特許第6042986号(P6042986)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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6042986シリコンオキサイドのナノパターン形成方法、金属ナノパターンの形成方法およびこれを用いた情報貯蔵用磁気記録媒体