特許6016169マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系

発明の名称　マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系

出願人　カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー　（識別番号 503263355）

　　　　特許公開件数ランキング 430 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 504 位（47件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6016169

公報発行日　2016年10月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6016169

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