特許6039665放電生成プラズマＥＵＶ源のための電源装置

発明の名称　放電生成プラズマＥＵＶ源のための電源装置

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 219 位（152件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 349 位（79件）（共同出願を含む）

出願人　ウシオ電機株式会社　（識別番号 102212）

　　　　特許公開件数ランキング 262 位（128件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 414 位（64件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6039665

公報発行日　2016年12月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6039665

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