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特許6034156プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
発明の名称 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 30 位（231件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25 位（236件）（共同出願を含む）
出願人 トーカロ株式会社 （識別番号 109875）
特許公開件数ランキング 5031 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12424 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6034156
公報発行日 2016年11月30
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6034156
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