発明の名称 ウェーハ研磨ヘッドおよびウェーハ研磨装置
出願人 不二越機械工業株式会社 (識別番号 236687)
特許公開件数ランキング 13870 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 3848 位(2件)(共同出願を含む)
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所 (識別番号 301021533)
特許公開件数ランキング 190 位(82件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 147 位(87件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6044955
公報発行日 2016年12月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6044955
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