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特許6018386電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム照射装置、電子ビーム露光装置、および電子ビーム照射方法
発明の名称 電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム照射装置、電子ビーム露光装置、および電子ビーム照射方法
出願人 国立大学法人東北大学 （識別番号 504157024）
特許公開件数ランキング 1219 位（2件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 188 位（5件）（共同出願を含む）
出願人 国立大学法人東京農工大学 （識別番号 504132881）
特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 188 位（3件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社クレステック （識別番号 395006823）
特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6018386
公報発行日 2016年11月2
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6018386
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