材用として、中でも高い接合信頼性が要求されるＳＡＷフィルタや水晶振動子の封止材用として、極めて有用なものである。