発明の名称 粒子光学鏡筒用の鏡筒内検出器
出願人 エフ イー アイ カンパニ (識別番号 501233536)
特許公開件数ランキング 442 位(23件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 948 位(7件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6047301
公報発行日 2016年12月21
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6047301
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