特許6044955ウェーハ研磨ヘッドおよびウェーハ研磨装置

発明の名称　ウェーハ研磨ヘッドおよびウェーハ研磨装置

出願人　不二越機械工業株式会社　（識別番号 236687）

　　　　特許公開件数ランキング 7216 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4268 位（4件）（共同出願を含む）

出願人　独立行政法人産業技術総合研究所　（識別番号 301021533）

　　　　特許公開件数ランキング 192 位（264件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 137 位（285件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6044955

公報発行日　2016年12月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6044955

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